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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 8#S}.|"?F  
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    $2M dxw5  
    y.LJ 5K$&a  
    建模任务  VS:UVe  
    \*_@`1m  
    #0+`dI_5/  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) zP|y3`. 52  
         x*9CK8o=  
    某一位置的Talbot图样 Jhyb{i8RR  
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    某一位置的Talbot图样 ~[mAv #d&i  
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    不同位置的Talbot图样 B~/LAD_  
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    不同位置的Talbot图样 @R|Gz/  
    e*Gm()Vu,  
    NdS6j'%B@7  
    M@>EZ  
    沿Z轴的强度 DiB~Ovh|  
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    走进VirtualLab Fusion <&?gpRK   
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         PC| U]  
    VirtualLab Fusion的工作流程 .oJs"=h:m  
    Sd3KY9,  
     构建光栅结构 ::y+|V/  
    5dV Sir  
    n.{+\M6k  
         ? [?{X~uq  
     通过参数运行计算不同位置的强度 >@yHa'*9S  
    'JBf*p".  
         EBY=ccGE{  
    IX7|_ci  
         o@`& h} $  
    VirtualLab Fusion技术 r@xMb,!H  
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