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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 L_ 8C=MS  
    h %MPppCEa  
    5x=tOR/h  
     s7a\L=#p(  
    建模任务 NBUM* Z  
    -PEpy3dMY  
    <Ni]\-*  
    概述 |M9x&(H;Hw  
    PS(LD4mD  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 k\HRG@ /G  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 W?XvVPB  
    A6TNtXk  
     ymr-kB  
    R6{%o:{  
    光线追迹仿真 /oe="/y6  
    X1tAV>k5'L  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l#]Z?zW.  
    •单击go！ Hr96sN.R   
    •获得了3D光线追迹结果。 l$zo3[  
    BR"*-$u0;  
     ~3/>;[!  
    x<9|t(  
    光线追迹仿真 urXM}^  
    W!GgtQw{F  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E$smr\  
    •单击go！ }tc,3> /  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 o*5|W9  
    Fv#ToT:QXe  
     )0qXZ gs  
    B-r9\fi,  
    场追迹仿真 `9b D%M  
    "F)7!e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 IE'OK  
    •单击go！ 1wGd5>GDA  
    w;>]L.n  
    1Voo($q.  
     4y%N(^  
    场追迹仿真（相机探测器） f8'&(-  
    BXyZn0k  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @f{)]I +f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 %DzS~5$G  
    2JtGS-t  
     "o=h /q5&  
    PJh\U1Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d3^LalAp  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8l;0)`PU  
    TtKBok  
    +,c;Dff  
     D[;6xJ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） YR~g&E#U^  
     8oN4!#:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qXP)R/~OZ  
    w;r -TLf  
     y(6&90cr  
    *A c~   
     
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