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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 Z_$%.  
    Xnt~]k\"  
    HHA<IZ#;,  
    o)h_H;  
    建模任务 h?AS{`.1  
    @3) (BpFe  
    X$HIVxyq2  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) M\o9I  
         O9G[j=U  
    某一位置的Talbot图样 3DzMB?I  
    T/b6f;t-s  
    B;M?,<%FRU  
       (jnQ -  
    某一位置的Talbot图样 I5`4Al  
    lNz7u:U3  
    b+%f+zz*h  
    P Y_u/<u  
    不同位置的Talbot图样 |LRedD7n  
    P2NQHX  
    ^hG-~z<  
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    不同位置的Talbot图样 ERUz3mjA/  
    c?tBi9'Y]  
    n&L+wqJ  
    lsJSYJG&  
    沿Z轴的强度 |ax3sAg  
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    9Z|jxy  
    F0pir(n-  
    走进VirtualLab Fusion aI%g2 q0f  
    $ZUdT  
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         y0{u<"t%w  
    VirtualLab Fusion的工作流程 sr r :!5  
    Pj[PIz  
     构建光栅结构 "fQ~uzg="  
    _64A( U  
    xmNB29#  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 ~d o9;8v  
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    VirtualLab Fusion技术 :iK(JE`   
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