全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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Z30r|Ufh ) (4.7> 建模任务 &"_5?7_N #0:N$'SZ
~4T:v_Q7g CC,f*I 光栅角透射率分析(5°设计) f+WN=-F\
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Exu5|0AAE YA?46[: 光栅角透射率分析(10°设计) ktEdbALK
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h 原始分束DOE系统 8.Z9 i
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<< XWL: 体光栅的角滤波效应 XCP/e p
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K{vn[} 8AGP*"gI 体光栅的角滤波效应 lx)Bj6
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]b+Nsr~ llK7~uOC 仿真设置注意事项 TF[8r[93
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~LG<Uu FMM/RCWA仿真设置
X+$IaLfCxD - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
5Z<y||= - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
9&O7