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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 JU17]gQ  
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    建模任务 %T]$kF++&  
    hEHd$tH06  
    x|m9?[ !_  
    概述 6FzB-],  
    :.5l  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kqCsEtm]  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !S=YM<Ad  
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    i2Wvu3,D3-  
    光线追迹仿真 @Fc:9a@  
    @dv8 F "v  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0Agse)  
    •单击go！ "r46Rfa  
    •获得了3D光线追迹结果。 %[|^7  
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     jMn,N9Mf  
    SAdT#0J  
    光线追迹仿真 zjA]Tr  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9nN1f@Y  
    •单击go！ lQ?jdi  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~)f^y!PMQ  
    bg Ux&3  
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    5hmfdj6  
    场追迹仿真 Nbr$G=U  
    <-k!  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Bh&pZcm|  
    •单击go！ ^:-GPr  
    3tZIL  
    iv>MIdIm  
     3`cA!ZVQ  
    场追迹仿真（相机探测器） l^&#9d  
    1<G+KC[F  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 o{y}c->  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 K ~mUO  
    jae9!W i  
     I Id4w~|  
    O?X[&t  
    场追迹仿真（电磁场探测器） MoFM'a9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gbuh04#~  
    ULAr!  
    bq ED5;d'#  
     O=3/ qs6m  
    场追迹仿真（电磁场探测器） pbAL&}  
     ]zlA<w8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \Sd8PGl*'  
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