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_f~m&="T! /s~&$(d59o 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。
Fo[=Dh*AqU (
G# W6 建模任务 XYsU)(;j
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1 :d,8 Z }Z]["q 微结构 ;tu2}1#r
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/ :@X< R?GF,s <j DANndXQLH $ACD6u6 W0>fu> ZpQ8KY$ 5 微结构组件的配置 x$\w^h \F
0] $5jW6]
Kf-rthO [xsiSt?6 - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
`d i/nv) - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。
*Me{G y - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。
qJrMr4:F - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。
C1KO]e > @s/0 .7 总结-组件…
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9F"Q2^l' MW6KEiQ" 监测器平面上的衍射图案 ]w[T_4 l
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y?s8UEC C2 ] x 监测器平面上的衍射图案 eEG]JH
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*=ymK* &k2nt 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
=q-H R+ k_<8SG+` 高度缩放调制 hu+% X.F4
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N>}2&'I X@n\~[.B 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 qW6}^aa
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