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'IaI7on fO!S^<9,- 衍射式分束器被广泛用于
光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射
光线的
角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微
结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况
优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。
@$5! T>"GH M 建模任务 wH:'5+u:6
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(#w8/@JxF ?K<m.+4b*y 微结构 .x$!Rc}
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!fFmQ\|)4S >R5qhVYFb :#M(,S"Qq 7\'ow|)}v 6B4s6 !ul)e;a 微结构组件的配置 X#s:C=q1
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b";w\H 48.2_H< - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。
(n&Hjz,Fv - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。
bSW!2#~ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。
C[j'0@~V:B - 用于通过堆栈传播的
精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。
3r=IO# Hv>C#U 总结-组件…
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=1o_:VOG YW@Ad 监测器平面上的衍射图案 ziuhS4k
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6&% c V Iof4?i 监测器平面上的衍射图案 saOXbt(&
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M/pP?|| 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
`0+zF- zosJ=$L 高度缩放调制 mA5x ke_)
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|H&2[B"l _20nOg`o 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 #uNQ+US0
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Lwgk}!KR -yt[0 VirtualLab Fusion技术 Q7`}4c)
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