-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-04-02
- 在线时间1761小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <Vk^fV
%K_[Bx{B
 ^MesP:[2
%<q l 建模任务 ; w,g|=RQ Cu0N/hBT  $!<J_ d* 概述 ozbu|9 +v +`==US34 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8qfg=mu+ % •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fRe $}KX 8#w}wGV*
 shwKB 5 HKk;oG 光线追迹仿真 HPGi 5rU n; 0bVVMV •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hgCeU+ H •单击go！ MmBM\Dnv •获得了3D光线追迹结果。 `n] y" rj' SR#X\AWM
 >`a )gky%~ [{ak&{R,9{ 光线追迹仿真 I#D{6%~ fMn7E8. •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 B1o y,' •单击go！
qh/q< •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 t, ;1?W# Q9N=yz
 uuzDu]Gwu kE tYuf^ 场追迹仿真 g_}r)CgG| CE>RAerY •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~l%D cp •单击go！ !Re/W
ykY 3VbQDPG  -Rhxib|<
\. A~>=: 场追迹仿真（相机探测器） _gK@), de M=$y_9# •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @4 m_\]Wy •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 B&_ 62` BYN<|=
 v6
DN:!& h3D8eR. 场追迹仿真（电磁场探测器） #F.;N<a •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [6Uc?Bi 1sZwW P  2>#Pt^R:C
4^VY 场追迹仿真（电磁场探测器） |n 3PznV
,b=&iDc •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 BclZsU=xn .
zv F!!z
 %O;"Z`I YMwM aU)K,
|
