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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 rc"yEI-``"  
    O3S_P]{*ny  
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    建模任务 ~%cbp&s*/q  
    krgsmDi7  
    vb# d%1b5  
    概述 =KkHck33  
    Jf 2  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {C [7V{4(%  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7P=j2;7 v  
    pl5!Ih6  
     Pt E>08  
    )!'SSVaRs  
    光线追迹仿真 OX!9T.j  
    e(sQgtM6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zUeS7\(l  
    •单击go！ N]gdS]pP2{  
    •获得了3D光线追迹结果。 2%QY~Ku~  
    +PjH2  
     K*>lq|i u  
    bEbnZ<kz*  
    光线追迹仿真 M%Ov6u<I8  
    c8A //  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~)ls.NXI  
    •单击go！ xI$B",?(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 .Gw;]s3  
    ,JX/` 7y  
     (h%!Kun  
    +c?1\{M   
    场追迹仿真 ~!\n  
    L9(fa+$+#  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Ji gc@@B.  
    •单击go！ 4Y[tx]<  
    'Tj9btM*cL  
    SnRk` 5t  
     VU9w2/cM  
    场追迹仿真（相机探测器） N^H~VG&D(  
    4fgA3%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BNL Q]  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 pbt/i+!  
    va[@XGaC3  
     "CX&2Xfe  
    :A.dlesv6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） u?r=;:N|y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;b-Y$<  
    0x*L"HD  
    D<78Tm x  
     2Ck'A0d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） e4ym6q<6!  
     %#7Yr(&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 eX;C.[&7;8  
    6SJ  
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