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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ZLKbF9lo  
    k -R"e  
    =e#h;x2  
     hV,T889'  
    建模任务 x!s=Nola  
    MmvJ)|&t  
    G?,3Zn0  
    概述 :qj^RcmVPL  
    &P}t<;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 fP4P'eI  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 v+g:0 C5 (  
    "dt}k$Gr  
     =d"5k DK-m  
    F?a 63,r  
    光线追迹仿真 c9jS !uDMK  
    jf;n*  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ! a\v)R  
    •单击go！ 4,:I{P_>6B  
    •获得了3D光线追迹结果。 }8}`A\ dgV  
    =BR+J9  
     \/ri|fm6l#  
    fHZ9wK>  
    光线追迹仿真 l}(HE+?  
    M'R ] ''  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y[PC<-fyf  
    •单击go！ F%lC%~-qh  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 6l4=  
    5o4KV?"  
     IOxtuR  
    R%}<z*~NE@  
    场追迹仿真 `q^qe>'  
    g.62XZF@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 58HAl_8W  
    •单击go！ K fVsnL_  
    hfbu+w):  
    D{7^y>8_Y-  
     {y5 L  
    场追迹仿真（相机探测器） [x, `)Fk  
    "R)n1,0  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 y?r`[{L(lA  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :'q$emtY  
    |%XcI3@*  
     jbZTlG  
    {*8G<&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C`qV+pV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6Ktq7'Z@  
    J1gnR  
    *(vh|  
     :,qvqh][  
    场追迹仿真（电磁场探测器） rzie_)a Y%  
     -Mrt%1g  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FaWc:GsfB  
    6)i>qz).  
     3 .j/D^  
     6; )5v  
     
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