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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ve*NM|jg  
     H;s  
    n$ $^(-g@)  
     S<rdPS*P  
    建模任务 DZ92;m  
    RbzSQr>a\  
    Zk4Hs%n  
    概述 %@#+Xpa+  
    rZ2X$FO@  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )uC],CbW{  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 V>ML-s9  
    WSi`)@.X O  
     SNV~;@(h  
    ( NWT/yBx  
    光线追迹仿真 ^e:C{]S=  
    v".q578 0B  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 y=g9 wO  
    •单击go！ i]J*lM7'  
    •获得了3D光线追迹结果。 >J[Bf9)>  
    Se<]g$eK?5  
     h6<abT@I  
    {*,~,iq  
    光线追迹仿真 6zh<PETa03  
    |x@)%QeC  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 mbB,j~;^6H  
    •单击go！ x;)bp7  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4)0 %^\p  
    mR@|]T  
     \95qH ,w)T  
    6r! Y ~\@  
    场追迹仿真 ph{p[QI:{X  
    9pUvw_9MY  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 '{dduHo  
    •单击go！ (XA=d 4  
    yTzP{I  
    e8g"QDc  
     uMVM-(g%  
    场追迹仿真（相机探测器） xFxl9oM."  
    28FC@&'H  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 mAMi-9  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 FdEzt  
    KwK[)Cvv  
     t\~lGG-p  
    b ?9c\-}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Ot}fGiio  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &7z79#1NS  
    JwCv(1$GM  
    {6{y"8  
     z@;]Hy  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d]1%/$v^  
     u>c\J|K_V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XndGe=O  
    :*bv(~FW  
     GslUN% UJr  
    j_N><_Jc  
     
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