切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 666阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5734
    光币
    22822
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !W6]+  
    d6Z;\f7[  
    a~{mRh  
     e06r5%|.%  
    建模任务 U>{z*D  
    t[X'OK0W%3  
    O/FQ'o1F  
    概述 \ET7  
    {% ;tN`{M  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 R[9[lQ'vR  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 DQE.;0ld  
    ~UL; O\-b0  
     /|>z7#?m^  
    1|Fukx<@J<  
    光线追迹仿真 1c\$ziB  
    khyV uWN  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `?La  
    •单击go！ >`t |a  
    •获得了3D光线追迹结果。 UGAP$_j ]P  
    x=9drKIw>  
     -()CgtSR  
    eE7+fMP{  
    光线追迹仿真 oo /#]a  
    _RAPXU~ 6-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 )WD<Q x&  
    •单击go！ Xo'_|-N+  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5I@< 6S&X  
    -l^u1z  
     lh .p`^v  
    /5SBLp}Sy  
    场追迹仿真 &,bJ]J)8O  
    KecRjon~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -MeGJX:^I  
    •单击go！ 3>-^/  
    c!j$ -Ovm  
    V:yia^1  
     }+,;wj~  
    场追迹仿真（相机探测器） qA5tMZ^w  
    lNqYpyvy*  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (rvK@  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 YQ;?N66  
    s_u@8e 6_  
     LKTIwb>  
    cbNrto9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） V) C4 sG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YGNO]Q~A  
    K oo%mr   
    6> X7JMRY  
     e![n$/E3R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） RYy_Ppn96f  
     #T&''a  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ' FF@I^O  
    3N[t2Y1r  
     $O?&!8);,  
    iJT_*,P^  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表