切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 985阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6655
    光币
    27424
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4|41^B5Y  
    bKMR7&e.Ep  
    C 3XZD4.2  
     {$1$]p~3 o  
    建模任务 H?(SSL  
    A1t~&?  
    >g"M.gW  
    概述 4zfRD`;  
    ZWhmO=b!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #!u51P1  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 P:, x?T?J^  
    hk!,  
     }Wche/g`  
    ,ibPSN5Ca  
    光线追迹仿真 R~5* #r@f  
    P9TBQW2G{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 XZdr`$zf  
    •单击go！ ;!JX-Jq  
    •获得了3D光线追迹结果。 5H :~6z  
    LUDJPIk  
     8u'O` j  
    'bI~61{A  
    光线追迹仿真 X})Imk7&E  
    wAl}:|+n  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =i^<a7M~  
    •单击go！ *zVLy^L_8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^*x Hy`  
    D@\;@( |  
     sId(PT^  
    71.\`'  
    场追迹仿真 ^L-w(r62<  
    z1'FmwT  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :EmQ_?(^  
    •单击go！ d=Df.H+3  
    T<f\*1~^  
    }\u%)uZ  
     K%(XgXb(</  
    场追迹仿真（相机探测器） 6snOMa GRu  
    qQxA@kdd  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Y%0d\{@a  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `kNi*I^  
    a\{1UD  
     x* =sRf  
    46K&$6eN  
    场追迹仿真（电磁场探测器） M. )}e7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jkF+g$B  
     &(1H!  
    ! FR%QGn1  
     2T@L{ql  
    场追迹仿真（电磁场探测器） sCF40AoY&  
     S~k*r{?H})  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ```d:f  
    iO*`(s  
     ',JrY)  
    2<'`^AO@  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表