切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 553阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    在线infotek
     
    发帖
    5734
    光币
    22822
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 e2v`  
    Fy"M 4;7  
    7tXy3-~biz  
    m_*wqNFA6  
    建模任务 &muBSQ-  
    6`O,mpPu4G  
    8 7(t<3V&  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) =X?fA,  
         iq*im$9 J  
    某一位置的Talbot图样 L4Zt4Yuw  
    I{OizBom  
    V\Gs&>  
       QZ l#^-on  
    某一位置的Talbot图样 <HoCt8>U  
    !{r2`d09n)  
    jcJ 4?  
    s-#EV  
    不同位置的Talbot图样 M i& ;1!bg  
    ^T!Zz"/:  
    V*b/N  
    salC4z3  
    不同位置的Talbot图样 YK)m6zW5  
    B^/MwD>%  
    vSR&>Q%X  
    w2.] 3QAZ  
    沿Z轴的强度 -y-}g[`  
    VKl,m ;&N  
    /IWA U)A0  
    5P\>$N1p  
    走进VirtualLab Fusion ]0."{^ksL  
    FL' }~il  
    ot<d FvD  
         -*' ?D@l  
    VirtualLab Fusion的工作流程 6p4BsWPx  
    YSeH;<'  
     构建光栅结构 &^"Ru?MK  
    Zu,:}+niU  
    rP4T;Clout  
         OP1` !P y  
     通过参数运行计算不同位置的强度 j**[[  
    p qz~9y~  
         p75o1RU  
    FB[b]+t`D{  
         kM506U<g  
    VirtualLab Fusion技术 W_2;j)i  
    9VxM1-8Gs  
     
    分享到