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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 v}iJ :'
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8_KXli}7= 建模任务 :CH'Bt4< S:DB%V3  dAga(<K 概述 N["(ZSS =lVfrna •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h7o{l7`) •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lMP|$C @ cv`}k
 CMTy(Z8_) EQ7cK63 光线追迹仿真 TzPVO>s `UeF3~)>E •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M`"2; •单击go！ Q,jlKgB 5: •获得了3D光线追迹结果。 h#;yA"j1& ,kLe K{
 )L_jR%2j 6Q\n<&,{ 光线追迹仿真 uE/qr aA 1 t g •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \QHM7C T •单击go！ 6g$+ ))g •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4;%=ohD:! po{f*}gas]
 <Qwi 0$ p%j@2U 场追迹仿真 `G H6$\: ULsz<Hj •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ]jM D'vg^b •单击go！ F[ 9IHT6{ NH|v`r O  >R. ~'A/$F
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| 场追迹仿真（相机探测器） rJZ-/]Xf!6 Hjlx,:'M •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 u*H2kn[DU •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 o q;}q zYH6+!VBH#
 h j9 b Mj pQW^lqwZ:6 场追迹仿真（电磁场探测器） +>/ Q+nh •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 vW~_+:),e 8f#YUK
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6 0QE lJ9D 场追迹仿真（电磁场探测器） m AXT O 7
VRMlr.T + •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Xa%Z0% { J2yq|n?2gq
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