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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 A3|2;4t  
    9<.8mW^68  
    9M-W 1prb  
     4kR;K !@k  
    建模任务 Bf;<3k)5.  
    J;ycAF~  
    -@Z9h)G|  
    概述 3zv0Nwb,  
    yji>vJHu  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h-fm)1S_  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {vk%&{D0)  
    S<z8  
     |@VhR(^O$  
    pZ]&M@Ijp  
    光线追迹仿真 E85TCS 1  
    SeuDJxqopD  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5"bg 8hL  
    •单击go！ :;\xyy}A  
    •获得了3D光线追迹结果。 8( Q  
    y5XFJj  
     4{G>T  
    0^)~p{Zh  
    光线追迹仿真 OW#G{#.6R  
    _-2;!L#/  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 AC!yc(^<  
    •单击go！ \eAV: qV  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 h@J3+u<  
    n8JM 0 U-  
     9*XT|B  
    IFW7MF9V  
    场追迹仿真 k%iwt]i%  
    ?xuWha@:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 h-x~:$Z,  
    •单击go！ , eSpt#M  
    5Q:%f  
    UzW]kY[A<  
     TP/bX&bjCy  
    场追迹仿真（相机探测器） `aA)n;{/2u  
    0QyL}y2  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 w-C%,1F,/  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 F I~=A/:  
    Ucz=\dO1  
     T7o7t5*  
    "sWsK %  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Bn.5ivF3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7 0EH~  
    >CwI(vXn  
    "p+JME(  
     o_5[}d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） = J]M#6N0  
     Z$%!H7w  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /%)(Uz  
    1H-~+lf  
     Ggy?5N7P  
    7r2p+LP[  
     
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