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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 t;Z9p7rk  
    \s[L=^!  
    Syseiw  
     lV:feX  
    建模任务 Wtaz@ +  
    e<uf)K=(C  
    NL:dyV }  
    概述 ,~,q 0PA7J  
    ;07$G+['  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 b5MU$}:  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 (gY W iz  
    xtCMK1# x  
     ]gX8z#*k  
    _"x%s  
    光线追迹仿真 X*MK(aV3  
    02J(*_o  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 _'mC*7+  
    •单击go！ v .*fJ   
    •获得了3D光线追迹结果。  6p@[U>`  
    (`slC~"  
     R`$Y]@i&B  
    J|hVD  
    光线追迹仿真 x0)=jp '  
    _QHk&-Lp  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 wEq&O|Vj  
    •单击go！ k?HdW(HA  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Kg~D~ +j  
    mW{uChHP  
     @"h4S*U  
    iVnMn1h  
    场追迹仿真 lO|LvJyx  
    Q }^Ip7T  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 h3.CvPYy1  
    •单击go！ o "0 ~  
    i._RMl5zg  
    W4av?H  
     wbOYtN Y@  
    场追迹仿真（相机探测器） lvODhoT  
    AvZ5?rN$  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 q2F `q. j  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 PA803R74  
    7xB]Z;:  
     ]v5/K  
    qLX<[UL  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jP/Vqe%%8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 AH/^v;-  
    2o9B >f&g  
    m;4ti9  
     u4T$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） eD(5+bm  
     l]D $QT3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yKrb GK*=_  
    N LQ".mM+  
     (Nz`w  
    ChUE,)  
     
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