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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ;&?pd"^<_Z  
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    建模任务 ]}2Ztr)zZ  
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    概述 oY6|h3T=Q$  
    I~ ]mX;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 y=qo-v59'  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6'*Uo:]  
    N[bf.5T  
     HXV73rDA  
    f]A6Mx6  
    光线追迹仿真 XM@i|AK M0  
    Jx>B %vZ\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 GV@E<dg$R  
    •单击go！ m#K%dR  
    •获得了3D光线追迹结果。 l5OV!<7~X  
    dQ|Ht[ s=  
     C<@1H>S4_  
    Z#t)Z "  
    光线追迹仿真 ~)8i5p;P/k  
    jv=f@:[`I  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 59Q Q_#>  
    •单击go！ YB1DL ^ :  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 N3c)ce7[  
    p{svXP K  
     rJQ|Oi&1i  
    ]9< 9F ?  
    场追迹仿真 2&K|~~  
    L{,7(C=  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 WJ8vHPSM  
    •单击go！ '*;eFnmvs:  
    5{/Pn%5  
    PZg]zz=V4  
     c%/&@vs7  
    场追迹仿真（相机探测器） 78J .~v/  
    p}|wO&4h  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4x?u5L 9o  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 UkbQ'P+oS  
    H1qw1[%0y  
     C{,] 1X6g  
    JU \J  
    场追迹仿真（电磁场探测器） UuC"-$:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (ai-n,y  
    ]sP9!hup  
    EjE`S_i=  
     7:q-NzE\6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *"sDaN0@R  
     A?k,}~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9,>Y  
    "(&`muIc  
     -?`l<y(  
    U9sub6w6  
     
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