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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %h4pIA  
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    M$FQoRwH  
     4 "@BbVYR  
    建模任务 NMJ230?  
    v,KH2 (N  
    vaxNF%^~yN  
    概述 zq8 z#FN  
    4IG'T m  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 y9=/kFPRm  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;B:'8$j$  
    BBnj}XP*4  
     ZgcA[P  
    Yih^ZTf]O?  
    光线追迹仿真 z%hB=V!~91  
    ]mn(lK  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Fm#4;'x5E  
    •单击go！ pV=X  
    •获得了3D光线追迹结果。 s~6?p% 2]  
    \(cu<{=rU  
     "e&S*8QhM  
    sG%Q?&-  
    光线追迹仿真 ']Nw{}eS`  
    ";J1$a  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y@c! \0e$  
    •单击go！ l=Jbuc  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 B;SYO>.W  
    N*|Mfpf  
     %F3M\)jU  
    A%Pjg1(uX  
    场追迹仿真 HH&`f3  
    </5uB' B ^  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :K#'?tH  
    •单击go！ -|~6Zf"  
    <*i '  
    #VgPg5k.<  
     )Jz L  
    场追迹仿真（相机探测器） od"Oq?~/t  
    pUZbZ U  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 JpvE c!cli  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 razVO]]E  
    V)mRG`L  
     Hq?-e?Nc  
    * 8CI'UX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） s_N?Y)lS+(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /[#<@o  
    Ko]A}v\]  
    *r6+Vz  
     ^%@(> :)0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "~:o#~F6  
     VC:.ya|Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZZL.&Ho  
    zF[kb%o  
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    @MWrUx  
     
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