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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Tnzco  
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    建模任务 a7ub.9>  
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    概述 0sq=5 BnO  
    67Af} >Q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 QCZ,K" y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 E geG,/-`  
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     w`H.ey  
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    光线追迹仿真 MAm1w'ol"  
    hNu>s  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 F'$9en2I:  
    •单击go！ z*??YUT\M  
    •获得了3D光线追迹结果。 WLg6-@kxXs  
    '6Pu[^x  
     :F!dTD$  
    YR^Ee8_H  
    光线追迹仿真 l8hvq(,{  
    rCnV5Yb0O  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >Hd~Ca>  
    •单击go！  [%gK^Zt  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >/ *?4  
    ~:P8g<w  
     =]5DYRhX]  
    oo$WD6eCR  
    场追迹仿真 N \CEocU  
    %x cM_|AyR  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 nN_94 ZqS<  
    •单击go！ }iiG$?|.  
    h%C Eb<  
    :F KYYH\  
     Skr\a\ J  
    场追迹仿真（相机探测器） e4>L@7  
    Pq[0vZ_}dN  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  *pS7/ Qe  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )<]w23i  
    -N-4l  
     ~u~[E  
    Y*5@|Q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R%]9y]HQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A .jp<>  
    WacU@L $A  
    LS2ek*FJO  
     _x,-d|9b d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *`S)@'@:(  
     , $D&WH  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r[UyI3(i^  
    (to/9OrG  
     Z CQt1;  
    0T{c:m~QXe  
     
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