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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 MC.,n$O}6  
    ,2F4S5F~rC  
    4(aDi;x"w  
     T-Od|T@[  
    建模任务 zl>l.zJ  
    |aiP7C  
    1a#oJU  
    概述 q&IO9/[dk  
    7w7mE  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2 }QD>  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2#4_ /5(j*  
    55vpnRM  
     /o =V (  
    Ep% 5wR  
    光线追迹仿真 ETP}mo  
    (>qX>  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I*e8 5wef  
    •单击go！ @l9qH1  
    •获得了3D光线追迹结果。 k^q}F%UV  
    Jji~MiMn  
     $or?7 w>  
    fH.:#O:  
    光线追迹仿真 C24[brf  
    ?^i$} .%W  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 TlEx w0i!  
    •单击go！ V:h-K`~ /  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?iH`-SY  
    j(|G) F  
     eTI<WFRc_  
    ; Xy\7tx  
    场追迹仿真 n{F$,a  
    :sRV]!Iw  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 EAQg4N:D7L  
    •单击go！ cq'opjLf5  
    ![WX -"lW  
    s8| =1{  
     \1 4"Bgj1  
    场追迹仿真（相机探测器） 1xM'5C?~7  
    I__|+%oC  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &x{CC@g/  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :+ef|,:`/  
    .s 31D%N  
     %iWup:  
    &6A'}9Ch  
    场追迹仿真（电磁场探测器） D'aq^T'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .5I!h !  
    [B9'/:  
    r]eeKV,{p  
     -ea>}S  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ko2Kz k  
     E 3b`GRay  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ec| Gom?  
    u-Pa:wm0-  
     >{i/LC^S  
    b:.aZ7+4  
     
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