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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 (?t}S.>g  
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    建模任务 >O24#!9XW  
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    概述 J=$\-  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /A-WI x  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 UWKgf? _  
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     PgK7CG7G  
    ?hkOL$v<9}  
    光线追迹仿真 @ G)yz!H  
    m?<E >-bI  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |SjRss:i+  
    •单击go！ -g2l-N{&  
    •获得了3D光线追迹结果。 I6f/+;E  
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     rT/r"vr  
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    光线追迹仿真 MHK|\Z&e7  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 _/I">/ivlM  
    •单击go！ 1Q>nS[  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ;cI*"-I:F  
    DHWz,M  
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    @9B*V~ <  
    场追迹仿真 A<X?1$  
    D:_W;b)  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [Vo5$w  
    •单击go！ "ntP928  
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    fu^W# "{  
     :dSda,!z  
    场追迹仿真（相机探测器） fgdR:@]-  
    EsMX #1>/m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 v4n< G-  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 kUf i  
    {rUg,y{v  
     @&ZQDi  
    pd|KIs%jl  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \l~^dn}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |vI`u[P  
    -&5YRfr!  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） !!y]pMjJa@  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JLoF!MK}  
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