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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \`}Rdr!p%  
    %W~Kx_  
    Gu}|CFL\  
     0+jR,5 |  
    建模任务 3%{A"^S=}  
    6+u}'mSj8  
    N3 .!E|  
    概述 .Qm"iOyM  
    +kP)T(6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s%z\szd*  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }u:@:}8K  
    _p<W  
     ,V'+16xW  
    hNgbHzW  
    光线追迹仿真 secD ` ]  
    !G =!^RA  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ukHSHsR  
    •单击go！ 4*'5EBa1  
    •获得了3D光线追迹结果。 eQ`TW'[9_6  
    xpCzx=n3.m  
     =cI -<0QSn  
    0$NcxbM  
    光线追迹仿真 @[h)M3DFd  
    }tA77Cm)45  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1;?n]L`T  
    •单击go！ *z I@Htp  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 1)yEx1  
    :tU&d(8  
     aNLRUdc.  
    ^0vK >  
    场追迹仿真 AdBB#zd  
    8oiO:lyLSt  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *"Yz"PK  
    •单击go！ {:BAh 5e|  
    XgL-t~_  
    3Kuu9< 0  
     V'?bZcRr~  
    场追迹仿真（相机探测器） Ks'msSMC  
    GcN[bH(@  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ,l/~epx4v)  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 8 g0By;h;  
    WO$9Svh8  
     j_H"m R  
    [&12`!;j  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]."~)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y3@\uM`2#  
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    _`3'D`s  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） mU0j K@^&M  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q"BM*:W  
    !qGER.  
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