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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 bg,VK1  
    d|$-l:(J  
    tqOx8%  
      W o$UV  
    建模任务 ?Q}3X-xy  
    ;0E[ ; L!  
    6E:5w9_=c  
    概述 VD2o#.7*eu  
    <D(|}5qR  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 BKW%/y"  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fH;lh-   
    9B1bq#  
     M0uC0\' #P  
    ;+VHi%5Z  
    光线追迹仿真 R&1 xZFj  
    1?#Wg>7'  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 q&EwD(k  
    •单击go！ 'J#uD|9)  
    •获得了3D光线追迹结果。 -<gQ>`(0  
    VDPq3`$+v{  
     5~SBZYI  
    l)91v"vJ  
    光线追迹仿真 (I(k$g[>  
    ~=pyA#VVJ"  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 R~XNF/QMl  
    •单击go！ iMs(Ywak]  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 wHhIa3_v  
    /)xQ# yfX  
     Ya,(J0l  
    l`RFi)u~&  
    场追迹仿真 [wjH;f>SQ  
    \E2S/1p  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~Uaz;<"j0  
    •单击go！ F5f1j]c  
    #.~lt8F  
    O6r.q&U  
     J~rjI24  
    场追迹仿真（相机探测器） 4 {3< `  
    @NJJ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <<9Y=%C+  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 b 'yW+  
    v`u>; S_  
     ?anKSGfj  
    2HJGp+H  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Q##L|*Qy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m3iB`  
    qy~@cPT  
    ~qm u?5  
     H3" D$Nv  
    场追迹仿真（电磁场探测器） h}(GOY S)  
     TGQDt|+Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8\ WOss)al  
    I~I$/j]e`  
     ^,;8ra*h  
    $;%dQ!7*  
     
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