[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 XLog+F$`  
zA~aiX  
7a,/DI2o  
u%o2BLx  
建模任务 lg9
`Z>?  
=i`#0i2(  
$CgJ+ua\8  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) $Ur-Q d  
     NZP>aV-  
某一位置的Talbot图样 *dTI4k  
cZ<@1I5QK  
}JF,:g Lk  
   '@{'T LMCi  
某一位置的Talbot图样 Ti{~  
~{8X$xs  
LD.^.4{c:  
p$qpC$F  
不同位置的Talbot图样 UBgheu  
?qdZ]M4e  
a*qf\&Vb|  
& V*_\  
不同位置的Talbot图样 8hKyp5(%l  
-0 e&>H%  
yV'<l .N  
e=8z,.Xk  
沿Z轴的强度 mYE8]4  
|i}5vT78  
Zx1I&K\Cd  
q h+c}"4m  
走进VirtualLab Fusion qoifzEc`U  
,h#U<CnP#  
^GyGh{@,f  
     C6!P8qX  
VirtualLab Fusion的工作流程 T%opkyP>=  
YgeU>I|v  
 构建光栅结构 "TLY:V  
53i7:1[uV  
OYj4G?c  
     T!iRg=<bz  
 通过参数运行计算不同位置的强度 "!fvEE  
U&(TqRi,  
     pejG%pJ  
.5t|FJ]`$  
     FtEmSKD  
VirtualLab Fusion技术 hDP&~Mk  
K4H U9!