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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 uAu'2M,_ 'LYN{
{t|Q9& g%okYH? 建模任务 $B`ETI9g-N +2>, -V a fLE9 概述 L@.Trso baGV]=j •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a]!u
go} •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 f.0HIc <Ok7-:OxA
Q5]rc`}
5 q"Sja!-;| 光线追迹仿真 ;
W$.>*O Z%JAX>v&B •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0E9 lv"3o •单击go! >0?ph<h1[q •获得了3D光线追迹结果。 ZB]234`0 Bf;<3k)5.
J;ycAF ~ %4})_h?j 光线追迹仿真 MzF,is =.l>Uw! •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 bnN&E?{hF1 •单击go! B<ZCuVWH: •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 lo-VfKvy mR$0Ij/v
zXk^ugFy WBR# Ux 场追迹仿真 WR_B:%W. _&[ -< cu •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }!"Cvu •单击go! Oj8D+sC{ (:R5"|]@<x 8!
/ue.T ^4xl4nbx 场追迹仿真(相机探测器) +0%Y.O/{ Jl|^^? •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ";^_[n •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 j+e
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op3a*KG uX6p^KNm5 场追迹仿真(电磁场探测器) } ?MbU6" •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 AmJdZs|/ ?5F;4oR2g "whs?^/ :w)9(5 场追迹仿真(电磁场探测器) ED);2*qP}
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