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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 fWb+08}C  
    X4+H8],)  
    \#IKirf?  
     `5"3Cj"M  
    建模任务 ML0_Uc3en  
    rU(-R@["  
    abCxB^5VL  
    概述 KUpj.[5 qo  
    m#-&<=  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *_P'>V#p  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^ 8YBW<9  
    Vol}wc  
     ;/kmV~KG  
    IM,4Si2  
    光线追迹仿真 <;uM/vS i  
     z:   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {;6a_L@q;|  
    •单击go！ Z[0/x.pp$  
    •获得了3D光线追迹结果。 $=`d[04  
    <_]W1V:0  
     W Q9Q:F2  
    t*dq*(3"c  
    光线追迹仿真 URt+MTU[  
    ; ), ,Hk  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 N 1.fV-  
    •单击go！ 6'.)z ,ts  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 I$4>_D  
    Rg+# (y  
     EEo I|  
    Se37-  
    场追迹仿真 j(}pUV B  
    iXWB  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 UJ(UzKq8  
    •单击go！ >>"@ 0tO  
    #sk~L21A  
    ruyQ}b:zS  
     n,LM"N:   
    场追迹仿真（相机探测器） ,el[A`b  
    xE$lx:C"FU  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $o9@ ?2  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 t;-F]  
    =BJe}AV  
     Koj9]2<0  
    K4+|K:e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） dV16'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FjLMN{eH/  
    k@h0 }%  
    ,oPxt  
     pf+VYZ#)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） VE1j2=3+o  
     Aon.Y Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z#rp8-HUDS  
    Plhakngj  
     6V}xgfB  
    o^MoU2c  
     
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