在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
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HHA<IZ#;, o)h_H; 建模任务 h?AS{`.1 @3) (BpFe
X$HIVxyq2 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
M\o9I O9G[j=U 某一位置的Talbot图样 3DzMB?I
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- 某一位置的Talbot图样 I5`4Al
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b+%f+zz*h PY_u/<u 不同位置的Talbot图样 |LRedD7n
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n&L+wqJ lsJSYJG& 沿Z轴的强度 |ax3sAg
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9Z|jxy F0pir(n- 走进VirtualLab Fusion aI%g2q0f
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HU1h8E$- y0{u<"t%w VirtualLab Fusion的工作流程 srr
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光栅结构 "fQ~uzg=" _64A(U xmNB29# }QN1|mP2 通过参数运行计算不同位置的强度
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