全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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rbc7CPq_^ Ws;X;7tS 建模任务 }.N~jx0R V@pUU~6R
7g-{<d <|1Kh ygv 光栅角透射率分析(5°设计) |u_fVQj
Z=9gok\
EqF>=5* 7=a=@D[ 光栅角透射率分析(10°设计) K:b^@>XH
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原始分束DOE系统 ;! ,I1{`
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z yrjb8 EL(BXJrx{ 体光栅的角滤波效应 l0=VE#rFl
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IubzHf TF~cDn 体光栅的角滤波效应 "1%\Fi l
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OXS.CFZM kJpr:4;@_ 仿真设置注意事项 lY[\eQ
1:
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[BKOK7QK| FMM/RCWA仿真设置
K)GpQ|4:< - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
aEn*vun - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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nf VirtualLab Fusion的工作流程 %J+k.UrM j+[oZfH 使用特殊介质构建光栅
结构 &(h@]F! xtK}XEhG! {Zo*FZcaX 体光栅的严格分析
%lGT|XrY L'O=;C"f }c=YiH,o 复杂
系统的光栅建模
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