全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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c ku8Z;ONeH 光栅角透射率分析(10°设计) &]A1 _dy
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9 原始分束DOE系统 B,qZwc|
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Otg - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
Y'":OW#oN - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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s_+XSH[=f DEuW' .o> VirtualLab Fusion的工作流程 Q|r1. `{[C4]Ew/ 使用特殊介质构建光栅
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系统的光栅建模
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