-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-08-15
- 在线时间1834小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 WLA_YMlA m'vOFP)'
E].a|4sh Ij,?G* 建模任务 5w-G]b +[go7A$5 <\#
概述 :/?R9JVI .LVOaxT •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y)-)NLLG;n •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 '3kL=( x[h<3V"
xsypIbN M<me\s) 光线追迹仿真 1=cfk# fCo2".Tk •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7G #e~,M5 •单击go! 97@?QI} •获得了3D光线追迹结果。 {b8 Y- rD)v%vvr&`
lKD< bTYP{x~ y 光线追迹仿真 X2mm'JDwK X0J]6|du. •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 jjlCi<9CQ^ •单击go! ?&bVe__ •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 x>/@Z6Wxz zAdVJ58H
*/m~m? / o3FK 场追迹仿真 t~=@r9`S
Z`Eb
L •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }u$aPS<$! •单击go! in|7ucSlg t
1'or 9MlfZsby (E]K)d 场追迹仿真(相机探测器) ?;kc%Rz [Z&s0f1Qb •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;eSf4_~ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 D&lXi~Z%. rMFf8D(Y
9w<_XXQ GHrT?zEX 场追迹仿真(电磁场探测器) uS10P7N} •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \:^n-D*fX 5/VB'N#7s &wC.?w$ _ r)hr7 场追迹仿真(电磁场探测器) aD`e]K ^L "4-Nnm •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "k@/Z7= B=xZkc
hLA=7 -5*;J&.
|