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' V*}d L; A#N9 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
DMs8B&Y= [;4ak)! 建模任务 gB+CM?
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o1b.a*SZ 0(9gTxdB 观测倾斜平面 4>H0a
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4`cf FowK~ e8egxm VirtualLab Fusion的工作流程 TaKHr$h 设置输入场
RZSEcRlN >yqEXx5{ 使用表面构造真实元件
&hi][Pt /k^j'MMQs6 定义元件的位置和方向
RU=g|TL EG8z&^O x 为非序列场追迹设置合适的通道
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