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-B4uK <kLY1 EILM 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。
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PK 建模任务 ,EZ&n[%Ko
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82$By] Y9 b8b-M]P-= 微结构 $k'f)E
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d.2b7q09 07(E/A] yqejd_cd Jk{>*jYk` T" QY@#E @;rV B 微结构组件的配置 GGJ_,S*
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'')G6-c/ cYbO)?mC_ - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
>E]*5jqU - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。
,1~Zqprn - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。
Phb<##OB - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。
+B8Ut{l s{s0#g 总结-组件…
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nn=JM7e\9 SN]/~>/ 监测器平面上的衍射图案 qWanr7n]@
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ZzKn,+ sm_:M| [D 监测器平面上的衍射图案 qS2%U?S7
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:lE7v~!Z I7uYsjh @u 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
ko5\*!|:lj #e|eWi> 高度缩放调制 ze 4/XR
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78.sf{I JfVay I= 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 TWs|lhC7!
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