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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 129\H< m  
    }T$BU>z33N  
    YtvDayR>  
     t>"`rcg  
    建模任务 Ua \f]y  
    _3%$E.Q  
    2!-Q!c`y  
    概述 cVx SO`jZw  
    mQ`atFz:Z  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ({rcH.:  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 j.]]VA  
    ZX&e,X~V  
     h.K"v5I*  
    -sA&1n"W&5  
    光线追迹仿真 3}\z&|  
    YT8q0BR]  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #$W5)6ch  
    •单击go！ O W.CU=XU  
    •获得了3D光线追迹结果。 ]8%E'd  
    n`Z}tQ%)o  
     X[.%[G|oj}  
    9 RDs`>v  
    光线追迹仿真 wzy[sB274  
    m^XO77"  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2o(O`;z  
    •单击go！ +/celp  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 /#T{0GBXe  
    424iFc[  
     ng+sK  
    R5e[cC8o.  
    场追迹仿真 xKE=$SV(  
    OD7A(28  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 &*/= `=:C8  
    •单击go！ \\ItN  
    ahg P"Qz  
    ZgEV-.>P  
     @ ,oc%m  
    场追迹仿真（相机探测器） wowf 1j-  
    `scW.Vem  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 k(RKAFjY  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 >[wxZ5))  
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     =_=%1rI~  
    Mhn1-ma:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） xkFa  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 O-7)"   
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     [ p,]/ ^ N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） H2|'JA#v  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >y8>OJ?A7-  
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