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'`A67bdq) P*^UU\x'4I 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。
0PX@E-n H-y-7PW*~ 建模任务 F9G$$%Q-Z
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_@ 3O` JC?V].) y5 微结构 6 VJj(9%
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T=KrT7 cngPc]?N / z>8XM& #S74C*'8 k/rkJ|i+p I)4|?tb ? 微结构组件的配置 "%iR-s_>
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u6&Ixi/s' ; ."{0gq - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
KE1@z] - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。
[~H`9Ab= - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。
;iI2K/ 3 - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。
@ShJ: :z5I bas: 总结-组件…
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s!q#qM 监测器平面上的衍射图案 Gi_X+os
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E$fy*enON )n61IqrW 监测器平面上的衍射图案 \FX3=WW
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,(b~L<zN& ag4^y& 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
G` K7P`m ,=yIfbFQ 高度缩放调制 J\},o|WI
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T>?1+mruM o[*ih\d 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 *J- jr8&
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R5~ m"bE dNmX<WXG VirtualLab Fusion技术 hRiGW_t
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