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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $q!A1Fgk0  
    W]4Z4&  
    }G4I9Py  
     =%_=!%  
    建模任务 18$d-[hX  
    Q  :kg  
    Va!G4_OT  
    概述 ^^q&VL  
    py6<QoGV  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y e0,0Fpw  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 nD i^s{  
    ?NE/ }?a  
     s|IBX0^@  
    aEf3hB*~  
    光线追迹仿真 pq*e0uW  
    e'b*_Ps'  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $Sc_E:`]  
    •单击go！ `%YMUBaI  
    •获得了3D光线追迹结果。 NuOA'e+i  
    ?HG[N7=j  
     loA/d  
    j$ T12  
    光线追迹仿真 )at:Xm<s  
    I<}% L V  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 eEXNEgbn  
    •单击go！ G]h_z|$K  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 DE.].FD'  
    yjT>bu]  
     :2lpl%/  
    +'8a>K^  
    场追迹仿真 aEdA'>  
    yeyDB>#Va.  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 D%+yp  
    •单击go！ Oj-\  
    |ufL s  
    he(K   
     fTXip)n!r  
    场追迹仿真（相机探测器） 4T3Z9KD!8  
    )W=O~g  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  kNK0KL  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~QSX 1w"  
    e6MBy\*n  
     U 2-{p  
    t+ w{uwEY  
    场追迹仿真（电磁场探测器） oeg Bk  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M(L6PyEa!Y  
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    $B8Vg `+  
     1UK= t  
    场追迹仿真（电磁场探测器） S?CT6moXA  
     ~*bfS}F8I  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z'l HL  
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