在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
qfGtUkSSb w;c#drY7S
!ASoXQRz ,<$YVXe/ 建模任务 wD6!#t k _2m[(P9d
7"F|6JP"$c 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
w}j6.r %l:|2s: 某一位置的Talbot图样 *
{gxI<
PW*;S p
NFY|^*bll w53z*l>ek 某一位置的Talbot图样 sq~+1(X
4@v1jJj
Jh$"f r3 j,=*WG 不同位置的Talbot图样 X
a"XB
E7gHi$
tE]5@b,R x2C/L 不同位置的Talbot图样 7|QGY7Tf
\5'O.*pr
}dX/Y/ Gefnk!;; 沿Z轴的强度 G@!_ZM8h
/v"6BU
8cK\myn. 5S%C~iB 走进VirtualLab Fusion h
L]8e>a?
AanH{
EO#gUv psIkG0
& VirtualLab Fusion的工作流程 cy) k<?, L$1K7<i. 构建
光栅结构 2{t)DUs [d4,gEx`Q\ {*QvC
g? J>=1dCK 通过参数运行计算不同位置的强度
+/y{^}b/ ytjK++(T5 qyg*n>nt
3sZ,|,ueD ]3L@$`ys VirtualLab Fusion技术 ]alh_U
5<89Af&&K8