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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 HP_h!pvx  
    W`vPf  
    Q njK<}M9  
     1aS:bFi`  
    建模任务 de2G"'F  
    2;>uP#1]  
    cq?,v?m  
    概述 Z7pX%nj_  
    C}<e3BXc  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 dl8f]y#Q  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?'a>?al%>  
    ]!^wB 3j  
     qS! Lt3+  
    Uaux0W  
    光线追迹仿真 ktynIN  
    iR9duP+  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4Ol1T(J#  
    •单击go！ k3t]lG p  
    •获得了3D光线追迹结果。 J`0dF<<{[y  
    =J)-#|eZG  
     +{=U!}3|  
    >f Hu  
    光线追迹仿真 z7XI`MZN^  
    [^}bc-9?i  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +ug2p;<B  
    •单击go！ cy!P!t,@  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9]ZfSn)  
    W0mvwYON[  
     X6Z/xb@  
    VByA6^JR  
    场追迹仿真 &F#eYEuy  
    $-pijBiz_  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vv2[t  
    •单击go！ $v2t6wS,"  
    MtPdpm6\  
    X=f%!  
     _~yd  
    场追迹仿真（相机探测器） "AXgT[ O  
    QA^FP8!j  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 K@2"n| S;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 cy? #LS  
    O>vCi&  
     N.Q}.(N0  
    A9]& w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） WQN`y>1#@_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?R sPAL  
    XPdqE`w=$p  
    y"7*u 3>"  
     6A =k;do  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8EJP~bt  
     9 5j`^M)Q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LcA7f'GVK  
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     B0Z>di:  
    x<rS2d-Y  
     
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