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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 w)>/fG|;  
    $o ;48uV^  
    GCxmqoQ  
     q9Lq+4\  
    建模任务 1<0Z@D~F  
    ^jk-GRD*  
     Q 6r  
    概述 ?]_A~_J!  
    y@ c[S;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @Fb 2c0?Y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7aHP;X~0  
    J(,{ -d-E  
     ?{OU%usQwE  
    V'l9fj*E  
    光线追迹仿真 YizwKcuZ  
    pO N@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ~yY5pnJ  
    •单击go！ %^iBTfq2hc  
    •获得了3D光线追迹结果。 [3v&j_  
    -Y>QKS  
     WG&WPV/p  
    b C"rQJg  
    光线追迹仿真 K/!>[d  
    Z:VT%-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 6'.CW4L  
    •单击go！ $N4i)>&T2  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 fTi5Ej*/?)  
    o4YF,c+>q  
     6PLdzZ{  
    cu4|!s`#  
    场追迹仿真 Lv-M.  
    fs, >X!l+  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 PWS5s^WM  
    •单击go！ J>+~//C  
    '.XR,\g>  
    yY80E[v  
     ~@D{&7@  
    场追迹仿真（相机探测器） HQc^ybX5  
    ]q|U0(q9  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3o_@3-Y%  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Rab7Y,AA  
    "]yfx@)_  
     |bk$VT4\  
    p$$0**p!`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -g4 {:!*D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^:ehG9  
    O?Qi  
    !PEP`wEKdp  
     X7)B)r}AG  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @[O|n)7  
     G=m18Bv{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9Hs5uBe  
    LC0g"{M  
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