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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0;S,tJg  
    6sIL.S~c)  
    +_XmlX A3Z  
     M/x>51<  
    建模任务 JN^ &S  
    :m86 hBE.  
    }:0uo5 B7  
    概述 *Av"JAX  
    [."[pY  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8WE{5#oi  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zR!o{8  
    ?JL7=o X  
     Kp+CH7I*  
    DAo~8H  
    光线追迹仿真 UobyK3.%  
    ThPE 0V  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 + OV')oE  
    •单击go！ OD' ]:  
    •获得了3D光线追迹结果。 ]Jh+'RK\#  
    %m:m}ziLQ  
     *:i1Lv@  
    rkiT1YTY  
    光线追迹仿真 n wI!O  
    ~|wbP6</:-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?"?6,;F(4  
    •单击go！ s@MYc@k  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 XqM3<~$  
    )%!XSsY.N|  
     -hC,e/+  
    xBu1Ak8w  
    场追迹仿真 uEc<}pV  
    d #jK=:eK  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7ugZE93!  
    •单击go！ :eo  
    ;n|^1S<[  
    ]%Zz \Q  
     -W,}rcj*|  
    场追迹仿真（相机探测器） j~j\\Y  
    *T0q|P~o%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Kscd}f)yx?  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @ 49nJi  
    <F11m(  
     ,lCgQ0}<  
    @ P|LLG'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !mXxAo  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |yo\R{&6  
    Zo>]rKeV  
    #07gd#j4  
     !|c|o*t{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [pVamE  
     Wu)>U  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z,iHy3`  
    )}9rwZ  
     02BuX]_0g  
    Vb BPB5 $q  
     
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