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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?=msH=N<l  
    J1U/.`Oy  
    !PlEO 2at  
     x j)F55e?  
    建模任务 VT)oLj/A  
    @gEUm_#HTs  
    t>RY7C;PuS  
    概述 r|8d 4  
    C 82omL  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ub0.J#j@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 sE<V5`Z=  
    Q$W  
     $)i")=Hy  
    05#1w#i  
    光线追迹仿真 |^I0dR/w:  
    (8DC}kckE  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 k"%~"9  
    •单击go！ eKgBy8tNS0  
    •获得了3D光线追迹结果。 W(Fv l  
    +o{R _  
      DPxM'7  
    Xl{P8L  
    光线追迹仿真 UhWNl]Z  
    ZQsJL\x[UK  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~W'{p  
    •单击go！ e]"W!K cD9  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \)904W5R  
    .G. 0WR/2  
     >8^ $ [}w  
    [!uG1GJ>  
    场追迹仿真 I*{ nP)^9  
    65P0,b6"OT  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 HZB>{O  
    •单击go！ ~H_/zK6e  
    2WL|wwA  
    _/$Bpr{R  
     6<SAa#@ey  
    场追迹仿真（相机探测器） ~$cV: O7  
    [PM 2\#K  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }OR@~V{Gj  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 "Yv_B3p   
    IqHV)A  
     ^ogt+6c  
    Gr'  CtO  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :{v#'U/^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D,*3w'X!K  
    85$m[+md  
    {X+3;&@  
     iRbT/cc{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -UEZ#Q  
     )p0^zv{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !u[9a;Sa#  
    }O5i/#.lR  
     +F` S>U  
    #aJ(m&  
     
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