切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 750阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5987
    光币
    24088
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]:Pkh./  
    CIQ9dx7>  
    Wv30;7~  
     )jMk ~;'r  
    建模任务 33NzQb  
    5yf`3vV|3@  
    5Z[HlN|-!  
    概述 Hqb-)8 ~  
    aL/7xa  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _ !k\~4U  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >| hqt8lY  
    [k=LX+w@  
     >t4<2|!(M  
    +Rq]_ sDu  
    光线追迹仿真 1Ch0O__2L  
    }LX.gm  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !lI1jb"  
    •单击go！ KXcE@q9  
    •获得了3D光线追迹结果。 z*WQ=l2  
    Zrq\:KxX  
     G4"[ynlWV  
    JgB"N/Oz  
    光线追迹仿真 <^adt *m  
    B &)wJG  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4x" je  
    •单击go！ u7 {R; QKw  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 `W%R  
    - x]gp5  
     qn~:B7f  
    !<j)D_  
    场追迹仿真 kIYV%O   
    g(F? qP_K  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 GYN Lyd)  
    •单击go！ I xE }v%&  
    doV+u(J~  
    {Qj7?}xW  
     y,=TB#  
    场追迹仿真（相机探测器） t+Hx&_pMj  
    VNWa3`w  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g'1ASMuR  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ]eIV'lP,j/  
    t'L#8MJ  
     z+%74O"c  
    U Zc%XZ`"V  
    场追迹仿真（电磁场探测器） gPg2Ve0Qy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $|r p5D6  
    Gu@Znh-D  
    #[ch?K  
     UqZ#mKi  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !0 -[}vvU  
     yaKw/vV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iZDZ/hohv  
    3eP7vy  
     sn?YD'>k  
    2@#`x"0  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表