全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
yYCS-rF> qOo4T@t3 k~tEUsv ReaZg ?:h 建模任务 [3Q0KCZ0( fd)8lK[KJ" c^r8<KlI9 )d3
09O 光栅角透射率分析(5°设计) g NI1W@)
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uMcI'= m%|\AZBA# 光栅角透射率分析(10°设计) C[^VM$
B"4 3o7C
{<-s&%/r v$}^$8` 原始分束DOE系统 jX7K-L
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34 [c?0Q3F 体光栅的角滤波效应 /~"-q
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3qWrSziD %xgP*%Sv2 体光栅的角滤波效应 Za@\=}Tt
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GDH KMhrw s{&B 仿真设置注意事项 zdP?HJ=F
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PF4[;ES' FMM/RCWA仿真设置
!@z9n\Yj - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
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9`p - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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d!I%AlV ]@U?hD VirtualLab Fusion的工作流程 \9+,ynJH8z %<yW(s9{ 使用特殊介质构建光栅
结构 KDN#CU oIrc))j,$ kH 9k<{ 体光栅的严格分析
I(6%'s2 dz#"9i5b }-[l)<F: 复杂
系统的光栅建模
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; {A}T^q!m] VirtualLab Fusion技术 r,eH7&P9{
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