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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 'j&+Pg)@  
    7j,u&%om  
    0Tp,b (; n  
     P80mK-Iyv_  
    建模任务 pXPLTGY<R+  
    &[#iM0;)W0  
    BU;o$"L  
    概述 tMbracm  
    e]5 n4"]D)  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qL;u59  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 sW#OA\i &  
    'cgB$:T}.,  
     I l2`c}9  
    rP%B#%;S"  
    光线追迹仿真 OK8|w]-A  
    JnodDH ?  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5yl[#>qt  
    •单击go！ vr2cDk{  
    •获得了3D光线追迹结果。 Lnk(l2~U  
    E!rgR5Bd  
     Z)qts=  
    a]]>(Txc  
    光线追迹仿真 ,RXfJh  
    F<9S,  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 09_5niaz[  
    •单击go！ 6C@W6DR3N  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 zt3y5'Nk  
    nm}wdel"  
     qvHRP@  
    '.$va<  
    场追迹仿真 +!6dsnr8  
    /$-Tg)o5i  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 J{w[vcf  
    •单击go！ \g;o9}@3~  
    P(|+1$#[  
    rf\A[)<:  
     r5wy]z^  
    场追迹仿真（相机探测器） 7SVq fWp  
    {vf4l4J(  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0D.qc8/V4.  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ]>_Ie?L)<  
    ]- +%]'  
     5vSJjhS  
    \2U FJ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0Z,a3)jcc  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~9Jlb-*I5  
    3U\| E  
    :=cZ,?PQp1  
     BXj]]S2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） V;-$k@$b.  
     *p  !F+"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 > 3SZD  
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