FEk9a^Xyx 6]1RxrAV
PA^*|^;Xh !
v![K 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。
mfj{_fR3 E{Wn&?i>A 建模任务 BbX$R`f
uU)t_W&-J
t\/H. Hb ? X8`+`nh 微结构 >&.N_,*
"q?(rx;
z -?\b^
l -XfUjJ &E]) sJ0 |B(,53 )zWu\JRp .uA
O.< XO;_F"H= 微结构组件的配置 {Vu=qNx
\*MZ1Q*x
;rf{T[i 4m\Cc_:jO - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
iX?j "=! - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。
efyEzL - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。
Tcy9oYh!Pn - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。
SVa^:\"$[ \ ERBb. 总结-组件…
<@M5 C-hH (1=@.srAzK
ar@,SKU'K "I=Lbh-`
<RxxGD (Tq)!h35B 监测器平面上的衍射图案 CM~x1f *v
%5L~&W}^"
R UCUEo63 qi@Nz=t#HJ 监测器平面上的衍射图案 -wUT@a
Oh}52=
W DnNVE ZXhNn< 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
=8vwaJ \V~B+e 高度缩放调制 1^AQLOiRE1
:tENn
r.9v
Zp/P/97p Uvk: 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 MNh:NFCRA
>]B_+r0m^
,wr5DQ D{7sfkcJ VirtualLab Fusion技术 W<#Kam:8e
/?>W\bP<