全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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[Ef6@ mR|L'[l 建模任务 [ Y+Ta, |L/EH~| O
[)+wke9 e,kxg^ 光栅角透射率分析(5°设计) :FT x#cZ
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mT:NC'b<9 GY>G}bfh 光栅角透射率分析(10°设计) @C-03`JWuK
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{N3&JL5\"E {Qi J-[q 原始分束DOE系统 CvHE7H|-{
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1:JwqbZKJ aFaioE#h( 仿真设置注意事项 _9g-D9
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-MRX@ a^1 FMM/RCWA仿真设置
9X?RJ."J - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
)I#{\^ - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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结构 c]h@<wnv |Fz ^(US u^G Y7gah 体光栅的严格分析
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系统的光栅建模
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