在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个
图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。
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C 
z1PBMSG bf ]f=;.+ 建模任务 2,$ 8icM D.B.7-_8 
H[s(e5 6z 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
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-4{B 某一位置的Talbot图样 YSr9VpqWV
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.0S~872 f=(?JT 某一位置的Talbot图样 Ygm`ZA y
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_( _a*ml WK ts[Z VirtualLab Fusion的工作流程 ?Nup1 !D !*s?B L 构建
光栅结构 Od ) Uv1 ^!<U_;+ JmF l|n/H ?x$"+, 通过参数运行计算不同位置的强度
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