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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 u Au'2M,_  
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    建模任务 $B`ETI9g-N  
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    概述 L@.Trso  
    baGV]=j  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a]!u go}  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 f.0HIc  
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     Q5]rc`} 5  
    q"Sja!-;|  
    光线追迹仿真 ; W$.>*O  
    Z%JAX>v&B  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0E9 lv"3o  
    •单击go！ >0?ph<h1[q  
    •获得了3D光线追迹结果。 ZB]234`0  
    Bf;<3k)5.  
     J;ycAF~  
    %4})_h?j  
    光线追迹仿真 M zF,is  
    =.l>Uw!  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 bnN&E?{hF1  
    •单击go！ B<ZCuVWH:  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 lo-VfKvy  
    mR$0Ij/v  
     zXk^u gFy  
    WBR# Ux  
    场追迹仿真 WR_B:%W.  
    _&[-< cu  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }!"Cvu  
    •单击go！ Oj8D+sC{  
    (:R5"|]@<x  
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     ^4xl4nbx  
    场追迹仿真（相机探测器） +0%Y.O/{  
    Jl|^^?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ";^_[n  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 j+e s  
    `JyI`@,!  
     op3a*KG  
    uX6p^KNm5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }?MbU6"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 AmJdZs|/  
    ?5F;4 oR2g  
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     :w)9 (5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ED);2*qP}  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *?A!`JpJn  
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