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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *<1m 2t>.  
    7;{F"/A  
    tA.C"  
     ]&>)=b!,  
    建模任务 = '[@UVH(Z  
     O(!'V~3  
    8iRQPV-"_  
    概述 Pmb`05\  
    _QY "#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 RB2u1]l  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 dXhV]xK  
    (%1*<6ka  
     1+'3{m \5T  
    hSmM OS{  
    光线追迹仿真 |u[gI+TUE  
    <V{BRRx  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 qI}Zg)q]  
    •单击go！ CAO$Zt  
    •获得了3D光线追迹结果。 k?,g:[4!  
    sQw-#f7t  
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    n~Ix8|S h  
    光线追迹仿真 &oBJY'1  
    |Cm}%sgR\0  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +;T%7j"wz  
    •单击go！ ^H'#*b0u  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 X'Oo ogu  
    YA jk'  
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    场追迹仿真 ts ] +W!:  
    QnqX/vnR  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #AHIlUH"m  
    •单击go！ tB[K4GNSQ  
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    lWR  
     ;8!D8o(+  
    场追迹仿真（相机探测器） .s+e hZ  
    ?~$y3<[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <]<50  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 pP .   
    -v:Y\=[\  
     x/ez=yd*l  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） wFe</U-';  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5v]xk?Eb  
    2b<0g@~X  
    *oF{ R^  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） eu~;G H  
     *ULXJZ%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 TS-[p d  
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