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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 .wf$]oQQ |SuN3B4e
<Y+>a#T m4,inA:o 建模任务 {9XQ~t"m^ -> `R[k \
k &ZA 概述 T0"q,lrdxV gp NAM" •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ].
0;;v6) •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :ioD*k O:jaA3
C~R,, d /lV+yZ 光线追迹仿真 )}1S
`*J/O V?-SvQIk1 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 b] ~ •单击go! WP >VQZ& •获得了3D光线追迹结果。 x P$\
} !'*1;OQ
d'[] q+W*?a) 光线追迹仿真 TnJJ& "~3b i Ie{L-Na •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #Q$+ AdY| •单击go! ASUleOI79( •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 A>%mJ3M `u$lSGl
XPT@ LM 0N):8`dY 场追迹仿真 WB3YN+Xl3 RLbo •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?wREX[Tqs •单击go! e`zCz`R ]K|td)1X Y?\PU{O -YY@[5x?u 场追迹仿真(相机探测器) :5_394v I}u&iV` •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BVu{To:g •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 9](RZ6A+o -ju}I
=h|xlT zo:NE00 场追迹仿真(电磁场探测器) bVOJp% *s •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d0;<Cw~Tl "mc ]^O mq+<2 S h_15 " rd 场追迹仿真(电磁场探测器) _FkIg>s Lmw4 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0A')zKik 96i#
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