全息体
光栅通常是由双/多
光束干涉而制成的,以其
波长和
角度敏感性而闻名。正因为如此,它们可以被设计为角度截止滤波器。在本例中,根据Bang等人的工作,构造体光栅,分析它们的角度灵敏度,然后在分束DOE系统中使用其中一个光栅作为角滤波器。
仿真中给出了不期望的高
衍射级的抑制。
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tt A'RJ k]rc -c- 建模任务 GL,( N| u] Z;Q_=
^&KpvQNW_ t!\B6!Fo 光栅角透射率分析(5°设计) `r]C%Y4?
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R(f6uO!m {a0yHy$H 光栅角透射率分析(10°设计) SBg|V
g(dReC
) uTFId Y=D\ 原始分束DOE系统 hv *XuT/
d:{}0hmxI
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~ 体光栅的角滤波效应 Ey)ey-'\
~\+Bb8+hpJ
QzxEkTc; N(%(B 体光栅的角滤波效应 PR7B
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KNjU!Z/4 W5>emx'> 仿真设置注意事项 >D%
<c$rfjM+JU
m qwJya FMM/RCWA仿真设置
Vwb_$Yi+] - 在本例中,全息体光栅的
折射率仅沿z轴变化,而没有横向变化。
c7D{^$L9v - 对于这种情况,在FMM / RCWA计算中无需将电磁场扩展为多个空间频率分量。
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