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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 93-UA.+g  
    S`Jo^!VJ4  
    3Ms ` ajJ  
     xm }9(EJ  
    建模任务 (3DjFT3 w  
    :@:i*2=  
    3iHUG^sLW  
    概述 iyF~:[8  
    R#ABda9  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ad "yo=%1  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )T1U!n?^x  
    QkXnXu  
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    光线追迹仿真 wo($7'.@  
    0j^QY6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^tS{a*Yn  
    •单击go！ I%]~]a  
    •获得了3D光线追迹结果。 Bb 5|+b P  
    *C81DQ  
     2lVJ"jg  
    ~c&ygL3  
    光线追迹仿真 B{UL(6\B  
    DQ '=$z  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 5OUGln5  
    •单击go！ 'Vwsbm tY  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 _MF:?p,l  
    A"(XrL-pV  
     b&AGVWhh  
    J#h2~Hz!  
    场追迹仿真 {E6M_qZ  
    f)`_su U  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 L*a:j  
    •单击go！ Tm!pAD  
    ]ow$VF{y  
    [D !-~]5  
     Gk<M@d^hQ  
    场追迹仿真（相机探测器） ;VhilWaF-  
    %49P<vo`?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %gK@ R3p  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }I3 ZNd   
    ^|u7+b'|t  
     d']CBoK  
    :{:R5d(_I  
    场追迹仿真（电磁场探测器） O*;$))<wX  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q1rBSlzN  
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    L#t^:%   
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    场追迹仿真（电磁场探测器） ( (.b&  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D<V[:~-o  
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     +<l6!r2Z  
    ]2:w?+T  
     
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