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<+ -V5O^ t^`<*H 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。
2qt=jz\s (K^YD K 建模任务
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c ,Qw;
OJnPP> 0*37D5jH 微结构 ;+S2h-4
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=4YbVA+( }~7H2d);- PpX{+^z-% 3N(8|wh Ej;Vr~Wi P&qy.0 微结构组件的配置 ?q+8 /2
}`+O$0A
*uk\O] ]hCWe0F - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
^G]KE8 - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。
qkIA,Kgy - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。
sV9{4T~#| - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。
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-DvG $#6Fnhh} 总结-组件…
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|HKHN?) fY|@{]rx 监测器平面上的衍射图案 5^G7pI7
C=xo&I7
umq$4}T'$ F9>(W#aC 监测器平面上的衍射图案 ; Xnk+
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z/c'Z#w% mI{CM:
: 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
jgZX~D b;&Yw-\nZ; 高度缩放调制 ONg<
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t9$~T 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 HQ-N!pf9
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Rx_,J%0Fq VNOK>+ VirtualLab Fusion技术 BMtYM{S6
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