[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

RbX!^v<0f6  
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 (;YO]U4  
fU^B 3S6X  
-a(f-  
     ,?i^i#Wqzg  
建模任务 7
?j$Lwt  
l=*^FK]L`  
b $x<7l5C  
     pv039~Sud  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) hH:7
 
     T.="a2iS2  
系统建模块 FV^CSaN[R  
Rt~Aud[  
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     ]YkF^Pf!v  
特定位置的Talbot图案 hABC rd Em  
g(<02t!OT=  
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特定位置的Talbot图案 @eMDRbgq;[  
I=&5m
g=m  
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不同位置的Talbot图案 XG<J'3  
VBR@f<2L  
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PYr#vOH  
不同位置的Talbot图案 T3Kq1 Rh  
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