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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \aUbBa%!  
    *G~c6B Z  
    28BiuxVW  
     9 au)K!hN  
    建模任务 |$b4 {  
    4'rk3nT8  
    x{ZVq 4  
    概述 Z gU;=.  
    0 q3<RX>M%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {@ , L  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 iy: ;g  
    kx UGd)S  
     d=4MqX r  
    -I8%  
    光线追迹仿真 kb7\qH!n  
    ) L{Tn 8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {h%.i Et%  
    •单击go！ zPkg3H  
    •获得了3D光线追迹结果。 QX]tD4OH  
    6 3u'-Z"4  
     q-8  GD7  
    5^d%+*l;q  
    光线追迹仿真 iGU N$  
    ^3yjE/Wi"  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .D>lv_kp  
    •单击go！ (wY% $kW4  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 rP\ 7C+  
    %mYIXsuH  
     7R2)Klt  
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    场追迹仿真 2\5@_U^)h  
    wRiP5U,  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }.gg!V'9w  
    •单击go！  7:p]~eM)  
    TwhK>HN  
    z vYDE]  
     $cy:G  
    场追迹仿真（相机探测器） */+s^{W7  
    e-K8K+7  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {oJa8~P  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :<v$vER,&  
    BxT~1SBFq  
     IGqmH=-  
    %8{_;-f  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !S-hv1bE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }mGD`5[`  
    jI V? p  
    pnG8c<  
     y;>I'e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） S BoF (0<  
     X}=f{/\S  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~R8yj(  
    A_fU7'B  
     [uY 2N h  
    #<e7 Y0  
     
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