LsaRw-4.c %:Y'+!bX
-z'6.IcO .83z = 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。
uZ+vYF^ QA#Jx 建模任务 tx]!|x" F
ZqfoO!Ta
PY[!H<tt !uN_<! 微结构 \&4)['4,
M9/J!s
%i@Jw
A2"$B\j1 K!;>/3Y2- &W?
hCr yOE N*^6 uY:u[ *7K)J8kq 微结构组件的配置 gF&HJF 0x
H~~>ut6`
e`;U9Z e!
0Y`lQ - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
'Ug-64f> - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。
-_fh=}.n+" - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。
B8 R&Q8Q - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。
Jl{g"N{2u' fe7DS)U 总结-组件…
]`\~(*;[W9 #&&
d5 U+]g F/U38[
])mYE
}g +tp@Tb 监测器平面上的衍射图案 U\UlQp?
|"k+j_/+
Yjix]lUXVf }+BbwBm& 监测器平面上的衍射图案 )X5en=[)O
E(0 [/N~
T<~?7-O" a'YK1QX 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
xkmqf7w 8% `Jf` 高度缩放调制 H1a<&7
=l1O9/\9
;09U*S$eK 7A4_b8 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 n]snD1?KX
8aa`0X/6
Un{ 9reX5 {{Z3M>Q VirtualLab Fusion技术 btv.M
}XIUz|