全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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##,i< V0L^pDLOV 建模任务 C9Fc(Y?_ u *z $ I
LaJc;Jt$ L]#J?lE& 光栅角透射率分析(5°设计) *ZGQ`#1.X6
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"twV3R ")HTUlcAe} 光栅角透射率分析(10°设计) oCSf$g8q
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<V"'j K;-:C9@ 原始分束DOE系统 "
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w6 b]Rn Cu" 仿真设置注意事项 6!g3Juh
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?Dm! ;Z+7 FMM/RCWA仿真设置
KfWVz*DC! - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
$F G4wA - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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=q5A@!D {(7.X4\x VirtualLab Fusion的工作流程 orzdq !M^pL| 使用特殊介质构建光栅
结构 _V:D7\Gs giaO7Qh~ `p#A2ApA 体光栅的严格分析
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系统的光栅建模
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