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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    n9UKcN-  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ]> G&jd7  
    8<&EvOk  
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    建模任务 }DIF%}UK\  
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    9]yW_]P  
         Fr:5$,At7-  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) =nRuY '  
         u<Xog$esu  
    系统建模块 's%q  
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         8A2 z 5Aa  
    特定位置的Talbot图案 Ot9V< D6h  
    HD-Erop  
    AtHS@p  
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    特定位置的Talbot图案 La,QB3K/  
    hnxc`VX>g  
    l5O=VqCj  
    不同位置的Talbot图案 R}{GwbF_\  
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    不同位置的Talbot图案 IgX4.]W5  
    - q@69q  
     
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