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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /Fe:h >6  
    bR`rT4.F  
    LZM,QQ  
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    建模任务 @8=vFP'  
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    概述 Mny'9hsl  
    F&QTL-pQW  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )RwBg8  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2'wr={>W  
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     K8 b+   
    {J~(#i k   
    光线追迹仿真 g4:VR:o  
    e=t<H"&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2wx!Lpr<i_  
    •单击go！ xfq]9<  
    •获得了3D光线追迹结果。 FXx.$W  
    W.A1m4l58R  
     E@w[&#  
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    光线追迹仿真 OlMBMUR:  
    ! FNf>z+  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 x*.Ye 5Jb  
    •单击go！ *Ph]F$ZP  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 J&M1t#UN  
    fO].e"}  
     \bhOPK>w  
    c[SU5 66y  
    场追迹仿真 I4)Nb WQ  
    +}Xr1fr{jw  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e:N7BZl'c9  
    •单击go！ [2Iau1<@  
    * R%.a^R  
    I[#U`9Dt  
     4s9c#nVlu  
    场追迹仿真（相机探测器） /b.$jnqL  
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    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _N98vf0o  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [#p&D~Du&  
    n`]l^qE  
     U.: sK*  
    Bwjg#1E  
    场追迹仿真（电磁场探测器） osl=[pm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0pD W _  
    O -G1})$  
    X E 9)c   
     |U#DUqw  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R1}IeeZO?&  
     !g8*r"[UJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =f>HiF  
    @7-=zt+f  
     Zvxp%dES  
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