全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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x?k |i}Q WaO;hy~us 建模任务 %^@0tT l=OC?d*m
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k}a!lI: 光栅角透射率分析(5°设计) Q ]koj!mMl
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UtW3KvJ#= #(}_2x5 光栅角透射率分析(10°设计) g8@i_
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>Y KB-#):' 原始分束DOE系统 =|t1eSzc
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oM7-1O OpX 体光栅的角滤波效应 y&|{x "
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仿真设置注意事项 ^\t">NJ^
WQ`P^5e
ll^O+>1dO FMM/RCWA仿真设置
4>eg@s N - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
@)B5^[4(; - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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L.&Vi"M <@ \evgDZf 走进VirtualLab Fusion sSb&r
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