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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 bz}T}nj  
    ENqJ9%sk7  
    N18Zsdrp  
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    建模任务 t$Qav>D  
    kP [ Y  
    &,e@pvc3  
    概述 Nb B`6@r  
    R \`,Q'3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0D.YO<PU  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :UScbPG  
    9KAXc(-  
     Q >sq:R+'  
    u9VJ{F  
    光线追迹仿真 )ZiJl5l@  
     p&ZD1qa  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2Db[dk( ]  
    •单击go！ #>>-:?X  
    •获得了3D光线追迹结果。 a nIdCOh  
    I.(/j  
     _-^ KqNyy  
    4; &(  
    光线追迹仿真 D$ `yxc  
    a&y%|Gs^f  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 RJd55+h  
    •单击go！ hg\$>W~ 2  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 fmloh1{4  
    N %0F[sY6  
     tWc!!Hf2j  
    w/Q'T&>b/  
    场追迹仿真 5?2PUE,a  
    %X#Wc:b  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {){i ONd  
    •单击go！ eOLS  
    }0f[x ?V  
    &|gn%<^  
     .Olq_wuH  
    场追迹仿真（相机探测器） \9D '7/$I,  
    gv<9XYByt  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0! !pNK%(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 iyj&O"  
    .s, hl(w,  
     w3yI;P  
    <4(rY9   
    场追迹仿真（电磁场探测器） bh_i*DJ]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 oYqlN6n,=6  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） =DF7l<&km  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P_i2yhpK  
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