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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
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    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 KkdG.c'  
    6VH90KAT  
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    建模任务 S2'`|uI  
    +EST58  
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         ^_*jp[!`b$  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ;.nP%jD  
         -7-Fd_F8  
    系统建模块 >9o,S3  
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         {?EEIfg  
    特定位置的Talbot图案 y:g7'+c  
    ]RH=s7L  
    ;Cr_NP[8|j  
    ,bZ"8Z"lss  
    特定位置的Talbot图案 85r)>aCMn  
    zG-_!FIn  
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    不同位置的Talbot图案 /S7+B ]  
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    -H1"OJ2aF  
    不同位置的Talbot图案 1DEO3p  
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