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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 !W6]+ d6Z;\f7[
a~{mRh e06r5%|.% 建模任务 U>{z*D t[X'OK0W%3 O/FQ'o1F 概述 \ET7 {%
;tN`{M •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 R[9[lQ'vR •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 DQE.;0ld ~UL;O\-b0
/|>z7#?m^ 1|Fukx<@J< 光线追迹仿真 1c\$ziB khyVuWN
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `?La •单击go! >`t
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