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中科院微电子研究所在a-IGZO晶体管领域取得重要进展  器件结构示意图及TEM表征图 针对上述问题，微电子所重点实验室科研人员通过采用宏观电学测试和微观表征技术相结合的方法，研究了尺寸微缩时a-IGZO晶体管基本特性的变化规律，通过微缩栅介质等效氧化层厚度和半导体厚度来提高器件的栅控能力，进一步优化金属半导体接触，降低了器件的接触电阻，并使用栅控能力更强的双栅互联结构与操作模式，实现了性能优异的双栅a-IGZO短沟道晶体管。 此外，基于该成果的文章入选2022 VLSI，同时入选demon session 文章。 关键词： 晶体管
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最新评论
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天蓝色3230 2022-07-14 23:30加油，加油！
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tomryo 2022-07-15 07:09中科院微电子研究所在a-IGZO晶体管领域取得重要进展
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wssf001 2022-07-15 07:23这对芯片行业的发展又是一大促进
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有生之年 2022-07-15 08:25实验室科研人员通过采用宏观电学测试和微观表征技术相结合的方法，研究了尺寸微缩时a-IGZO晶体管基本特性的变化规律，通过微缩栅介质等效氧化层厚度和半导体厚度来提高器件的栅控能力，进一步优化金属半导体接触，降低了器件的接触电阻，并使用栅控能力更强的双栅互联结构与操作模式，实现了性能优异的双栅a-IGZO短沟道晶体管。
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牛开心 2022-07-15 08:26实现了性能优异的双栅a-IGZO短沟道晶体管
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u201713898 2022-07-15 08:43这对芯片行业的发展又是一大促进
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初书亦 2022-07-15 08:46不错，不错！
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光学白小白 2022-07-15 09:08a-IGZO晶体管领域取得重要进展
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钻研光设小学僧 2022-07-15 09:15厉害厉害
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木子示羊 2022-07-15 09:32中科院微电子研究所在a-IGZO晶体管领域取得重要进展