全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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]6 wi W<"\hQI 建模任务 *\", qMp e%6{P
99K+7G\{ R:N-y."La. 光栅角透射率分析(5°设计) G>QTPXcD
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JB@VP{ ;!?K.,N:N 光栅角透射率分析(10°设计) DT4RodE$
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.,?Q 原始分束DOE系统 \DK*>
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Tj5@OcA$ P1 stL, 仿真设置注意事项 4uAafQ`@H
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X@U1Ri FMM/RCWA仿真设置
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_f!j - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
5KE%@,k k - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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(NZno B@inH]wq 走进VirtualLab Fusion jDXGm[U
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2Q|*xd4B^ )=nPM`Jn. VirtualLab Fusion的工作流程 UQ])QTrZFi eZ5}O0sfp 使用特殊介质构建光栅
结构 [.xk hRIS[#z;U OKP_3Ns 体光栅的严格分析
"UGj4^1f |#:dC # w })Pedg 复杂
系统的光栅建模
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