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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-08
    x]({Po4  
    +y+-~;5iv  
    'IaI7on  
    fO!S^<9,-  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 @$5!  
    T>"GH M  
    建模任务 wH:'5+u:6  
    W#p A W  
    (#w8/@JxF  
    ?K<m.+4b*y  
    微结构 .x$!Rc}  
    |+?ABPk"  
    /]/3)@wT  
    !fFmQ\|)4S  
    >R5qhVYFb  
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    !ul)e;a  
    微结构组件的配置 X#s:C=q1  
    'E/vE0nN?  
    b";w\H  
    48.2_H<  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 (n&Hjz,Fv  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 bSW!2#~  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 C[j'0@~V:B  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 3r=IO#  
    Hv>C#U  
    总结-组件 "RuH"~o  
    / jI>=:z  
    {5+t\~q$  
    xg~ Baun  
    =1o_:VOG  
         YW@Ad  
    监测器平面上的衍射图案 ziuhS4k  
    8aw'Q?  
    6 &% c  
    V Iof4?i  
    监测器平面上的衍射图案 saOXbt(&  
    L+@RK6dq  
    $CaF"5}?Ke  
    W M/pP?||  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 `0+zF-  
    zosJ=$L  
    高度缩放调制 mA5xke_)  
    qyMR0ai-  
    |H&2[B"l  
    _20nOg`o  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 #uNQ+US0  
    ,HXY|fYr  
    Lwgk}!KR  
    -yt[0  
    VirtualLab Fusion技术 Q7`}4c)  
    tP2hU[7Z  
     
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