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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 9f UD68Nob  
    N.\?"n   
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     hw2'.}B"(  
    建模任务 @zu IR0Gr)  
    U;SReWqU  
    P X9GiJN"  
    概述 \!O3]k,r  
    :/rl \woA>  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 n $Nw/Vm  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }kJfTsFS  
    |3LD"!rEx  
     UCu0Xqf  
    SB1j$6]OR7  
    光线追迹仿真 W=E+/ZvPt  
    Q#kSp8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 PjwDth A1  
    •单击go！ *R'r=C`  
    •获得了3D光线追迹结果。 QoLp$1O (y  
    *lZ;kW(}p  
     .[8! E_  
    C ~e&J&zh  
    光线追迹仿真 e0s*  
    H1bHQB  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7Shau%2C  
    •单击go！ _\/KI /  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 K#"J8h;x  
    P}`|8b1W  
     /D d.C<F  
    5taR[ukM  
    场追迹仿真 ^_4e^D]P"  
    G_m$?0\  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (6}[y\a+  
    •单击go！ `p!&>,lrk  
    N>TmaUk  
    us5<18 M5  
     Ie<H4G5Vh  
    场追迹仿真（相机探测器） V),wDyi  
    GyC/39<P  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 TS_5R>R3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !1b}M/Wx  
    I`~Giz7@  
     cyMvjzzRN  
    |D% O`[k+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .B+Bl/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %K`th&331  
    }s7@0#j@a  
    @Ojbu@A  
     zb]e {$q2C  
    场追迹仿真（电磁场探测器） o&t*[#  
     -l Y,lC>{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *b}/fG)XZ  
    BS.5g<E2q  
     "u.'JE;j  
    +`J~c|(  
     
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