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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ]:Pkh./ CIQ9dx7>
Wv30;7~ )jMk~;'r 建模任务 33NzQb 5yf`3vV|3@ 5Z[HlN|-! 概述 Hqb-)8 ~ aL/7xa •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _!k\~4U •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >|hqt8lY [k=LX+w@
>t4<2|!(M +Rq]_sDu 光线追迹仿真 1Ch0O__2L }LX.gm •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !lI1jb" •单击go! KXcE@q9 •获得了3D光线追迹结果。 z*WQ=l2 Zrq\:KxX
G4"[ynlWV JgB"N/Oz 光线追迹仿真
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*m B &)wJG •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4x" je •单击go! u7
{R; QKw •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 `W %R - x]gp5
qn~:B7f !<j)D_ 场追迹仿真 kIYV%O
g(F? qP_K •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 GYNLyd) •单击go! I xE}v%& doV+u(J~ {Qj7?}xW y,=TB[d# 场追迹仿真(相机探测器) t+Hx&_pMj VNWa3`w •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g'1ASMuR •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ]eIV'lP,j/ t'L#8MJ
z+%74O"c U Zc%XZ`"V 场追迹仿真(电磁场探测器) gPg2Ve0Qy •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $|r
p5D6 Gu@Znh-D #[ch?K UqZ#mK i 场追迹仿真(电磁场探测器) !0
-[}vvU yaKw/vV •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iZDZ/hohv 3eP7vy
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