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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
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    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 N==ZtKj F  
    |{r$jZeE  
    }R[#?ty;]  
         dy__e^qi  
    建模任务 f/,>%j=Ms  
    $rF=_D6  
    xT&(n/  
         b-U eIjX  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) O,bkQY$v  
         Q5{Pv}Jx  
    系统建模块 ,#FLM`  
    B vo5-P6XY  
    ~\)qi=  
         0P^L}VVX  
    特定位置的Talbot图案 Wz4&7KYY  
    7|\@zQ h   
    `@d<n  
    vK7\JZ>  
    特定位置的Talbot图案 ;8WZx  
    XqRJr%JH  
    &AVpLf:?  
    不同位置的Talbot图案 X"gCR n%tn  
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    不同位置的Talbot图案 J:uW`R  
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