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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 iPdS>e e  
    iU RSYR  
    gBr /Y}I  
     U+R9bn   
    建模任务 U(gYx@   
    =QK ucLo  
    RN&6z"|jR  
    概述 zZ,"HY=jN  
    A4g,)  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %l?*w~x  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 PeIKx$$Kl{  
    l9e=dV:pH  
     eA*We  
    fr'DV/T  
    光线追迹仿真 b;FaTm@  
    :k-@w5(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +p[O|[z  
    •单击go！ W[R`],x`  
    •获得了3D光线追迹结果。 wrc1N?[bn  
    Fi/`3A@68  
     &@FufpPw/  
    P%ThW9^vnj  
    光线追迹仿真 -24ccN;  
    Ii# +JY0k  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9oIfSr,y  
    •单击go！ =d+`xN*  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 p2U6B  
    [nG[ x|;|  
     [)?9|yY"`  
    !L( )3=  
    场追迹仿真 v,Zoy|Lu  
    l[i1,4  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 S=W^iA6>  
    •单击go！ FY-eoq0O3  
    5{WvV%  
    f'bwtjO  
     >6Jz=N,  
    场追迹仿真（相机探测器） AQ0zsy  
    "&{.g1i9  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &bGf{P*Da  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 dd6%3L{cn  
    W7;RQ  
     c[T@lz(!  
    @^J>. g  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >3*a&_cI=k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .s?^y+e_  
    R T~oJ~t;  
    A2p%Y},  
     kkW}:dBl  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 9-vQn/O^D  
     oIQ$98M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6y "]2UgQk  
    >^IUS8v  
     B~M6l7^?  
    z_=V6MDM  
     
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