切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 573阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    5431
    光币
    21335
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 o4)hxs  
    /#t&~E_|  
     @Fx@5e  
     vWY(%Q,  
    建模任务 9?`RR/w  
    (@&I_>2Q  
    #":a6%0Q  
    概述 % vS8?nG  
    UR3$B%i  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9 5 H?{  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 BaL]mIx  
    p`>d7S>"  
     6Rz[?-mkLO  
    6 = gp:I  
    光线追迹仿真 Rd! 2\|  
    (9GbG"   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 y1C/v:;  
    •单击go！ 5(J^N  
    •获得了3D光线追迹结果。 Tf-CEHWD  
    s~$zWx@v  
     PDC]wZd/  
    r95zP]T  
    光线追迹仿真 > saI+u'o  
    4e9E' "8%  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .~`Y)PON  
    •单击go！ M+aEma  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ")M;+<c"l  
    #&siHHs \  
     4<}A]BQVkJ  
    kxo.v|)8  
    场追迹仿真 Z[} $n-V  
    e1P7 .n}  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ( V4G<-jG  
    •单击go！ e@j8T gI)  
    V2<i/6~  
    Yu3_=: <C  
     .B$h2#i1  
    场追迹仿真（相机探测器） Taasi` k  
    hTTfJDF  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %fpsc _  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 sqG`"O4W  
    x,1=D~L}  
     @L;C_GEa  
    3bts7<K=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -S$$/sR  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .Cr1,Po  
    <E}N=J'uJ  
    h,]+>`b  
     o?dR\cxj  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Wp4K6x  
     d*%Mv[X:<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mJ$Htyr  
    @dV9Dpu  
     ysVi3eq  
    A^g>fv  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表