切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 689阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5786
    光币
    23082
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 dx ;k`r$w  
    Q,80Hor#J  
    a')|1DnR  
      C:G8c[  
    建模任务 `U2DkY&n  
    )#LpCM,a  
    |{,KRO0P  
    概述 5+fLeC;  
    f-r] |k  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }2ZsHM^]%  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &N;-J2M  
    / Wf^hA  
     &.Zb,r$Y  
    eAqz3#_My  
    光线追迹仿真 zq%D/H6J,  
    j^`hzh3S  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +S=Rn,  
    •单击go！ _!|/ ;Nk  
    •获得了3D光线追迹结果。  aH#l9kCb  
    oTT7M`P3h  
     p6vKoI#T  
    3"{.37Q  
    光线追迹仿真 ~,2/JDVJ5-  
    x|{IwA9  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 R<V!%rL;;  
    •单击go！ 5^j45'%I  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 r#6_]ep}<'  
    Iuh/I +[7  
     Y F*OU"2U  
    %8~3M75$  
    场追迹仿真 owPm/F  
    'ky b\q  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 pD&& l!i&[  
    •单击go！ )$,"u4  
    %E_b'[8  
    5 QO34t2  
     \Vl`YYjZ  
    场追迹仿真（相机探测器） 1LJUr"6]  
    1 1cWy+8D  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;.bm6(;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,()0' h}n  
    ?h1H.s2X  
     7-BvFEM;  
    ]@Sj`J[fd  
    场追迹仿真（电磁场探测器） f#Xyoa%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 G-T0f  
    'fL"txW  
    TFcT3]R[rL  
     4npqJ1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,$eK-w  
     U#1bp}y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 c_" ~n|  
    X*L;.@xA  
     P#:?ok  
    ^#0U  ?9  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表