[技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

F)@<ZE  
}FXRp=s  
Ua]zTMI  
EkX6> mo  
衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 ,&-[$,  
/p>[$`Aq  
建模任务 6D0,ME#  
J0 P  
{ SfU!  
;W].j%]Le  
微结构 zN1;v6;  
\a!<^|C&  
d1
-p];&  
Q?@G>uz  
5*AKl< Jl  
AMdS+(J  
3(%,2  
<Va>5R_
d<  
}#J}8.  
微结构组件的配置 s,Swlo7D!  
;qMlGXW*q  
0YL0Oa+7  
#k)\e;,X  
- Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 =S,<yQJ  
- 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 Q)>'fZ)  
- 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 Vz*'^=(o&  
- 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 0h#M)Ft  
u
i1
m+  
总结-组件… \Hd B  
9[D7N  
UZra'+Wb  
*$VurqLn  
M6iKl  
      6qlr+f  
监测器平面上的衍射图案 3:Wr)>l}#  
4(82dmKO  
@ni~ij  
S41>VbtEp  
监测器平面上的衍射图案 S<~nk-xr*h  
h.0K PF]O  
$nn5;11@gY  
Z.pw!mu"  
分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 7w,FA  
x3|'jmg  
高度缩放调制 ub5
hX{uT  
'9@R=#nd  
!`lqWO_/ :  
=L%3q<]p  
探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 #cS,5(BM  
9 NQq=@  
wjOAgOC  
+ctv]'P_  
VirtualLab Fusion技术 #1@~w}Dh  
/&7Yi_]r