[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ~$cz`A  
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建模任务 iYJ:P  
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B /q/6Pp  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) J8IdQ:4^l  
     >v--R8I*  
某一位置的Talbot图样 -hL0}Wy$N  
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   =)QtE|p,77  
某一位置的Talbot图样  =ie8{j2:  
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不同位置的Talbot图样 o\<m99Ub  
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不同位置的Talbot图样 ' b?' u  
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沿Z轴的强度 3X|7 R  
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走进VirtualLab Fusion }enS'Fpf`  
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VirtualLab Fusion的工作流程 [te9ui%JS  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 %5[,U)X"  
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VirtualLab Fusion技术 J~jxmh  
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