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T}u ' b[*d i{? - 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。
U (J?Q tH W"eag 建模任务 ]}'WNy6c&x
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1 ViD S `P# h?tZ 微结构 Z. h`yRhO
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@|d|orMC & VQwu O -n Hc 52, F,lQj7 }F1^gN&QF lJU[9)Q_ 微结构组件的配置 x&;{4F Nw
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'etCIl3 ,u\M7, a^ - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
+VU,U`W - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。
h|jsi*4NnL - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。
c\RDa|B, - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。
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总结-组件…
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85H8`YwPh Z7% >O:@z 监测器平面上的衍射图案 -bE{yT )7
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yfaXScbE ~rKo5# D 监测器平面上的衍射图案 Q+ uYr-
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w" aD"}3 \y <n{"a 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
VT-&"Jn o[8Y %3 高度缩放调制 tAaFIIvY
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}_ Jai4O D^f;dT;- 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 `Y$LXF~,Om
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L$Ss]Ar= &)`A4bf% VirtualLab Fusion技术 "Tfb d^AU
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