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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 CWE Ejl =@Q#dDnFu%
xIS\4]F?r >W>##vK 建模任务 /d{glOk cYZwWMzp H @_eFlT t 概述 xP8iz?6"V N90\]dFmy •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @`w' •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C>.]Bvg jf$JaY
P3+)pOE-SI c+@d'yR 光线追迹仿真 Zk~nB}Xw t7{L[C$ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 P]!LN\[ •单击go! BengRG[ •获得了3D光线追迹结果。 e#l*/G*, Z-N-9E
?D RFsA F3kC"H 光线追迹仿真 *4(/t$)pEl ^/_\etV •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 r!{w93rPX •单击go! y+K7WUwhq •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 `U{o: p<Zs*
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B'G*y2UnG "wT~$I" 场追迹仿真 7sQ]w
^/`#9]<% •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 p{mxk)A •单击go! S1}1"y/ opUKrB v YRt2({}Z Z]mM 场追迹仿真(相机探测器) JVJ1Ay/be 5]4<!m •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <.PPs:{8# •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 7h9 fQ&y 09}f\/
l|@/?GaH m[g< K 场追迹仿真(电磁场探测器) l}2%?d •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jSeA%Te }S~ysQwT 3bg4# c W2r6jm! 场追迹仿真(电磁场探测器) !1a|5
xrn eZN3H"H •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A@@)lD. O?C-nw6kP
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