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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ;R@zf1UYA  
    *6df|q  
    #[qmhU{s  
     4~P{H/]  
    建模任务 W[AX?  
    pBL,kqYNA>  
    vYKKv%LE  
    概述 PL@hsZty~c  
    i 'H{cN6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =!GUQLS{  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4fT,/[k?  
    r.lH@}i%n  
     "4<RMYQ  
    po4seW!  
    光线追迹仿真 M56^p ,  
    r? nvJHP  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 sG=D(n1  
    •单击go！ -Ds}kdxw  
    •获得了3D光线追迹结果。 AME3hA  
    0BMKwZg  
     V: fz  
    ?T3zA2  
    光线追迹仿真 b^~ keQ  
    ^ |z|kc  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 EcxPbRg  
    •单击go！ aHNR0L3$}{  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 j1Fy'os"!  
    UOJx-o!c?  
     )e d5~ok  
    ?3D|{  
    场追迹仿真  0w>V![  
    NoTEbFrV  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 c@wSv2o$  
    •单击go！ wzVx16Rvc  
    Jz&a9  
    n+QUT   
     'r~,~A I  
    场追迹仿真（相机探测器） sD H^l)4h  
    w#vSZbh  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 m \o<a|  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 0{^@kxV  
    DDxbIkt  
     }Qyuy~-&^  
    V T8PV5z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2~dUnskyy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,V1/(|[h  
    i8iv{e2  
    %sxLxx_x!  
     sU!h^N$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） q,`"Z)97  
     "O{j}QwY  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q&+Jeji  
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     XtY!fo *  
    8,B?!%FP  
     
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