[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 br9`77J8  
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建模任务 'Na/AcRdg  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) <C'S#5,2  
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某一位置的Talbot图样 42m}c1R  
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   S}hg*mWn{$  
某一位置的Talbot图样 9$xEktfV  
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不同位置的Talbot图样 \JLiA>@@  
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不同位置的Talbot图样 N -]m <z>  
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沿Z轴的强度 8bX\^&N  
Ccocv>=Q&J  
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走进VirtualLab Fusion Z6b3gV  
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o4kNDXP#S  
     -BV&u(  
VirtualLab Fusion的工作流程 aNW&ib  
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 构建光栅结构 V,uhBMT#
  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 J<_&f_K0]  
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VirtualLab Fusion技术 Ze$:-7Czl  
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