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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 75pn1*"gQ  
    ;}lsD1S:  
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     ^-L nO%h?  
    建模任务 wV\7  
    !LQzf(s;  
    JXjH}C  
    概述 4k9$' k  
    K5RgWP  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <*I*#WI&B  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }vU^g PH  
    ykRd+H-t  
     u+y3( 0  
    L=<$^m  
    光线追迹仿真 3&I3ViAH  
    F~0iJnF  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 _%3p&1ld  
    •单击go！ c'XSs  
    •获得了3D光线追迹结果。 '0^lMQMg  
    EL%Pv1  
     S}VN(g  
    pHowioFx  
    光线追迹仿真 iMv):1p>8  
    7xM4=\~OG  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1Q=L/k eP  
    •单击go！ \?wKs  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 XI:+EeM?  
    H2xDC_Fs  
     *Kpw@4G   
    )6BySk  
    场追迹仿真 sOVpDtZ]LR  
    qo}yEl1  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~$ Po3]{s  
    •单击go！ o^/ fr&,9  
    U# IPYyV  
    y<*\D_J  
     mq}UUk@  
    场追迹仿真（相机探测器） 0eKLp8;Lh  
    U\W$^r,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 zJh!Q**  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Q,:h`%V  
    wz@[rMf  
     oB@)!'  
    MR: H3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |z8_]o+|r1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;dtA-EfOZ  
    ]<ay_w;  
    .76Z  
     Unansk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C8i4z  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3 g:P>(  
    5z_Kkf?o  
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