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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 O^IpfS\/  
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    建模任务 ].Et&v  
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    概述 '7E?|B0],  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Wm"W@LPx5  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 U9;AU] A  
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    av5lgv)3  
    光线追迹仿真 >Vg<J~[g  
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    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /O&j1g@  
    •单击go！ TYB^CVSZ  
    •获得了3D光线追迹结果。 hsVWD,w  
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    光线追迹仿真 NB>fr#pb  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 M#2DI?S@  
    •单击go！ 9?]4s-~  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %pV/(/Q  
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    场追迹仿真 ~I!7]i]"*?  
    xy[R9_V  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ku?i[Th  
    •单击go！ $%sOL( r  
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    场追迹仿真（相机探测器） k+%6 :r,r&  
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    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 uE+]]ir  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Bm.%bA>  
    LL.YkYu  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） KLlW\MF1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 llI`"a  
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    bf::bV?T  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） n|3ENN  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hesL$Z [  
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