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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Q Na*Y@i  
    N:^4On VR  
    ,({% t  
     $H,9GIivD  
    建模任务 dZJU>o'BG  
    i[U=-4 J  
    huin?,eGz  
    概述  9mv6  
    kx0w?A8-  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :OaGdL   
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 tN)Vpb\J  
    z_&T>ME  
     G~lnX^46"  
    %eu_Pr6X  
    光线追迹仿真 (yeN> x}_  
    2Q/V D,yU  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 RoD9  
    •单击go！ su=]gE@  
    •获得了3D光线追迹结果。 v@!r$jZ  
    3A b_Z  
     SkXx: @  
    #4sSt-s&  
    光线追迹仿真 SMm$4h R  
    G>^ _&(c@2  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $)O\i^T  
    •单击go！ DV bY   
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 wlX K2D  
    H: ;S1D  
     u bi6=  
    hcD.-(-;)  
    场追迹仿真 ukX KUYNm8  
    4kLTKm:G  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Q mz3GH@wg  
    •单击go！ 1w?DSHe  
    E+aE5wmr  
    FwSV \N+#'  
     62xAS#\K>  
    场追迹仿真（相机探测器） B\7 80p<  
    BG@[m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 =hKu85  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 O$& 4{h`  
    {$-\)K  
     ZP7wS  
    9O#?r82  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ez*O'U  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 af2yng  
    P0szY"}  
    o7 X5{  
     WG*S:_?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Os|F  
     kv/mqKVr  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yNmzRH u  
    rexy*Xv`2p  
     c"@,|wCUi  
    q0]Z` <w  
     
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