[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 i55x`>]&sb  
MZ+e}|!4,  
mA7m  
LJVG~Yeo  
建模任务 GjB]KA^  
+\"-P72vjk  
gKg-O  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) wC-Rr^q  
     ;#MB7A  
某一位置的Talbot图样 7a=S  
i*eAdIi  
s6o>m*{  
   NU(AEfF  
某一位置的Talbot图样 irk*~k ?  
e5Mln!.o  
]B=C|usJ  
Y q
cD-K  
不同位置的Talbot图样 u>
pBB@  
B cj/y4"  
dO7;}>F$n  
#Dfo#
]k(  
不同位置的Talbot图样 -A-tuyIsh"  
E|:!Q8"%w  
ZX~ _g@  
[i]r-|_K  
沿Z轴的强度 U.T|   
H.G!A6bd  
F\ctuaLC  
AnZclq
tb  
走进VirtualLab Fusion AOrHU M[I  
0J~Qq]g  

:c8n[+5  
     fa.0I~  
VirtualLab Fusion的工作流程 V^Rkt%JY  
3?&h^UX  
 构建光栅结构 0iEa[G3  
m=qOg>k  
7-_vY[)/  
      uIMe  
 通过参数运行计算不同位置的强度 ?*r!{3T ,u  
hY<{t.ws  
     x|eeRf|  
A>.2OC+  
     TOLl@p]lU  
VirtualLab Fusion技术 x?D/.vrOY  
j[6Raf/(n