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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 m<{"}4'  
    Q/py qe G  
    vG~+r<:  
     } ~F~hf>s  
    建模任务 9*\g`fWc}{  
    F}'wH-qp  
    ePEe?o4;  
    概述 GF'f[F6oI  
    )Q]w6he3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 i6Qb[\;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 M\9F:.t=  
    ?ok)>P  
     b/u8} J  
    |n`PESf_  
    光线追迹仿真 fagM7)x  
    (rcMA>2=  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 90fs:.  
    •单击go！ Lc]1$  
    •获得了3D光线追迹结果。 ?v4E<iXs  
    "Zcu[2,  
     $mpO?D J~  
    ARF\fF|<2  
    光线追迹仿真 ]g,lRG  
    xQU"A2{}>  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8eJE>g1J  
    •单击go！ Ie@Jb{ x  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 VI_+v[Hk/  
    ? %(spV  
     ?#BV+#(  
    sn"fK=,#g  
    场追迹仿真 NiA4JgM]v  
    fx)KNm8Lx  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?:igumeYX  
    •单击go！ M'2r@NR8  
    Svw<XJ   
    _ym"m,,7?  
     VEs5;]#<2D  
    场追迹仿真（相机探测器） yMxTfR  
    {eQWO.C{  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ur!~<4GO  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ]Blf9h7  
    g_aCHEFBv  
     hw=GR_,  
    1nI^-aQ3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {^mKvc  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?djQZ *  
    ,T|x)"uA`  
    %tmp  
     XAuI7e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 9v?l  
     #xT!E:W '  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ho.(v;  
    vzXag*0  
     ss iokLE  
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