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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 WKYA9BaR  
    (J,Oh  
    CgTQGJ}-  
     <g|nmu)o$  
    建模任务 zx]M/=7,V#  
    2AdHj&XE  
    zm)CfEF 8  
    概述 xdTzG4  
    dC;d>j,  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s$nfY.C  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 m(7_ZiL=  
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     n.H`1@  
    $Bwvw)(%  
    光线追迹仿真 yn ?U7`V  
    eQ)ioY  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?H7p6m u  
    •单击go！ 5-QvQ&eH.  
    •获得了3D光线追迹结果。 0wE8Gm G  
    C7*Yg$`{  
     hwol7B>   
    0\ytBxL  
    光线追迹仿真 s)7`r6w  
    ;Wrd=)Ka  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 HjF'~n  
    •单击go！  ;;"c+  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ]I*#R9  
    Y @ ,e  
     v'Py[[R  
    :-'ri Ry  
    场追迹仿真 cB])A57<  
    qpEC!~ y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7QL) }b.H  
    •单击go！ []fj~hj  
    XuAc3~HAd  
    r Xk   
     T6?d`i i1  
    场追迹仿真（相机探测器） 6`$z*C2{  
    M+&eh*:z:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 FU v)<rK  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 c$Nl-?W  
    _q!ck0_  
     0PX@E-n  
    H-y-7PW*~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |c+N)F B  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $HnD|_*  
    'A@Oia1;{  
    WAXrA$:3J  
     /SM#hwFxJ&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） )UU6\2^  
     K0!#l Br  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E ^>7jf09,  
    ha'm`LiX  
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    k/rkJ|i+p  
     
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