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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 EjP9/V G@=  
    3U%kf<m=  
    I9*BT T]  
     dK>sHUu  
    建模任务 -|4 Oq  
    KRb'kW  
    2&XNT-Qm  
    概述 -mLS\TFS  
    f-Zi!AGh>  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2 :wgt  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 U;t1 K  
    !TO+[g!  
     /cZTj!M  
    j%=X ps  
    光线追迹仿真 moL3GV%]Gq  
    zJo?,c  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 r*9*xZ>8u  
    •单击go！ <."KejXg-  
    •获得了3D光线追迹结果。 vH/RP  
    $N\k*=  
     }VeE4-p B  
    fGoJP[ae  
    光线追迹仿真 ox5WboL  
    ~bsdy2&/q  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 p4D.nB8  
    •单击go！ ojc.ykP$  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 U7HfDDh  
    D~n-;T  
     Ko0?c.l  
    2}15FXgN  
    场追迹仿真 Z"$iB-]  
    h s_x @6  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $$i Gs6az  
    •单击go！ .q1y)l-^Z  
    N5zx#g  
    MV]`[^xQ5  
     U9jdb9 |  
    场追迹仿真（相机探测器） &hih p"  
    _=}.Sg5Q  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \>x1#Vr>#V  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 KW$.Yy  
    8:[ l1d86  
      \>||  
    y?U@F/^}N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ae" o|Q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 29cx(  
    L7R!,  
    _0UE*l$t  
     -ijzo%&qA  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &2S-scP  
     H3 -?cy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &hrMpD6z6i  
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     HJBGxy w  
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