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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5!57<n  
    7c<_j55(  
    $J]NWgXl@  
     gEmsPk,  
    建模任务 s -F3(mc(  
    B9`_~~^U5  
    +JB*1dz>8  
    概述 I]Z"?T  
    oJc7a z  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 3qDuF  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 dd@ D s  
    KPZqPtb;  
     qg*xdefQ%  
    l\u5RMS('  
    光线追迹仿真 iE]^ 6i  
    :Yi 4Ia  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ir_X65l/2  
    •单击go！ mE9ytFH\k  
    •获得了3D光线追迹结果。 K~qKr<)  
    JP]-a!5Ru  
     #-PUm0|  
    -(E-yC u  
    光线追迹仿真 FX~pjM  
    {!pYQ|#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Wa iM\h?=#  
    •单击go！ (cp$poo  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {y<E_y x1  
    yp pZ@  
     T1RICIf 1F  
    l i%8X.  
    场追迹仿真 %'9&JsO  
    Fn;Gq-^7@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Enhrkk  
    •单击go！ \obM}caT  
    T 0?9F2  
    CSr2\ogT  
     Emv9l~mIu  
    场追迹仿真（相机探测器） mvyOw M  
    {dvsZJj  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?cD_\~  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 $-n_$jLY  
    #aadnbf  
     bhCAx W  
    ?1H>k<Jp  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ASr3P5/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 92^Dn`g  
    *C(q{|f  
    B,A\/%<  
     #/WjKr n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .j`8E^7<  
     J*qo3aJjE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #3-hE  
    JL?|NV-  
     21~~=+)X  
    i]0$ 7s9!  
     
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