[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 v|!u]!JM  
s$%t*T2J>  
/ .wO<l=  
sj9j47y  
建模任务 l*r8.qp  
_Y
{8FN(4  
lN(|EI  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) M =/+q  
     Tu!2lHK;  
某一位置的Talbot图样 ;mT|0&o>#  
.uh>S!X, ]  
{yo{@pdX>  
   /)%$x
i  
某一位置的Talbot图样 C VXz>oM  
gGaA;YW1  
_i3?;Fds  
|wxAdPe  
不同位置的Talbot图样 H{)DI(,Y^P  
c -sc*.&  
N8[ &1  
8"'Z0 Ey  
不同位置的Talbot图样 p*NKM} ]I  
Sg&0a$  
Y)O88C  
009[`Z  
沿Z轴的强度 Ub,5~I+`  
dguN<yS-E  
T'ko
=k  
mm dQ\\  
走进VirtualLab Fusion AjYvYMA&  
.](~dVp%~  
;b`kN;s  
     Z|#G+$"QV  
VirtualLab Fusion的工作流程 wsKOafrV  
.OM^@V~T  
 构建光栅结构 4)Bk:K  
We`6# \Z X  
@<TC+M5!  
     yI{4h $c  
 通过参数运行计算不同位置的强度 W>_K+:t  
n8+_Uww  
     gLss2i.r  
UfkQG`G9H  
     _x`oab0@  
VirtualLab Fusion技术 tqFE>ojlI  
_'mK=`>u