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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 +tSfx  
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    建模任务 t,>j{SK~  
    "+GKU)  
    3,4m|Z2)  
    概述 dp'xd>m  
    &R~)/y0]  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 jZLD^@AP  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4!^flKZQ  
    :jU u_s}  
     nW7Ew<`Q  
    y4Fuh nb>  
    光线追迹仿真 *^_ywqp  
    ];VJ54  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "2a&G3}t"  
    •单击go！ v#WD$9QWs  
    •获得了3D光线追迹结果。 .6xIg+  
    _8eN^oc%  
     BiI}JEp4o  
    m#kJ((~  
    光线追迹仿真 syR +;  
    4kqgZtg.  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 D^jyG6Ch  
    •单击go！ xY,W[?3CY  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ;;; {<GEQ  
    [>y0Xf9^  
     1j":j%9M  
    4(O;lVT}  
    场追迹仿真 w,qYT -R  
    x8q3 Njr  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 oM4Q_An  
    •单击go！ Jkq?wpYp  
    s`E^1jC  
    Mu?hB{o1  
     Fy'/8Yv#L  
    场追迹仿真（相机探测器） ="=Aac#n`  
    }W)c-91  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 9;B6<`e/U  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ZN]LJ4|xu  
    p z]T9ol~  
     c4AkH|  
    @M!Wos Rk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >nA6w$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6}aH>(3!A  
    ~Vf+@_G8`  
    P.Uz[_&l6  
     5C&]YT3 )  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Sgy_?Y  
     +_h1JE_}D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y Cbt(nmr  
    \vR&-+8dk  
     Y::I_6[eV  
    vsU1Lzna6@  
     
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