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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z$&i"1{  
    FZW:dsm  
    .ECT  
     b&~s}IX   
    建模任务 T6=q[LpsKN  
    sHi *\  
    ;mYj`/Yj  
    概述 _6 ,Tb]  
    (aa}0r5  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 i9%cpPrg8  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k yI-nE  
    F4%vEn\!  
     [J71aH  
    W nLMa|e  
    光线追迹仿真 #0wH.\79  
    J&bhR9sF  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /o)o7$6Q  
    •单击go！ j(SBpM  
    •获得了3D光线追迹结果。 rS3* k3  
    [O52Bn  
     {~RS$ |  
    CYCG5)<9  
    光线追迹仿真 `[*nUdG  
    [esR!})  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $JTQA  
    •单击go！ !33)6*s  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 78[5@U  
    ILQB%0!  
     LAT%k2%Wx  
    'QrvkQ  
    场追迹仿真 c ii]-%J}c  
    n6f  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 g)@d(EYY  
    •单击go！ KNw{\Pz~w  
    }&{z-/;H  
    H ^<LnYZ  
     X\a*q]"_  
    场追迹仿真（相机探测器） X>`5YdT~+  
    _CDl9pP36#  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 XW*,Lo5>H\  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 J0eJRs  
    ;=?f0z<  
     :GaK.W q  
    l1h;ng6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8'Y7lOXS  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 uuA q\YZy/  
    | <q9Ee  
    DG!H8^  
     ! 9U  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Vif0z*\e{  
     1Y-m=~J7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 TL?(0]H fe  
    mx'!I7b(L/  
     fuQb h  
    ba-J-G@YW  
     
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