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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 [!ZYtp?Hf  
    l|9'l[}&  
    YsO`1D  
     PM {L}tEQ  
    建模任务 K:pG<oV|}  
    &N %-.&t'  
    u/\Ipk/  
    概述 C{ Z*5)  
    mj9]M?]  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r&L1jT.  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~i}/  
    A+3=OBpkW0  
     T(~^X-k  
    P|aSbsk:I<  
    光线追迹仿真 0upZ4eN  
    }yCgd 5+_  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 i{J[;rV9  
    •单击go！ a$6pA@7}  
    •获得了3D光线追迹结果。 kaCn@$  
    RZj06|r8  
     D[Ld=e8t  
    Aca ?C  
    光线追迹仿真 HlX7A 1i/  
    |e3YTLsI  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8[8U49V9(  
    •单击go！ x/92],.Mz  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 bW'Y8ok[v  
    vF@.B M>  
     m(WVxVB  
    WxF@'kdn*,  
    场追迹仿真 a &R,jq  
    [3W+h1  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Mz6|#P}.s  
    •单击go！ 8@I.\u)0  
    6r,zOs-I]  
    aII:Pzh]B  
     wtGb 3D"am  
    场追迹仿真（相机探测器） sF#t{x/sW  
    h3A|nd>\  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]g9n#$|.  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 JhB$s  
    '}NH$ KA  
     DAd$u1  
    jY\YSQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Wy$Q!R=i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /s`xPxvt  
    W{;LI WsZ  
    :.\h.H;  
     _Hq)mF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） PFeK;`[  
     e9?y0vT//  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3bB%@^<  
    ~3m} EL  
     ^KFwO=I@PV  
    7kidPAhY  
     
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