全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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[%alnY j<-#a^jb 建模任务 ueyz@{On~ +y$%S4>0tp
7)`U%}R J.r^"K\ 光栅角透射率分析(5°设计) ]{Ytf'bG
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1gwnG& I$Bu6x! 光栅角透射率分析(10°设计) [zO:[i 7
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qW1d;pt arR9uxP 原始分束DOE系统 RpAqnDX)
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J3F-Yl| hmRnr=2N 体光栅的角滤波效应 ET_a>]<mv
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;#F/2UgHB "0Wi-52=V 仿真设置注意事项 eDh]uKg
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`OL@@`'^{S FMM/RCWA仿真设置
#Sxk[[KwH* - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
)U?Tmh - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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}e7os0;s #DBg8 VirtualLab Fusion的工作流程 q#{.8H-X' 'pCZx9*c 使用特殊介质构建光栅
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PTU_<\ 体光栅的严格分析
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系统的光栅建模
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