切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1316阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7244
    光币
    30361
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 [Zzztn+  
    4aW[`  
    xSDTO$U8%  
     yivWT;`  
    建模任务 LIKQQ  
    #hk5z;J5  
    ^Pah\p4bj  
    概述 VGc.yM)& j  
    #<s"?Y%-  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 D;*cy<_K8  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 qJ .XI   
    x&"P^gh)  
     Q- w_ @~  
    suYbD!`(  
    光线追迹仿真 g9=_^^Tg  
    .*X=[" F  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =pTTXo  
    •单击go！ |>1#)cONW  
    •获得了3D光线追迹结果。 !}5rd\  
    _xy[\X;9  
     )3<>H!yG}  
    s%8,'3&  
    光线追迹仿真 A-J#$B  
    _'<FBlIN  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 i r'C(zD=  
    •单击go！ r8!pk~R5]  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 - P "  
    9M ;Y$Z  
     gVy`||z  
    PS=q):R|  
    场追迹仿真 ;lS sy  
    6urU[t1  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Mvp|S.  
    •单击go！ ~|N,{GaL  
    g++-v HD  
    1=C<aRZ b^  
     {+[ Ex2b$  
    场追迹仿真（相机探测器） VvT7v]  
    Z9*@w`x^u  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 2+b}FVOe\  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 TtH!5{$s  
    }`!-WY  
     lR9uD9Dr  
    I?Z"YR+MQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） TP~1-(M)}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 DrbjklcUU  
    "@|rU4Y  
    P,xJVo\  
     iq^;csyKb  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B(5>H2  
     .:GOKyr(~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Hs_7oy|P  
    b'z\|jY  
     YU!s;h  
    E@#<p-@~  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表