全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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l =(ZGaZ} 建模任务 3\{Sf /# =Wf@'~K0k"
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Ps7%:|K] $<v_Vm?6d 光栅角透射率分析(10°设计) z m'jk D|
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R%%`wmG)" `y`xk<q 原始分束DOE系统 #lF<="y%X
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}kj6hnQ {<kG{i/ 体光栅的角滤波效应 ZkW@ |v
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yjd'{B9{ Q$1K{14I 仿真设置注意事项 N^+ww]f?
j;)g+9`
iI*7WO[W FMM/RCWA仿真设置
D,\=zX; - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
d 4]%Wdvf - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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SbZt\a 8 7X(]r1-+\ VirtualLab Fusion的工作流程 *Xoscc xV#a(>-4 使用特殊介质构建光栅
结构 n*Vd<m;w W(h8!} wkD:i 2E7 体光栅的严格分析
@@83PJFid ,dx)rZ* fm%RNAPvc 复杂
系统的光栅建模
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SDHc[66' R: <@+z^A[ VirtualLab Fusion技术 xn@0pL3B~
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