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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 \aUbBa%! *G~c6BZ
28BiuxVW 9au)K!hN 建模任务 |$b 4{ 4'rk3nT8 x{ZVq 4 概述 Z gU;=. 0 q3<RX>M% •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {@,
L •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 iy: ;g kxUGd)S
d=4MqX r
-I8% 光线追迹仿真 kb7\qH!n ) L{Tn8 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {h%.i Et% •单击go! zPkg3H •获得了3D光线追迹结果。 QX]tD4OH 63u'-Z"4
q-8 GD7 5^d%+*l;q 光线追迹仿真 iGU N$ ^3yjE/Wi" •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .D>lv_kp •单击go! (wY%$kW4 •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 rP\7C+ %mYIXsuH
7R2)Klt \A~
'& 场追迹仿真 2\5@_U^)h wRiP 5U, •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }.gg!V'9w •单击go!
7:p]~eM) TwhK>HN z
vYDE] $c y:G 场追迹仿真(相机探测器) */+s^{W7 e-K 8K+7 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {oJa8~P •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 :<v$vER,& BxT~1SBFq
IGqmH=- %8{_;-f 场追迹仿真(电磁场探测器) !S-hv1bE •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }mGD`5[` jI V? p pnG8c< y;>I'e 场追迹仿真(电磁场探测器) SBoF(0< X}=f{/\S •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~R8yj( A_fU7'B
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