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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-08
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    ! v![K  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 mfj{_fR3  
    E{Wn&?i>A  
    建模任务 BbX$R`f  
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    微结构 >&.N_,*  
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    微结构组件的配置 {Vu=qNx  
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    ;rf{T[i  
    4m\Cc_:jO  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 iX?j"=!  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 efyEzL  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 Tcy9oYh!Pn  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 SVa^:\"$[  
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    总结-组件 <@M5 C -hH  
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    "I=Lbh-`  
    <RxxGD  
         (Tq)!h35B  
    监测器平面上的衍射图案 CM~x1f*v  
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    R UCUEo63  
    qi@Nz=t#HJ  
    监测器平面上的衍射图案 -wUT@a  
    Oh}52=  
    WDnNVE  
    ZXhNn<  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 =8vwaJ  
    \V~B+e  
    高度缩放调制 1^AQLOiRE1  
    :tENn r.9v  
    Zp/P/97p  
    Uv k:  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 MNh:NFCRA  
    >]B_+r0m^  
    ,wr5DQ  
    D{7sfkcJ  
    VirtualLab Fusion技术 W<#Kam:8e  
    /?>W\bP<  
     
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