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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    \\80c65-  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 p@H]F<  
    3V]B|^S  
    ,f`435R  
         t?NB#/#%x  
    建模任务 _qg)^M6  
    0MK|spc  
    !r:X`~\a  
         x!klnpGp  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) -!uut7Z|  
         uJz<:/rwZ-  
    系统建模块 8(R%?> 8  
    wB6 ILTu1  
    BU[ .P]  
         V[f-Nj Kf  
    特定位置的Talbot图案 $x,?+N  
    %G6ml,  
    i6R2R8  
    %T]NM3|U  
    特定位置的Talbot图案 mQmn&:R  
    J/3qJst  
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    不同位置的Talbot图案 82% ~WQnS  
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    不同位置的Talbot图案 >C"f'!oM,j  
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