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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 cvE.r330|  
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    建模任务 'z}M[h K]  
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    概述 ?7MwTi8{F  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 RB7AI !'a?  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ct4 [b|  
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    光线追迹仿真 G yAgPz  
    '&:1?i)  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 MiH}VfI  
    •单击go！ q7f;ZK=f  
    •获得了3D光线追迹结果。 wp %FM  
    _gm?FxV:  
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    光线追迹仿真 gZlw  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }PQSCl^I  
    •单击go！ PN"8 Y  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 MATgJ`lsy  
    >$naTSJq  
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    1%spzkE 3P  
    场追迹仿真 ^+%tlX_+.  
    UM( l%  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Yi&-m}  
    •单击go！ /}$T38  
    g 6VD_  
    w;c#drY7S  
     l{6` k<J(  
    场追迹仿真（相机探测器） '9 e\.  
    [ .j]V-61  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8pk#sJ51  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 lH)em.#  
    7"F|6JP"$c  
     Q^lQi\[  
    %l:|2s:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） * {gxI<   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PW*;Sp  
    Z>x7|Q3CX  
    Z .bit_(  
     HkdN=q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,](v?v.[4  
     "*w)puD  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <mZrR3v'D  
    *H5PT  
     t=Z&eKDC  
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