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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    <x$f D37  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 &Dp&  
     NY[48H  
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    建模任务 DuQ:82 3b  
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    cIuCuh0I`  
         %uP/v\l  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 8L@@UUjr  
         {+9t!'   
    系统建模块 %a-fxV[  
    '@QK<!%,  
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         yN#]Q}4  
    特定位置的Talbot图案 1_n5:  
    4tapQgj24  
    \/y&l\ k)  
    B,4GxoX`  
    特定位置的Talbot图案 (i@(ZG]/  
    {N-*eV9#  
    bG)6p05Oa  
    不同位置的Talbot图案 N,cj[6;T%  
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    不同位置的Talbot图案 z-S8s2.Fd  
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