[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

af'gk&%  
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 7Bym?  
+1]A$|qyW  
9&
bJ]  
     8},:  
建模任务 =gB8(1g8  
vSy[lB|)24  
NX5$x/uz  
     2;K2|G7  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) L_tjclk0J  
     Q-7L,2TL  
系统建模块 8#w%qij  
Ciy%7_~\  
e{H(  
     Z]w?RL  
特定位置的Talbot图案 DYoGtks(  
-Jf}3$Ra  
K $WMrp  
*I[tIO\  
特定位置的Talbot图案 H:P7G_!\  
#q>\6} )  
M!D6i5k,
 
不同位置的Talbot图案 >=:^N-a  
K { FZ/  
~N2=44e  
1rS8+!9C  
不同位置的Talbot图案 3/PvH E{R  
1=,y+Xpw