全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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e*zt;SR q@"0(Oj 建模任务 nWyn}+C- 1Re5)Y:i
| M|5Nc>W H J8rb 光栅角透射率分析(5°设计) iaq+#k@ V
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aj$#8l |zu S(c&XJR 光栅角透射率分析(10°设计) E\X:VQ9
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` !JcQ'u l1EI4Y9KG 原始分束DOE系统 `L. kyL
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_>k&,p]y g aq"+@fH 体光栅的角滤波效应 +@j@# ~=K
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8d!t"oj68 {zri6P+s 仿真设置注意事项 $U]KIHb
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VY@6!9G FMM/RCWA仿真设置
cGE,3dsF[ - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
_@gd9Fi7J - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
qoo+=eh!
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FVgE^_ -!C9x?gNY VirtualLab Fusion的工作流程 $BPTk0Y KcK,%!>B 使用特殊介质构建光栅
结构 v"LH^!/ Kz>Bw;R( |BC/ERms 体光栅的严格分析
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系统的光栅建模
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