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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4QTHBT+2`  
    K/K-u  
    m(*rMO>_  
     -J8Hsqf@  
    建模任务 *3r s+0  
    O1S7t)ag  
    ~UZ3 lN\E  
    概述 x~vNUyEN)  
    cR_pC 9z  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Cs7ol-\)  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 gWzslgO6  
    J=t}9.H~=  
     9)NKI02M|  
    E6Z kO/  
    光线追迹仿真 G}9f/$'3  
    bd~m'cob>  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8B:y46  
    •单击go！ zQG{j\  
    •获得了3D光线追迹结果。 QA*<$v  
    BdF/(Pg  
     w.a9}GC  
    6#!CBY^{  
    光线追迹仿真  dC{dw^  
    ?-vWNv  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [&PF ;)i  
    •单击go！ Dzf\m>H[  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 }#7rg_O]>  
    66,(yxg  
     UaF~[toX  
    Z$JJ0X  
    场追迹仿真 9K/EteS  
    t`+A;%=K]  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?'z/S5&j  
    •单击go！ J\Pb/9M/  
    ws+'*7  
    lz~^*\ F  
     4,z|hY_*t  
    场追迹仿真（相机探测器） d#a/J.Z$A  
    )q-NE)  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 XPO-u]<W  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 q.`< q  
    ~TEn +  
     $R/@8qnP W  
    |HD>m'e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） P:4"~ ]}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5@m ,*n&[  
    LhbdvJAk@  
    ou<3}g  
     .Y;f 9R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3ai[ r  
     w\o6G7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jJ$B^Y"4  
    _d5:Y  
     <VKJ+  
    ~ p? ArZb  
     
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