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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $.vm n,:.  
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    o*)Sg6Yk  
     o#p%IGG`  
    建模任务 'yPKQ/y$x  
    bVzi^R"  
    AtJ{d^  
    概述 d~~kJKK  
    KFbB}oId  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =|-= 4.b+|  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 At\(/Z y  
    k^Qf |  
     ] :;x,$k  
    RKP, w %  
    光线追迹仿真 kY$EK]s  
    5csh8i'V  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 14 & KE3`  
    •单击go！ f7a4E+}  
    •获得了3D光线追迹结果。 Mq$K[]F  
    jn5xYKv  
     yIL=jzm`7  
    Fs~(>w@  
    光线追迹仿真 ;+wB!/k,  
    _H]^7`;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 -~{Z*1`,  
    •单击go！ WrGA7&!+  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 `sKyvPtG  
    M,fL(b;2  
     Oin9lg-jR  
    =3X>Ur  
    场追迹仿真 :$"{-n  
    >IIq_6Z#  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 JjS+'A$A5  
    •单击go！ mU-2s%X<.^  
    1*8;)#%&  
    4SI~y;c)  
      ?CAU+/  
    场追迹仿真（相机探测器） hty'L61\z  
    w!"L\QT  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `0NU c)`  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (S!UnBb&  
    Q~]oN  
     Xd+H()nR  
    }i!+d,|f  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {\(G^B*\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SxY z)aF~  
    %NQ%6 B  
    6X@z(EEL  
     `a& L  
    场追迹仿真（电磁场探测器） nNCR5&,q  
      Gk~aTO  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hTDGgSG^  
    dq '2y  
     } [#8>T  
    ,7s>#b'  
     
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