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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {D< ?.'  
    GK+w1%6)  
    3\ed4D  
     6 H.Da]hk  
    建模任务 Z0KA4O$eL  
    k=}hY+/=  
    } d6^  
    概述 n9DFa3  
    Y.J$f<[R  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 L zC~>Uj  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 f 5Oh#  
    &baY[[N  
     g= 8e.Y*Fr  
    KivzgNz  
    光线追迹仿真 Ns(F%zkm  
    $-73}[UA 4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 g;T`~  
    •单击go！ 9"TPDU7"  
    •获得了3D光线追迹结果。 }$jIvb,3?  
    (B5G?cB9  
     ;C'*Ui  
    pm+[,u!i  
    光线追迹仿真 ,*US) &x  
    d|3[MnU[a  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #q%/~-Uk  
    •单击go！ NT'Yh  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ko$R%W&T  
    ]h6<o*  
     GU`2I/R  
    N{0 D<"  
    场追迹仿真 L 'y+^L|X  
    = 4L.  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?FyA2q!  
    •单击go！ =zdRoXBY[b  
    #"l=Lv  
    L`6`NYR  
      OxRzKT  
    场追迹仿真（相机探测器） W;7cF8fu4  
    eo !{rs@f  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 PYGHN T  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Zr3KzY9  
    ZC"p^~U_e[  
     H|]Q;,C  
    $|KbjpQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） J c*A\-qC.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S"*wP[d.9  
    >U z3F7nHi  
    0t8-oui  
     HzV3O-Qz]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *=rl<?tX  
     {>#Ya;E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5K0Isuu>>  
    $P$OWp?b  
     zrcSPh  
    6v-h!1p{u  
     
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