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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *^([ ~[  
    %,hV[[@.  
    qF 9NQ;  
     <>m }}^  
    建模任务 K |DWu8  
    g;ZxvR)ZJk  
    *D'$"@w3  
    概述 C/(M"j M  
    c)@>zto#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 S1/`th  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fX jG5Tv  
    V/LQ<Yke  
     4A9{=~nwT  
    ~EK'&Y"1  
    光线追迹仿真 WD'#5]#Y  
    Isx#9C  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3s"0SLS4  
    •单击go！ "zIFxDR#  
    •获得了3D光线追迹结果。 -{`@=U  
    w`l{LHrR  
     JWA@+u*k  
    BL 3gKx.'  
    光线追迹仿真 W+*5"h  
    M)sZSH.<O  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 D1nq2GwS  
    •单击go！ U35AX9/  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0@2mXO9f"  
    8p-=&cuo\@  
     au,t%8AC  
    6rS$yjTX!  
    场追迹仿真 g@\fZTO  
    sl2@umR7%(  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 aTf`BG{kw  
    •单击go！ 4nAa`(62  
    .'a&3 3J  
    XT;u<aJs  
      r[?1  
    场追迹仿真（相机探测器） b=3H  
    C{2xHd/*  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0j C3fT!n  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 <, 3ROo76  
    "(qw-kil  
     m~uOXb  
    XNgDf3T  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (MHAJ]Rx  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `gKf#f  
    }-~T<egF  
    h=_mNG>R)  
     :a:l j  
    场追迹仿真（电磁场探测器） r\;ut4wy  
     @AYRiOodi  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :$+-3_oLMQ  
    hR5_+cuIp  
     mw5?[@G-  
    ^*\XgX  
     
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