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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 CWE Ejl  
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    xIS\4]F?r  
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    建模任务 /d{glOk  
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    概述 xP8iz?6"V  
    N90\]dFmy  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @`w'   
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C>.]Bvg  
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     P3+)pOE-SI  
    c+@d'yR  
    光线追迹仿真 Zk~nB}Xw  
    t7{L[C$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 P]!LN\[  
    •单击go！ BengRG[  
    •获得了3D光线追迹结果。 e#l*/G*,  
    Z-N-9E  
     ?D RFsA  
    F3k C"H  
    光线追迹仿真 *4(/t$)pEl  
    ^/_\etV  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 r!{w93rPX  
    •单击go！ y+K7WUwhq  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 `U {o:  
    p<Zs*  @  
     B'G*y2UnG  
    "wT ~$I"  
    场追迹仿真 7sQ]w   
    ^/`#9]<%  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 p{mxk)A  
    •单击go！ S1}1"y/  
     opUKrB  
    v YRt2({}Z  
     Z]mM  
    场追迹仿真（相机探测器） JVJ1Ay/be  
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    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <.PPs:{8#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 7h9fQ&y  
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     l|@/?GaH  
    m [g< K  
    场追迹仿真（电磁场探测器） l }2%?d  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jSeA %Te  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） !1a|5 xrn  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A@@)lD.  
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