切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 6.18京东红包优惠券快来领！ CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 737阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    5931
    光币
    23808
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 h=.|!u  
    --d<s  
    +wXrQV  
     F^ 7qLvh  
    建模任务 :.'<ndM  
    .X\p;~H 5  
    X|q&0W=  
    概述 k*(c8/<.d  
    ^ llZf$`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 AqB5B5}  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 t 9&xk?%{  
    uM h[Ht^.  
     =@AWw:!:,  
    svCD&~|K#  
    光线追迹仿真 % obR2%  
    "+/%s#&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <vJPKQ`=:  
    •单击go！ dF:@BEo  
    •获得了3D光线追迹结果。 {a\O7$A\F  
    Ehi)n)HhG"  
     XAwo ~E  
    bXF>{%(}E  
    光线追迹仿真 -G e5gQ=  
    X ,n4_=f  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $h`(toTyF  
    •单击go！ px %xoY  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {e\Pd!D?|  
    gKeqf-UWKJ  
     8] skAh  
    , (dg]7  
    场追迹仿真 [zl@7X1{_  
    #no~g( !o  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1 rKKph  
    •单击go！ eQu%TZ(x-$  
    >J[Bf9)>  
    Se<]g$eK?5  
     n8UQIa4&=  
    场追迹仿真（相机探测器） n|2`y?  
    m^0r9y,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s0uI;WMg  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 wI><kdz  
    2+zE|I.  
     <_$]!Z6UR  
    QEKSbxL\W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） tvXoF;Yq  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PLU8:H@X  
    z%$ E6Im  
    *p:`F:  
     IhnHNY]<g  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]x1MB|a6  
     5I/wP qR[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _OV\W'RrA  
    q9fCoz  
     2w\$}'  
    q9cmtZrm  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表