[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ~R&;v3  
'ul~7h;n  
IjR'Qou5  
UGuxV+Nwf  
建模任务 &d5ia+#  
ngat0'oa  
])Qs{hs~s  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ea~:}!-P  
     )I$q5%q8  
某一位置的Talbot图样 9$|Gfyv  
FDv+*sZ  
\@1=stK:F  
   !}
r% u."  
某一位置的Talbot图样 CJXg@\\/  
K"[AxB'F  
{FG|\nPw  
K!]1oy'V  
不同位置的Talbot图样 y;AL'vm9  
8krpowVs~  
Jte#ZnP  
YI.w-K\  
不同位置的Talbot图样 L[20m(6?  
pTyi!:g3W  
_dJ{j   
mUz\ra;z  
沿Z轴的强度 KhW;RD  
jD`d#R  
zdEPDdB  
]/B$br'O{?  
走进VirtualLab Fusion
!k/Pv\j/R  
IW%|G  
=pk)
3<GwF  
     +5&wOgx  
VirtualLab Fusion的工作流程 ,57`D'  
0sh/|`\  
 构建光栅结构 pIKSs<IP  
#zRbx  
DmBS0NyR7Y  
     {vN}<f`  
 通过参数运行计算不同位置的强度 QlHd,w  
%T[^D&9$,  
     -#Z bR  
Q26qNn bK  
     C>[fB|^  
VirtualLab Fusion技术 .]9c/  
M!tXN&V]