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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 qfG tUkSSb  
    w;c#drY7S  
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    ,<$YVXe/  
    建模任务 wD6!#t k  
    _2m[(P9d  
    7"F|6JP"$c  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) w}j6 .r  
         %l:|2s:  
    某一位置的Talbot图样 * {gxI<   
    PW*;Sp  
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    某一位置的Talbot图样 sq~+1(X  
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    不同位置的Talbot图样 X a"XB  
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    tE]5@b,R  
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    不同位置的Talbot图样 7|QGY7Tf  
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    Gefnk!;;  
    沿Z轴的强度 G@!_ZM8h  
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    走进VirtualLab Fusion h L]8e>a?  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 cy)k<?,  
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     构建光栅结构 2{t)DUs  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 +/y{^}b/  
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