全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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HS5Ug'\446 CSk 建模任务 x1hs19s [}xIg8
9B6_eFb 3/SqXu 光栅角透射率分析(5°设计) |"tV["a
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]TTJr C: !i"9f_ 光栅角透射率分析(10°设计) 8L9S^ '
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]F r^o}Y 原始分束DOE系统 H@&"M%
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x7S(a 体光栅的角滤波效应 BUy}Rn
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&XX| 仿真设置注意事项 B& f~.UH
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*.;}OX^X FMM/RCWA仿真设置
"F.J>QBd - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
5bqYi - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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fO}1(%}d qaSv]k. VirtualLab Fusion的工作流程 1MzB?[gx v_F?x! 使用特殊介质构建光栅
结构 ;7og "e};?|y c$Nl-?W 体光栅的严格分析
_q!ck0_ ojs/yjvx d5W[A#} 复杂
系统的光栅建模
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Erymx$@P %RF VirtualLab Fusion技术 g=' 2~c
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