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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 JU17]gQ R=~%kt_n
qb[hKp5K6 @eJ8wf] 建模任务 %T]$kF++& hEHd$tH06 x|m9?[
!_ 概述 6FzB-], :.5l •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kqCsEtm] •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !S=YM<A d <<!fA><W
0g[ %)C i2Wvu3,D3- 光线追迹仿真 @Fc:9a@ @dv8 F
"v •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0Agse) •单击go! "r46Rfa •获得了3D光线追迹结果。 %[|^7 &IN%2c
j Mn,N9Mf SAdT#0J 光线追迹仿真 zjA]Tr @$jV"Y •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9nN1f@Y •单击go! lQ?jdi •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ~)f^y!PMQ bg Ux&3
zx%WV@O9 5hmfdj6 场追迹仿真 Nbr$G=U <-k! •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Bh&pZcm| •单击go! ^:-GPr 3tZIL iv >MIdIm 3`cA!ZVQ 场追迹仿真(相机探测器) l^	d 1<G+KC[F •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 o{y}c-> •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 K ~mUO jae9!Wi
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场追迹仿真(电磁场探测器) MoFM'a9 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gbuh04#~ ULAr! bqED5;d'# O=3/qs6m 场追迹仿真(电磁场探测器) pbAL& } ]zlA<w8 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \Sd8PGl*' nq{/fD(2
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