[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 U8m/L^zh  
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建模任务 Rf9;jwU  
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INt]OPD  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) mW-4  
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某一位置的Talbot图样 VB=$D|Ll  
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   bh V.uBH  
某一位置的Talbot图样 Hwiw:lPq`E  
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不同位置的Talbot图样 J
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不同位置的Talbot图样 ->_rSjnM{  
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沿Z轴的强度 K;)(fc  
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走进VirtualLab Fusion v%^"N_]  
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VirtualLab Fusion的工作流程 bSJ@ 5qS  
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 构建光栅结构 |k,M$@5s  
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VirtualLab Fusion技术 ;+;%s D  
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