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T{H#]BF<E Vc52s+7=8 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。
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NVA`t]gn 4fu\3A& 微结构 R`C_CsXir
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?GY8W: 微结构组件的配置 ;p#Z :6
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X|damI% N]s7/s - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
E#{WU} - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。
v_ nBh,2 - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。
^Q)gsJY|I - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。
^8-~@01.`_ 6KCCbg/ 总结-组件…
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3dxnh,]&@ %is,t<G 监测器平面上的衍射图案 ySuLt@X
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bco[L@6G$ cJHABdK- 监测器平面上的衍射图案 S QM(8*:X
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5y[b8mur @!&Jgg53G 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
4gv.E 0Fo pRrqs+IJZ\ 高度缩放调制 wHt#'`5
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#GY&$8.u* |>IUtUg\ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 w$b+R8.n)
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