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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4x<H=CJC  
    "iGQ1#6|d  
    T`MM<+^G  
     5JEOLPS  
    建模任务 2 6DX4  
    JS/ChoU  
    4x}U+1B  
    概述 d#XgO5eyO  
    Uf|uFGb  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }& W=  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >tPf.xI|l  
    vQp'bRR  
     :?j=MV  
    YXZP-=fB>i  
    光线追迹仿真 +$#<gp"  
    B'Jf&v  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 sVBr6 !v=  
    •单击go！ ll1N`ke  
    •获得了3D光线追迹结果。 `d^Q!QxE  
    \<(EV,m2  
     C7G,M  
    `"}).{N]C  
    光线追迹仿真 ^ >&#F[aT  
    hJ]Oa7r  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =4'V}p  
    •单击go！ S[2?,C<2=  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 f^*Yqa  
    *r[V[9+y-D  
     71%$&6  
    =+K?@;?  
    场追迹仿真 ,`RX~ H=C  
    cD6^7QF  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 j{r@>g;3  
    •单击go！ #;~HoOK*#  
    ^"D^D`$@  
    Hi=</ Wy;  
     7M4J{}9  
    场追迹仿真（相机探测器） e ><0crb  
    Su7N?X!  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 6pSTw\/6  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Z'j[N4%BK  
    S<NK!89  
     #) :.1Z?  
    g)^s+Y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） P`{$7ST'Hh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ex zB{ "  
    ~  z3J4s  
    q`/J2r+O  
     KUYwc@si\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） CEI"p2  
     %Z<{CV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h2T\%V_j  
    aVHIU3  
     tB"9%4](  
    s5{=lP  
     
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