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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]vlQNd?  
    [pOU!9v4  
    S'A~9+  
     r3KV.##u,  
    建模任务 #ucOjdquq  
    u?aq' "t  
    $GYy[-.`  
    概述 ]=pEs6%O3  
    9@S icqx   
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 # - kyZ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ucMl>G'!gX  
    ikY=}  
     PvA%c<z  
    3rWqt  
    光线追迹仿真 O 4}cv  
    8Mp  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 FUHjY  
    •单击go！ (C. 1'<]  
    •获得了3D光线追迹结果。 q_W NN/w  
    ;/YSQt)rc>  
     HFf| >&c&  
    UL{Xe&sT  
    光线追迹仿真 xXyzzr1[  
    7g=Ze~aq  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。  D}_\oE/n  
    •单击go！ `HHbQXB  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 b?Vu9!  
    u{\`*dNx  
     1&m08dZm5  
    U2K>\/-~  
    场追迹仿真 \(Hg_]>m  
    L=VuEF  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9t)t-t#P;  
    •单击go！ .Oim7JQ8  
    FS']3uJ/  
    +]AE}UXZoh  
     i1scoxX3\  
    场追迹仿真（相机探测器） q!FJP9x  
    Qs4Jl;Y_  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 yJgnw6>r2  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 8Y4YE(x5  
    [OM Kk#vW  
     }]f)Fz  
    bbnAF*7s8  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &18} u~M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 K;YK[M1!  
    4S9AXE6  
    ]5} =r  
     H p1cVs  
    场追迹仿真（电磁场探测器） < 'T6k\  
     #%x4^A9 q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lv{Qn~\y&  
    xo?f90+(  
     9m8`4%y=  
    ^D6JckW  
     
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