切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 971阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6613
    光币
    27214
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    l>?k>NEpP  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 zf?U q  
    )kt,E}609  
    l3;MjNB^V  
         }NF7"tOL  
    建模任务 )jm u*D5N  
    "V:E BR  
    J/ZC<dkYQ  
         hG qZB  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) >o8N@`@VK-  
         #_4JTGJ  
    系统建模块 Nh+ZSV4WJ:  
    3PRK.vf  
    IWP[?U=  
         /+{1;}AT  
    特定位置的Talbot图案 9/4Bx!~A  
    "6xTh0D  
    ZE"Z_E;r  
    .h@HAnmE  
    特定位置的Talbot图案 ="AJ &BqHd  
    X.hV MX2B  
    TI^M9;b  
    不同位置的Talbot图案 Q0-}!5`E1$  
    V0a)9\x(\  
    4KT-U6zNx  
    7?EC kuSv  
    不同位置的Talbot图案 _do(   
    Wz-7oP%;I  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表