[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 @IbZci)1  
&gT@oS{  
5o4KV?"  
G^h:#T
  
建模任务 5cA:;{z];g  
*rxYal4ad  
H-e$~vEbP  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ZVdQ$  
     ,37<FXX,  
某一位置的Talbot图样 j7w9H/XF}  
G,<d;:  
"v0bdaQH3  
   *K?UWi#$  
某一位置的Talbot图样 0>-}c>  
]57Ef'N  
K@[Hej6d  
z8kebS&5  
不同位置的Talbot图样 CflyK@  
}zkF
l{/u  
s"$K2k;J  
*a|575e< z  
不同位置的Talbot图样 `w4'DB-R)  
,S(Z\[x0  
=Sr<d|\O  
(#85<|z  
沿Z轴的强度 9o?\*{'KT  
cotySio$  
Bnwq!i!M  
$f+I#uJ  
走进VirtualLab Fusion *a8<cf  
^gyI-S(;  
RTg\c[=w  
     SQ+r'g  
VirtualLab Fusion的工作流程 BL>~~  
UB8n,+R  
 构建光栅结构 |${ImP  
\AoqOC2u  
}#&[[}@th  
     {gu3KV  
 通过参数运行计算不同位置的强度 16@
<G  
hRB
?NM  
     O+<+yQl  
csJ)Pt?d  
     jbT{K|d-  
VirtualLab Fusion技术 |-*50j l  
Gi@c`lRd1