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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -9EbU7>!  
    S]m[$)U%@  
    =t2epIr 5  
     E*vi@aI  
    建模任务 ^D)C|T  
    /_8V+@im  
    T /uu='3  
    概述 3#unh`3b  
    b`mEnI VIz  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 S"l&=J2dc  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 l ki(_ @3  
    e{=$4F  
     KtE`L4tW6  
    *:(t.iL  
    光线追迹仿真 3L|k3 `I4  
    QPn c "!  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 v:'y&yS  
    •单击go！ rxA<\h,A  
    •获得了3D光线追迹结果。 Aj_}B.  
    !=pemLvH  
     j#,O,\  
    (TPD!=  
    光线追迹仿真 2bmppDk  
    l_WY];a  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7VraWW`H'  
    •单击go！ 5VfP@{  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 }V{, kK  
    =0S7tNut  
     -zt\we qA  
    `{%*DHa  
    场追迹仿真 &IPT$=u  
    EHOdst  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /e}k7U,^  
    •单击go！ 6tM{cK%v1  
    @gd-lcMYW  
    9Bn dbS i  
     7^1ikmYY  
    场追迹仿真（相机探测器） ts ] +W!:  
    QnqX/vnR  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ua4} dW[w  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *T3"U|0_y  
    lWR  
     Y:wds=lA  
    .s+e hZ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） fN9hBC@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <]<50  
    pP .   
    *+G K ?Ga  
     /cg!Ap5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） A /MOY@%G  
     ,xiRP$hGhh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 OA8pao~H  
    wG B'c's*  
     eWFlJ;=  
    W{%M+a[#l  
     
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