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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 9f UD68Nob N.\?"n
'gBns hw2'.}B"( 建模任务 @zu IR0Gr) U;SReWqU P
X9GiJN " 概述 \!O3]k,r :/rl \woA> •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 n $Nw/Vm •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }kJfTsFS |3LD"!rEx
UCu0Xqf SB1j$6]OR7 光线追迹仿真 W=E+/ZvPt Q#k Sp8 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 PjwDth
A1 •单击go! *R'r=C` •获得了3D光线追迹结果。 QoLp$1O(y *lZ;kW(}p
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E_ C~e&J&zh 光线追迹仿真 e0s* H1bHQB •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7Shau%2C •单击go! _\/KI
/ •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 K#"J8h;x P}`|8b1W
/Dd.C<F 5taR[ukM 场追迹仿真 ^_4e^D]P" G_m $?0\ •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (6}[y\a+ •单击go! `p!&>,lrk N>TmaUk us5<18M5 Ie<H4G5Vh 场追迹仿真(相机探测器) V),wDyi GyC/39<P •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 TS_5R>R3 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 !1b}M/Wx I`~Giz7@
cyMvjzzRN |D% O`[k+ 场追迹仿真(电磁场探测器) .B+Bl/ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %K`th&331 }s7@0#j@a @Ojbu@A zb]e{$q2C 场追迹仿真(电磁场探测器) o&t*[# -lY,lC>{ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *b}/fG)XZ BS.5g<E2q
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