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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `LU,uz  
    X$&Sw3c  
    }3_G|  
     BrcXn@tl  
    建模任务 ;k%sKVP  
    &8i{'k,l  
    \ g(#)f  
    概述 wP1VQUL  
    FH21mwV  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 RWQW/Gw x  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0a%ui2k  
    "K!BJQ  
     5nq-b@?L  
    gpvj'Ri7V  
    光线追迹仿真 HbSx}bM_9  
    7[1 R}G V  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3&Rqz9W  
    •单击go！ SfFR  
    •获得了3D光线追迹结果。 ]b| @<E7Y  
    3i}B\ {  
     c qyh#uWe  
    ^ED>{UiNI  
    光线追迹仿真 >t }D5ah  
    6b01xu(A[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E+Mdl*  
    •单击go！ #}yFHM?i  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \)uad5`N  
    &D w~Jq|  
     bd*(]S9d  
    [te7 uZv-  
    场追迹仿真 :uDB3jN[  
     /?xn  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 aKtTx~$@  
    •单击go！ cS7!,XC  
    HZ=yfJs nc  
    |?=1tS{iT  
     Cjk AQ(9  
    场追迹仿真（相机探测器） 'oL[rO~j  
    ahv=HWX k  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Tic9r i  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 L1 VTq9[3  
    .WE0T|qDX  
     N<(`+ ?  
    Hv*O9!cC  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >G~;2K[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 W)hby`k  
    bC-x`a@  
    C8q-gP[  
     rNC3h"i\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4O^1gw  
     6 74X)hB  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7~f6j:{|z  
    ,jcp"-5#j  
     $?{zV$r1  
    W%cPX0  
     
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