[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 njGZ#{"eC  
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建模任务 Wagb|B\  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) "NvB@>S  
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某一位置的Talbot图样 DTN)#GCtF  
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某一位置的Talbot图样 cL+bMM$4r~  
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不同位置的Talbot图样 H
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不同位置的Talbot图样 >o4Ih^VB  
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沿Z轴的强度 0NM
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VirtualLab Fusion的工作流程 i'MpS  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 wvPS0]  
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VirtualLab Fusion技术 k[8{N  
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