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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 bH1MDBb2 |3K]>Lio
F./$nwb <3WaFi u 建模任务 rIRkXO) g5>c-i &3~_9+ 概述 mgL{t"$c eZ`x[g%1 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #}8 x
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Nxr %xTD *{1]b_<
!IAd.<, *T:gx:Sg/ 光线追迹仿真 Hr}pO"% v_L?n7c •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 RuBL_Vi •单击go! rd
hM#? •获得了3D光线追迹结果。 y|h:{< >@+ r|
*If]f0?% /`H{n$ 光线追迹仿真 ki<4G Z0!yTM/C •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 a&)4Dv0 •单击go! ^QbaMX •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 9Lp[y%{GP sA1 XtO<&7
nX\Q{R2 M7.
fz"M 场追迹仿真 KsF kC= 2& ZoG%) •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 H;kk:s' •单击go! iD`>Bt7gD Ua\<oD79] Y V#|qb P d)<Iw^< 场追迹仿真(相机探测器) l~j{i/> ;{S7bH'6m •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 OaCp3No •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 QbG`F8dj n}!D)Gx
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Ge"mY O$$$1VHYo 场追迹仿真(电磁场探测器) 6"PwOEt •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HP
G*o +E8}5pDt }\wTV*n`X n1+,Pe*) 场追迹仿真(电磁场探测器) jSMs<ox 3E`poE •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [bZASeh = }6l.9
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