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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    n@e[5f9?x  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 /`x)B(b  
    [-pB}1Dxb  
    ;<~lzfs  
         I,Z'ed..  
    建模任务 rf:C B&u  
    ^;xO-;q  
    OD~TWT_  
         /U1 jCLR'  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) &qP@WFl  
         *K}j>A  
    系统建模块 X"z!52*3]  
    ; ^cc-bLvF  
    9>1 $Jv3  
         Z"u|-RoBV  
    特定位置的Talbot图案 yS2[V,vS7  
    w*3DIVlxL  
    1qgzb  
    Dn9AOi!  
    特定位置的Talbot图案 ap% Y}  
    7lJs{$ P  
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    不同位置的Talbot图案  &9*MO  
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    不同位置的Talbot图案 *wY { ~zh  
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