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W\k8f+Ke WN+i 3hC 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。
GeTk/tU a&x:_vv 建模任务 OQ&N]P2p
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:R,M Y"( iCF},W+ 微结构 7Hr_ZwO/^
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)"pvF8JR%3 &7f8\TG| m4 (pMrJ xKG7d8= &)mZ~cPU3 ^PTf8o 微结构组件的配置 PlGif)
Bz/Vzc(
8x U*j k0e}`#t - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
t1adS:)s - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。
g[O?wH-a - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。
V ql4*OJW - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。
/RxP:>hVv "Gp[.=.z? 总结-组件…
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x,,y}_YX tp] 5[U 监测器平面上的衍射图案 k{SGbC1=VK
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"l56?@- x '`P%;/z 监测器平面上的衍射图案 %+(AKZu:
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vmqa_gU\ 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
X_TjJmc 35& ^spb 高度缩放调制 ,-#MEr
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" CT}34l W%!(kN&d 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 S/'0czDMW
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r(>S JN0h3nZ_ VirtualLab Fusion技术 -F ~DOG%
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