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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 n<(5B|~y  
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    TKs@?Q,J  
    建模任务 M97p.;;  
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        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 6'lT`E|  
         L08;z  
    某一位置的Talbot图样 ,i((;/O6  
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    某一位置的Talbot图样 \(7#N<-  
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    不同位置的Talbot图样 l4.@YYzbp.  
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    沿Z轴的强度 Vy"^]5  
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    走进VirtualLab Fusion OMC|.[  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 <cc0phr  
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     构建光栅结构 :1  
    I }I/dh  
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         nU#q@p)Xg  
     通过参数运行计算不同位置的强度 iSW73P;)  
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    VirtualLab Fusion技术 I*ni)Px  
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