全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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Qk5pRoL_ ;*J_V/&? 建模任务 }Mv$Up | XGj97#M
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L 1e $V/Hr/0 光栅角透射率分析(5°设计) e9\eh? bPU
EOj.Jrs~
LdH23\ vz~`M9^ 光栅角透射率分析(10°设计) (=\))t8J
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#TUuk ByU&fx2Z 原始分束DOE系统 fK
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/l%+l@ ,%^qzoZnT 体光栅的角滤波效应 h 2QJQ|7a
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~@H9h<T oF(=@UL 仿真设置注意事项 F'^y?UP[
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kJ_XG;8 FMM/RCWA仿真设置
>gTQD\k:D - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
l0&U7gr - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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77/j}Pxh (>,}C/-UG 走进VirtualLab Fusion 4#Rq}/h
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Y$4dqn %;ZDw@_< VirtualLab Fusion的工作流程 3E$h
W FdE9k\E#/) 使用特殊介质构建光栅
结构 p5V.O20 ] <y3;T\~ IAFj_VWC0 体光栅的严格分析
+01bjM6F_1 2tMa4L%@C W5U;{5 复杂
系统的光栅建模
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m^%Xl@V:c- R-]i BL VirtualLab Fusion技术 0N`'a?x
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