全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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_Fv6S}~Q :U'n0\ 建模任务 eej#14& e(1{W P
&pz`gna 7OXRR)]V 光栅角透射率分析(5°设计) 3]'h(C
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>nK ( _:Y|a> 光栅角透射率分析(10°设计) :AuK Q`c
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SjJ$Oinc F60m]NUM)c 体光栅的角滤波效应 =bvLMpa
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_XrlCLp: d 0s}gg[lj 体光栅的角滤波效应 n36@&q+B&
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m#6p=E fG.6S"|M 仿真设置注意事项
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fbah~[5} FMM/RCWA仿真设置
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T - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
SST@ - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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.)FFl !@+4&B= VirtualLab Fusion的工作流程 w/(2fU ( _71I9V& 使用特殊介质构建光栅
结构 !g~u'r'1 &oK&vgcj |*]<*qnZt 体光栅的严格分析
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系统的光栅建模
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v?DA> k>\s6 VirtualLab Fusion技术 Nlm3RxSn
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