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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,`;jvY~Ec  
    -u6}T!  
    `'u Umyg  
     I^WIa"u_  
    建模任务 C1V# ?03eI  
    A^pu  
    s0r"N7~  
    概述 Q4X7Iu:  
    (Up'$J}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 WNhbXyp_  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B]1HS`*7  
    cFLd)mt/  
     z/S,+!|z  
    qtHfz"p  
    光线追迹仿真 Qu`n&  
    i`+B4I8[  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Kh)F yV  
    •单击go！ kBbl+1{H  
    •获得了3D光线追迹结果。 u yFn}y62  
    :lK4 db  
     gv9=quG  
    +3Y!xD?=  
    光线追迹仿真 7IW> >RBF  
    8a9RML}G<  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >!}`%pk(  
    •单击go！ . |uLt J  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 M-Y0xWs  
    noC?k }M  
     uUG*0Lj  
    ?U_9{}r  
    场追迹仿真 H] k'?;  
    3sFeP &  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 YsP/p-  
    •单击go！ B wC+ov=  
    M$A#I51  
    xQu eE{  
     `tE^jqrke5  
    场追迹仿真（相机探测器） RH(V^09[o  
    kq-6HDR  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @u) 'yS  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 "+|L_iuNQ  
    \k@Z7+&7  
     Ue$zH"w  
    M=y0PCD  
    场追迹仿真（电磁场探测器） kIvvEh<L=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M3pjXc<O  
    B9X8  
    9<s4yZF@x  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） },c,30V'  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^0tw%6:  
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