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&EnuE0BD (!zy{;g| 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。
$-*!pRaVU k{Aj^O3gD 建模任务 Zp#v Hs
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?%y?rk < W!&vul5 O7 $hYk 5kz)5,KjM Mwr"~?\\ QD>"]ap,o 微结构组件的配置 VH1d$
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7?%k7f - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
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wu*Zx - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。
#gcF"L|| - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。
x HhN - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。
E3iW-B8u8 L~NbdaO 总结-组件…
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[Yc G(^^ |Xk4&sDrK 监测器平面上的衍射图案 }-6)gWe
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\0f{S40 TTTPxO, 监测器平面上的衍射图案 dp*u9z~NA
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ML>[^F <h'5cO 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
a,WICv0E |]X 高度缩放调制 [a
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d]f EG=Sl~~o 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 )(384@'"u
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