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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ^o@N.+`&<  
    ivb?B,Lz0  
    FO/ [7ZH  
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    建模任务 %x2_njDd  
    },W<1*|  
    l2lyi  
    概述 u}:p@j}Zv  
    ^jiYcg@_[  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 $afE= qC*  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *Mg. * N  
    Pgp`g.$<  
     *sPG,6>  
    pm 4"Q!K  
    光线追迹仿真 gq+|Hr  
    zx7g5;J  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9jC>OZ0s  
    •单击go！ z|5Sy.H>  
    •获得了3D光线追迹结果。 GOII B  
    >2%*(nL  
     '. '}  
    eInx\/  
    光线追迹仿真 3r[}'ba\  
    l^$8;$Rq  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0';U3:=i,  
    •单击go！ :{YOJDtR  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 1l(_SD;90t  
    hA0g'X2eC  
     ha%3%O8Z  
    "kHQ}#6r  
    场追迹仿真 TO|&}sDh  
    Bn5O;I13  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9PM\D@A{  
    •单击go！ Uo7V)I;o  
    n> >!dg Og  
    1syI%I1  
     <1L?Xhoc6  
    场追迹仿真（相机探测器） -b7q)%V  
    oOU?6nq  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0)?.rthk4S  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~G;lEp  
    >C1**GQ  
     E[Rd= /P6  
    ;Rz+4<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (}|QSf:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >H*?ktcW  
    `h:$3a:5  
    ~ e4Pj`?=K  
     Buue][[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &f:"p*=a\  
     C_RxJWka  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^F*G  
    |?tUUT!`t  
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