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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 19w,'}CGk  
    (T#(A4:6S  
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     /Zeg\}/4[  
    建模任务 GE8D3V;*V  
    e5>5/l]jsg  
    vH?+JN"A  
    概述 g9weJ6@}M  
    )bCG]OM7<  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 JXRf4QmG  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0@e}hv;  
    am'p^Z @  
     Zj+}T  
    X6N]gD  
    光线追迹仿真 5IE+M  
    mLk6!&zN  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hzuMTKH9  
    •单击go！ 6(q`Oj  
    •获得了3D光线追迹结果。 Aiks>Cyi23  
    id#k!*$7  
     7ru9dg1?  
    K.iH  
    光线追迹仿真 Th;gps%b  
    kG;eOp16R  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9p\wTzA  
    •单击go！ g"dZB2`C  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 1l|A[ G  
    AR+\uD=\I-  
     <GT>s  
    dj y:  
    场追迹仿真 WP% {{zR$  
    ahi57r[  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [;IDTo!<>  
    •单击go！ |p8"9jN@}c  
    ;*g*DIR  
    =S[FJaIu7  
     i^s`6:rNu  
    场追迹仿真（相机探测器） (9YYv+GGd*  
    srChY&h?<  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 f?>-yMR|  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @^:7UI_  
    5;K-,"UQ  
     e1 {t0f  
    Ot2zhR )  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ><#2O  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CNpe8M=/3  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） _r<zSH%  
     h[-d1bKwS  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x8pbO[_|  
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     P+;CE|J`X  
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