切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 663阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5734
    光币
    22822
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |cKo#nfzZ  
    Y*oT (  
    v 809/c*  
     p) #7K  
    建模任务 zg)-RCG  
    L{XNOf3  
    gr]:u4}  
    概述 ^B)iBf Z  
    +"8AmN4  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 rmVF88/;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 liu%K9-r  
    Qe8F(k~k  
     19V  
    q o,uOi  
    光线追迹仿真 4@|"1D3  
     ! n@*6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 k.UQT^.  
    •单击go！ 9WE_9$<V  
    •获得了3D光线追迹结果。 Hrz #So\#  
    /"$A?}V  
     BT[jD}?  
    *>b*I4dz  
    光线追迹仿真 II=(>G9v  
    ?;{ d  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 fcDiYJC*  
    •单击go！ qyA%_;ReMY  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0M[O(.x  
    iv3=J   
     yWsJa)e3*@  
    {& Pk$Q!  
    场追迹仿真 fU?P__zU4  
    cu)ssT  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iA=QK u!  
    •单击go！ ="yN4+0-p  
    2QU ZBrs s  
    K chp%  
     V_)G=#6Dy  
    场追迹仿真（相机探测器） ?\_\pa/+  
    d#Hl3]wT  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~3 ,>TV  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 OC(S"&D  
    ? zFeP6C  
     &nJH23h ^  
    Etv!:\\[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 6p;G~,bd~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xbZx&`(  
    LYYz =gvZl  
    ;"d>lyL  
     V5]}b[X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +0{$J\s  
     ~ 9 F rlj  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 k PuY[~i%  
    0[/GEY@  
     QL_vWG -  
    LIm{Y`XU  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表