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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 '>`bp25>  
    t[an,3  
    WfO6Fvx%  
     pOS.`rSK  
    建模任务 #;^.&2Lt  
    Q*KEODR8\  
    oPWvZI(\&  
    概述 yiI&>J))  
    tb@/E  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *5|\if\  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *AxKV5[H  
    4H1s"mP<  
     XM8C{I1  
    y4shW|>5_  
    光线追迹仿真 pV>/ "K  
    }A2@1TTPX  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 O[`n{Vl/  
    •单击go！ X8*q[@$  
    •获得了3D光线追迹结果。 ^(&:=r.PC  
    g<{~f  
      -JUv'fk  
    cQ+V 4cW Z  
    光线追迹仿真 [_H9l)  
    M{z+=c&w  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ZC0F:=/K  
    •单击go！ }-8K*A3  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 q+LjWZ+O  
    Em _miU  
     ;%U`lE0  
    P^1rNB  
    场追迹仿真 ]`:Fj|>  
    m'429E]\S  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 lYy0   
    •单击go！ Iem* 'r  
    ?f&*mp  
    )EcF[aO  
     fT'A{&h|U  
    场追迹仿真（相机探测器） y0=BL  
    L!e@T'  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (cA=~Bw[=  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !)&-\!M>  
    u`   
     `D GO~RMp9  
    ^{Mx?]z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） TYLf..i<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \>jK\j  
    uHwuw_eK`  
    1lx\Pz@ol  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） E>7%/TIl  
     9`vse>,-hg  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q>z0?%B  
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