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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 jzA8f+:q  
    W>wi;Gf#  
    c2mt<DtWW  
     ^t ldm7{_  
    建模任务 LP-Q'vb<=  
    HWfX>Vf>}k  
    A}Dpw[Q2@8  
    概述 yW(+?7U  
    ~rX6owBq  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X|1YGZJ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 LqsJHG  
    ~d `4W<1a  
     Q!e0Vb  
    6Oba}`)q9  
    光线追迹仿真 h}&IlDG  
    >@Vr'kg+V  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 OLup`~  
    •单击go！ 8si^HEQ8  
    •获得了3D光线追迹结果。 vl~   
    ;L%~c4`l~m  
     F-,{+B66  
    Tn-]0hWkP  
    光线追迹仿真 be%*0lr  
    V"jnrNs3  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 B]F7t4Y!  
    •单击go！ l4reG:uYG  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 R./6Q1  
    h:sG23@=  
     kD7(}N8YR  
    iQ"F`C  
    场追迹仿真 `#8R+c=$  
    &*GX:0=/>  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 X )s7_  
    •单击go！ V>92/w.fe  
    s;WCz  
    2vQ^519  
     2B dr#qr  
    场追迹仿真（相机探测器） l*H"]6cXRL  
    \U>Kn_7m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 N4jLbnA  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 m9c T}x&j  
    mxA )r5sx  
     0w. _}C z  
    \%Q rN+WQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #zs\Z]3#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4PM`hc  
    {=7i}xY]T  
    A_|FsQ6$P  
     yvisoZX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） n`Iy7X  
     h18y?e7MU  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Kp8T;&<Iay  
    3~xOO*`o  
     17MjIX  
    "]Td^Nxi  
     
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