全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
jRmv~] Z7V1e<E >j4;{r+eQw P@`@?kMU 建模任务 sPyq.oG &
VJ+X|Z o3#qp>R mcP]k8?C 光栅角透射率分析(5°设计) f0~<qT?:n
Ovq-rI{
Q=)$ ~5N0=) 光栅角透射率分析(10°设计) K63OjR>H
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Nz'fM daX, [o<Rgq4 原始分束DOE系统 _rdEur C6
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Tv_KdOv8 E].hoq7WiB 体光栅的角滤波效应 *?zmo@-
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&q7HK\ 仿真设置注意事项 C< 3`]l
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/` FMM/RCWA仿真设置
l+HmG< P - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
7hQXGY,q - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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系统的光栅建模
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