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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 WLA_YMlA  
    m'vOFP)'  
    E].a|4sh  
    Ij,?G*  
    建模任务 5w-G]b  
    +[go7A$5  
    <\#  
    概述 :/?R9JVI  
    . LVOaxT  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y)-)NLLG;n  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 '3kL=(  
    x[h<3V"  
    xsypIbN  
    M<me\s)  
    光线追迹仿真 1=cfk#  
    fCo2".Tk  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7G #e~,M5  
    •单击go! 97@?QI}  
    •获得了3D光线追迹结果。 {b8Y-  
    rD)v%vvr&`  
    lKD<  
    bTYP{x~ y  
    光线追迹仿真 X2mm'J DwK  
    X0J]6|du.  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 jjlCi<9CQ^  
    •单击go! ?&bVe__  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 x>/@Z6Wxz  
    zAdVJ58H  
    */m~m?  
     /o3FK  
    场追迹仿真 t~=@r9`S  
    Z` Eb L  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }u$a PS<$!  
    •单击go! in|7ucSlg  
    t 1'or  
    9MlfZsby  
    (E]K)d  
    场追迹仿真(相机探测器) ?;kc%Rz  
    [Z&s0f1Qb  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;eSf4_~  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 D&lXi~Z%.  
    rMFf8D(Y  
    9w<_XXQ  
    GHrT?zEX  
    场追迹仿真(电磁场探测器) uS10P7N}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \:^n-D*fX  
    5 /VB'N#7s  
    &wC.?w$  
    _ r)hr7  
    场追迹仿真(电磁场探测器) aD`e]K ^L  
    "4- Nnm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "k@/Z7=  
    B=xZkc  
    hLA=7  
    -5*;J&.  
     
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