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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #mKF)W  
    "`Q &s  
    Yo%ph%e  
     EDAtC  
    建模任务 8ShIn@|32  
    FQTAkkA_!  
    UahsX  
    概述 6mV-+CnYC  
    (vP<}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *T6*Nxs0k  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !,lk>j.V  
    HTz5LAe~b7  
     hk+8s\%-  
    H#Hhi<2  
    光线追迹仿真 wxJu=#!M  
    [[$dPa9  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 uwl_TDc>%  
    •单击go！ %lq[,6?>5  
    •获得了3D光线追迹结果。 7+9o<j@@o  
    &R5zt]4d&  
     O NVhB  
    xO[V>Ud  
    光线追迹仿真 {x{~%)-  
    ]A%]W^G  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +Jm~Um!  
    •单击go！ t)|~8xpP  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 D*&#}c,*  
    n g%~mt  
     v}LI-~M>U  
    `L LS|S]  
    场追迹仿真 `^ZhxFX  
    {8I,uQO  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Ptm=c6H('  
    •单击go！ :6MV@{;PJ  
    v-Tkp Yn  
    U ,NGV0  
     a[Nm< qV05  
    场追迹仿真（相机探测器） A(_HM qA]  
    Jxf>!\:AZu  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 v%rmfIU  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 9>ajhFyOhX  
    |k$6"dXSO  
     Q.?(h! )9  
    J#W*,%8O  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !RP0W  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >?O?U=:<  
    G2<$to~{  
    qj9[mBkP"  
     jW]"Um-]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） V0NLwl O  
     tD*k   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m%0_fNSJ  
    0K'{w]Q  
     k%3)J"|/  
    6f2?)jOW^N  
     
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