[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 (9u`(|x  
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建模任务 a[K&;)  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) J&aN6l?  
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某一位置的Talbot图样 g@'XmT="_  
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某一位置的Talbot图样 A$wC!P|;  
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不同位置的Talbot图样 ('7?"npd  
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不同位置的Talbot图样 M]o]D;N~l  
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沿Z轴的强度 Hdyl]q-(P  
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走进VirtualLab Fusion mPA)G,^  

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VirtualLab Fusion的工作流程 N #v[YO`.  
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 构建光栅结构 H{=]94  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 vL_yM  
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VirtualLab Fusion技术 {eU>E/SQ  
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