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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >~Xe` }'  
    Ov<c1y;f  
    .d r Y  
     _"Z?O)d*  
    建模任务 +7o1&D*v  
    (9oo8&GG  
    p"c6d'qe  
    概述 s9a`2Wm  
    H la?\  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Zs{7km  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >{q+MWK  
    1Ml<>  
     U65l o[  
    &6C]| 13;  
    光线追迹仿真 vPGUE`!D+  
    >zDQt7+g;  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (oR~%2K  
    •单击go！ OdZ/\_Z  
    •获得了3D光线追迹结果。 c+E\e]{  
    YPGzI]\  
     Q,JH/X  
    E0Q6Ryn  
    光线追迹仿真 8b.k*,r>  
    }nX0h6+1  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #h^nvRmON  
    •单击go！ R.*;] R>M  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 |'1.a jxw  
    <Vk}U   
     Za1mI^ L1  
    B* mZxY1  
    场追迹仿真 |" WL   
    ?8{Os;!je  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 hHTt-x#  
    •单击go！ | n)4APX\Q  
    !L{mE&  
    |9%~z0  
     f.uuXK  
    场追迹仿真（相机探测器） ?wPTe^Qtv  
    p<H_]|7$7U  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ']eN4H&=?}  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }=)u_q  
    \fEG5/s}T  
     H390<`  
    (kB  
    场追迹仿真（电磁场探测器） l"E{ ?4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iB(?}SaAZ  
    &hkD"GGe  
    5hy7} *dR  
     &! h~UZ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [KYq01cj  
     :AFW=e@<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8 <;.[l  
    H @k }  
     FS&QF@dtgf  
    D((/fT)eD  
     
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