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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 "#\ ;H$+  
    E~oOKQ5W  
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    建模任务 [HZv8HU|  
    BR yl4  
    ]GQG~ H^  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) y_lU=(%Jd  
         B_m8{44zM  
    某一位置的Talbot图样 hZ  
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    Hja3a{LH  
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    某一位置的Talbot图样 [E juUElr  
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    不同位置的Talbot图样 Y glmX"fLf  
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    不同位置的Talbot图样 X?qK0fS  
    CdjI`  
    );&:9[b_  
    mSl.mi(JiZ  
    沿Z轴的强度 ]K,Tnyp  
    Od,qbU4O  
    Uf;^%*P4  
    K} X&AJ5A  
    走进VirtualLab Fusion @>Km_Ax  
    h^(* Tv-!  
    = x)-u8P  
         3eAX.z`D  
    VirtualLab Fusion的工作流程 XrGglBIV  
    gu.}M:u  
     构建光栅结构 [MM~H0=s  
    7CURhDdk  
    uGK.\PB$  
         ,Ae6/D$h/  
     通过参数运行计算不同位置的强度 xHLlMn4M  
    ">,|V-H  
         tGE$z]1c@  
    1FL~ndJs  
         !")tU+:  
    VirtualLab Fusion技术 0#Y5_i|p  
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