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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 W2&o'(P\  
    Kejp7 okb  
    ~l+2Z4nV  
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    建模任务 -U.>K,M  
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    概述 FC@h6 \+a  
    3K!(/,`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 O`K2mt\%  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 N:x--,2  
    J2adG+=  
     _wH>h$E  
    %PM&`c98z7  
    光线追迹仿真 . |%n"{  
    R-LMV  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }IEwGoDwNs  
    •单击go！ SO4?3wg7  
    •获得了3D光线追迹结果。 !mHMFwvS  
    cD6S;PSg  
     G%iT L"6  
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    光线追迹仿真 M#n lKj<  
    o=J-Ju  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~I6N6T Z  
    •单击go！ 5.1z9[z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 v;soJlxF~  
    jaw&[f 7  
     ~=va<%{ U  
    }`cf3'rdk  
    场追迹仿真 ja^_Lh9  
    5EU~T.4C<  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 v{d$DZUs  
    •单击go！ ;/:Sx/#s  
    A]Bf&+V  
    C RBj>  
     TyDh\f!w  
    场追迹仿真（相机探测器） m< H{@ZgN(  
    TZ *>MySiF  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vd?Bk_d9k,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?4A/?Z]ub  
    w 5 yOSz  
     %UAF~2]g  
    *Nm$b+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） i.k7qclL`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 b7XB l  
    o]E L=j  
    F+"_]  
     85YUqVi9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >H^#!eaqw  
     (+c1.h  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [\AOr`7  
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