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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 bH1MDBb2  
    |3K]>Lio  
    F./$nwb  
     <3WaFi u  
    建模任务 rIRkXO)  
    g5>c-i  
    &3~_9+  
    概述 mgL{t"$c  
    eZ`x[g%1  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #}8 x  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Nxr%xTD  
    *{1]b_<  
     !IAd.<,  
    *T:gx:Sg/  
    光线追迹仿真 Hr}pO"%  
    v_L?n7c  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 RuBL_Vi  
    •单击go！ rd hM#?  
    •获得了3D光线追迹结果。 y|h:{<  
    >@+ r|  
     *If ]f0?%  
    /`H{ n$  
    光线追迹仿真 ki<4G  
    Z0!yTM/C  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 a&)4Dv0  
    •单击go！ ^QbaMX  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9Lp[y%{GP  
    sA1 XtO<&7  
     nX\Q{R2  
    M7. fz"M  
    场追迹仿真 Ks FkC=  
    2& ZoG%)  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 H;kk:s'  
    •单击go！ iD`>Bt7gD  
    Ua\<oD79]  
    Y V#|qb  
     P d)<Iw^<  
    场追迹仿真（相机探测器） l~j{i/>  
    ;{S7bH'6m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 OaCp3No  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 QbG`F8dj  
    n}!D)Gx  
     y - Ge"mY  
    O$$$1VHYo  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 6"PwOEt  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HP G*o  
    +E8}5pDt  
    }\wTV*n`X  
     n1+,Pe*)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jSMs<ox  
     3E`poE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [bZASeh  
    = }6l.9  
     +~cW0z  
    <'l;j"&lp  
     
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