全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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;JX2ebx A6#v6 iT 建模任务 l>pnY%(A Pk^V6-
Kk>va->R Q.SqOHeJ 光栅角透射率分析(5°设计) 1t7T\~+F
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QLZ%m $Z G.qjw]Llf 光栅角透射率分析(10°设计) /?S,u,R
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@XH@i+{B on f7V 原始分束DOE系统 *-s':('R
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i7`/"5I (~^KXJ{-> 体光栅的角滤波效应 xS_tB)C
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Xnxb.{C RY~mQ 体光栅的角滤波效应 'L2[^iF9
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*m 仿真设置注意事项 d4LH`@SUZ-
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tS[@?qP FMM/RCWA仿真设置
`%=!_| - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
#G("Oh - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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B`|H}KU .;37 e 走进VirtualLab Fusion +P=I4-?eX
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?DC;Hk< SOvo%L@ VirtualLab Fusion的工作流程 $WbfRyXi7' %&iWc_" 使用特殊介质构建光栅
结构
JjHQn=3AJ xUDXg* 3NrWt2? 体光栅的严格分析
\C`2z]V% C 4\Q8uK vVH*\&H\T 复杂
系统的光栅建模
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Kk/cI6`W <is%lx(GDX VirtualLab Fusion技术 8-q4'@(
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