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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *P\lzM  
    U~BR8]=G  
    uM 'n4oH  
     v @M6D}  
    建模任务 J1(SL~e],  
    J[l7p6xk  
    ]lKUpsQI  
    概述 F\&wFA'J  
    z4D)Xy"/  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `&x>2FJ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u `ww  
    i;~.kgtq4  
     O D5qPovsd  
    T0fm6 J  
    光线追迹仿真 p&\QkI=  
    Heqr1btK  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 n\ Lsm  
    •单击go！ :s+?"'DP  
    •获得了3D光线追迹结果。 Zt41fPQ  
    MA9E??p3\  
     < (9 BO&  
    jHT^I as  
    光线追迹仿真 j/oc+ M^  
    OSuQ7V  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。  IN6L2/Q  
    •单击go！ \5N \NN @J  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 d\Up6F  
    ,b^jAzow  
     Cs"ivET  
    J s33S)  
    场追迹仿真 oJ5n*[qUI  
    d$\n@}8eZp  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 x/]G"?Uix  
    •单击go！ &N7q 9t  
    G?~Yw'R^8  
    RI'}C`%v  
     .0/"~5  
    场追迹仿真（相机探测器） Iw] ylp  
    D)4#AI  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /w6'tut  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 zvnd@y{[  
    ^Q0=Ggh  
     |jH Yf42Q  
    8:I-?z;S  
    场追迹仿真（电磁场探测器） t#f-3zd9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yN[i6oe  
    U7zd7 O  
    /3Y"F"`M.  
     kG4])qxC'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） " 5Pqvi  
     @~=d4Wj6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :Eg4^,QX  
    ooa"Th<  
     X6!KFc  
    P"Q6wdm  
     
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