切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1302阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7212
    光币
    30201
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ddiBjp2.!  
    95%, 8t  
    bPHqZ*f  
     wqyrs|P  
    建模任务 }|Wn6X  
    GDUOUl&  
    Z?}yPs Ob  
    概述 hR1n@/nh  
    {~RS$ |  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 WFBVAD  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0cxk)l%  
    Yo$ xz  
     g.re`m|Aj  
    c7fQ{"f 3B  
    光线追迹仿真 "o ^cv  
    #^FDFl  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {zf)im[.  
    •单击go！ V<+= t{  
    •获得了3D光线追迹结果。 'QrvkQ  
    It .`  
     }&h* bim  
    Cm5:_K`;]  
    光线追迹仿真 6]*~!al?  
    }&{z-/;H  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 SpB\kC"K  
    •单击go！ W$X@DXT=o  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :Vyr8+]  
    ">pt, QV  
     #kt3l59Ty  
    '`K-rvF,C  
    场追迹仿真 aN/0'V|&ym  
    ^*fZ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1 ynjDin<  
    •单击go！ 7Ib/Cm0d|  
    8'Y7lOXS  
    j.FW*iX1C  
     *Ou)P9~-L  
    场追迹仿真（相机探测器） x/pM.NZF1  
    S|pMX87R  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g,0u_$U  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 lW!}OzE(m  
    0Ek + }`  
     3bGJ?hpp  
    qf7oG0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .-Xp]>f,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ba-J-G@YW  
    dcGs0b  
    APC,p,"  
     E(;V.=I  
    场追迹仿真（电磁场探测器） bJz}\[z  
     q*^F"D:?k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [= GVK  
    hLZ<h7:  
     RKY~[IQ,  
    ,bQbj7  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表