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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ^G|* =~_  
    0vX4v)-^u  
    v%:VV*MxF  
     A:y HClmn  
    建模任务 i/j53towe  
    -M/j&<;LW  
    vAp<Muj(a  
    概述 'X<4";$mU  
    WP2=1"X63  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 p8Z?R^$9H  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 <O5WY37"q  
    e:%|.$4OG  
     jc!m; U t  
    E\|nP~;~F9  
    光线追迹仿真 I4W@t4bZ  
    t0+i ]lr  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 eU\xOTl~<{  
    •单击go！ c {/J.  
    •获得了3D光线追迹结果。 h PL]B_<  
    aaP_^m O  
     {`QA.he.  
    )/?H]o$NU  
    光线追迹仿真 +D@5zq:5  
    [Ur\^wS  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ,jOJ\WXP  
    •单击go！ 'IG@JL'  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 P#O2MiG  
    H4s~=iB  
     !$A/.;0$  
    M?!@L:b[  
    场追迹仿真 U.KQjBi  
    MjU|XQS:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 fqhL"Ah   
    •单击go！ l%T4:p4e  
    lDTHK2f  
    yVII<ImqIH  
     7i*eKC`ZqK  
    场追迹仿真（相机探测器） tLBtE!J$[  
    _Z23lF 9  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 6$6QAW0+f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4);_f  
    W7^[W.  
     K#YQB3rX  
    `PC9t)%.pV  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #L~i|(=U5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l-Z( ]  
    7~ PL8  
    =5q<_as  
     N ~{N Nf Y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） b, Oh8O;>  
     qx t0Jr8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Iko]c_W0  
    ]K"&Vd  
     nN\H'{Wzd  
    83n%pS4x  
     
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