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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 LM}Ib.  
    [* @5\NWR}  
    T(e!_VY|m  
     _h X]%  
    建模任务 {jYOs l  
    /G5d|P  
    Sg6"WV{<  
    概述 HvM)e.!  
    r.#t63Rb  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 P5 K' p5}#  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 TYJ:!  
    3E>frR\!I  
     KcK>%%  
    /[Z,MG  
    光线追迹仿真 3=Cc.a/3  
    c3:,Ab|  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 EGZb7:Y?  
    •单击go！ Xb{ [c+.  
    •获得了3D光线追迹结果。  /o[?D  
    6`v7c!7  
     CAcS~ "  
    $:  ]o]a  
    光线追迹仿真 4eikLRD,  
    -PS#Z0>  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g>dA$h%  
    •单击go！ ow_djv:,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \>C YC|  
    f}1&HI8r  
     qEpi]=|  
    Z00+!Tnd  
    场追迹仿真 ]`&Yqg  
    R}lsnX<  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 KuMF^0V%c  
    •单击go！ )('%R|$ /  
    VUhbD  
    wi4=OU1L)a  
     ?r?jl;A&  
    场追迹仿真（相机探测器） tQ H+)*  
    ^4,a8`  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 J2j U4mR  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Q5FM8Q  
    Q8 DQlqHm  
     G(~;]xNW+  
    "g' jPwFG  
    场追迹仿真（电磁场探测器） G.( mp<-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~ug= {b  
    Hd,p!_  
    nS&3?lx9_  
     tkXEHsRT  
    场追迹仿真（电磁场探测器） W2z*91$  
     ]R=,5kK3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 RTv qls  
    (iR ide  
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    ]|sAK%/  
     
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