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    [技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-31
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    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 K`Zb;R X  
    K`83C`w.  
    建模任务 1|$Rzt%ge  
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    T#;*I#A:  
    观测倾斜平面 ee?M o`  
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    观测柱面 ^i k|l=  
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    !oRm.c O  
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    观测球面 31\^9w__8  
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    M|]1}8d?  
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    走进VirtualLab Fusion S; <?nz3  
    e-av@a3  
    L#N.pd  
         rNO;yL4)ey  
    VirtualLab Fusion的工作流程 c&W.slE6  
     设置输入场 c<x6_H6[8  
    x5Pt\/ow  
     使用表面构造真实元件 'a[|}nJ3  
    K:Go%3~,  
     定义元件的位置和方向 lfG's'U-z  
    #IwB  
     为非序列场追迹设置合适的通道 &;3z 1s/  
    vw6FvE`lC  
    zUu>kJZ  
    !/Ps}.)A`  
         R?Q-@N>wE  
    VirtualLab Fusion技术 3k0%H]wt  
    T#f@8 -XUE  
     
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