全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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3 Lsj}p rzI|?QaPi 建模任务 >xn}N6Rj2~ |s)?cpb
a9?y`{%L hw~a:kD 光栅角透射率分析(5°设计) lM[XS4/TRa
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@ Ehn(} *I0-O*Xr 光栅角透射率分析(10°设计) `3'0I /d"z
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ZB[Qs +EM_TTf4 原始分束DOE系统 UYtuED
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,xT?mt}P |J~eLh[d 体光栅的角滤波效应 ^v@4|E$
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=0'q!}._! a3>zoN 体光栅的角滤波效应 >u(>aV|A
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xT)psM'CL 1lnU77; 仿真设置注意事项 DBs*Fx[
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n!E2_ FMM/RCWA仿真设置
Jj^GWZRu - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
9=/N|m8. - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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-n? g~(/P :` $@}GI 走进VirtualLab Fusion <vbIp&
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+/+P\O S|GWcSg VirtualLab Fusion的工作流程 ;bX4(CMe
& +tN&a 使用特殊介质构建光栅
结构 e|r0zw S VRW]a :Ld!mRZF 体光栅的严格分析
m!OMrZ%)} SgE/!+{ 1[;@AE2Y 复杂
系统的光栅建模
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