切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 604阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5623
    光币
    22267
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    fN%5D z-e  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 q2U"k  
    KZ >"L  
    ;eEtdoy  
         U+A(.+d.  
    建模任务 #1!BD!u  
    ,HO/Q6;N  
     AQNx%  
         SFPIr0 u  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Qs[EA_  
         68br  
    系统建模块 FEi,^V  
    Y&Vbf>Hi+  
    7Hlh (k  
         K[;,/:Y  
    特定位置的Talbot图案 VKfHN_m*  
    3LnyQ  
    Mw7UU1 ei  
    j<-o{6r  
    特定位置的Talbot图案 F4{. 7BT  
    J3SbyI!T  
    @ DKl<F  
    不同位置的Talbot图案 ph'SS=!.  
    <EN[s  
    Uo)<_nG  
    `e;Sjf<  
    不同位置的Talbot图案 ;}9Ws6#XQs  
    EBE>&{%$^  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表