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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    wS >S\,LV  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 WD*z..`  
    rd=+[:7L  
    t\v~ A0  
         C0>L<*C  
    建模任务 Bo'v!bI7  
    ~0}d=d5g  
    e)87 & 7  
         &]A0=h2{P*  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 'TA !JB+  
         <7gv<N6BQf  
    系统建模块 5dbj{r)s6i  
    1F+JyZK}w  
    5{vuN)K3  
         ^oClf(  
    特定位置的Talbot图案 P{: 5i%qC  
    %&s4YD/{  
    /xB O;'rR  
    dOKe}?}==  
    特定位置的Talbot图案 qG]0z_dPE~  
    .*J /F$  
    6* 0vUy*"  
    不同位置的Talbot图案 8]bLp  
    : JSuC  
    !\^W*nQ>l  
    XPnHi@x  
    不同位置的Talbot图案 A!}Ps"Z  
    mrr -jo  
     
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