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2&he($HIzg mR%FqaN_ 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
1J{fXh 0[xpEiDx 建模任务 &|9.}Z8U
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\X|sU:g dNiH|-$an 观测倾斜平面 RWKH%C[Yd
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O_;Dk W
9QwKakci 观测柱面 v.&>Ih/L
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$q_R?Eay W)*p2#l 观测球面 i"r!w|j
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oQ[FdRn* uO6{r v\ 走进VirtualLab Fusion Z=?aEU$7
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(JUZCP/ \ ZnW@YC#9 VirtualLab Fusion的工作流程 //f 设置输入场
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y<:<$22O 使用表面构造真实元件
#_i`#d) !do?~$Og 定义元件的位置和方向
9'[ N1Un.= x,n,Qlb 为非序列场追迹设置合适的通道
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RY9V~8|M `aC){&AP( VirtualLab Fusion技术 #V,R >0" 9X$ma/P[