切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 845阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6374
    光币
    26015
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 fYCAwS{  
    9CL&tpqv f  
    zSq+#O1#  
     %|,j'V$  
    建模任务 \< z{ @  
    `,7BU??+u  
    J\ 3~  
    概述 vO&1F@  
    TAGqRYgi  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?SQT;C3j(  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7qh_URt@  
    da 2BQ;  
     bo@1c0  
    'rCwPsI&4  
    光线追迹仿真 Crey}A/N  
    )T2Sw z/  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ZsV'-gu  
    •单击go！ 8`*`4m  
    •获得了3D光线追迹结果。 u|w[ b9^r  
    E7jv  
      kU#$  
    &i!.6M2  
    光线追迹仿真 AalyEn&>  
    I/'jRM  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 KD#ip3  
    •单击go！ _e?(Gs0BM  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ,Ma$:6`f  
    h7%<  
     @h$7C<  
    ZB%7Sr0  
    场追迹仿真 p_mP'  
    cZHlW|$R  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7W 4[1  
    •单击go！ KWd]?e)  
    ,NVQ C=  
    EW YpYMkm  
     Pw+cpM 8<  
    场追迹仿真（相机探测器） t4 aa5@r  
    , {]>U'-  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ="XxS|Mq3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ==Y^~ab;K  
    rVZk G,Q  
     G `TO[p]q  
    [Si`pPvl  
    场追迹仿真（电磁场探测器） GV%ibqOpQj  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hL&z"_`  
    7MBz&wE^f  
    1tfm\/V}ho  
     i5:fn@&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =G*<WcR  
     WJ/&Ag1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZfIQ Fh>  
    X4 xnr^  
     $ABW|r  
    ?HU(0Vgn'  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表