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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *mWS+xcU(L  
    7OZ0;fK  
    o)\EfPT  
     "`K73M,c?9  
    建模任务 B%Oi1bO  
    5'Mw{`  
    aS3-A 4  
    概述 <O9WCl  
    W[!bF'- 10  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^CwS'/fdN  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 };(2 na  
    5;{*mJ:F  
     yj,+7[)  
    5k_%%><: q  
    光线追迹仿真 PClwGO8'&  
    A}!D&s&UH  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 '@^<c#h]=  
    •单击go！ NnZ_x>R  
    •获得了3D光线追迹结果。 Iq;a!Lya-  
    d#,   
     TAM`i3{D  
    78z/D|{"  
    光线追迹仿真 z<"\I60Fe  
    x@@k_'~t%  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 YWhS<}^  
    •单击go！ 9OF(UFgS  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $<wU>X  
    Q!Dr3x  
     [Az^i>iH  
    5PHAd4=bJ  
    场追迹仿真 !]f:dWSLB  
    {-c[w&q  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !ImtnU}  
    •单击go！ eR1]<Z$W\  
    (P:.@P~  
    n]JfdI  
     ( (mNB]sy  
    场追迹仿真（相机探测器） Vzrp9&loY  
    oX]c$<w5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }WkR-5N  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 bF3}L=z  
    DOo34l6#  
     gJn_8\,C>Q  
    i*vf(0G  
    场追迹仿真（电磁场探测器） v/Ei0}e6~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 DCtrTX  
    QXT *O  
    b~;+E#[*  
     R75np^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Q_R&+@ju  
     [.iz<Yh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2:S 4M.j  
    n47v5.Wn  
     ?Da!QH >,]  
    sz b],)|18  
     
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