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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ]:Pkh./  
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    建模任务 33NzQb  
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    概述 Hqb-)8 ~  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _ !k\~4U  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >| hqt8lY  
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    光线追迹仿真 1Ch0O__2L  
    }LX.gm  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !lI1jb"  
    •单击go! KXcE@q9  
    •获得了3D光线追迹结果。 z*WQ=l2  
    Zrq\:KxX  
    G4"[ynlWV  
    JgB"N/Oz  
    光线追迹仿真 <^adt *m  
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    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4x" je  
    •单击go! u7 {R; QKw  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 `W%R  
    - x]gp5  
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    场追迹仿真 kIYV%O   
    g(F? qP_K  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 GYN Lyd)  
    •单击go! I xE }v%&  
    doV+u(J~  
    {Qj7?}xW  
    y,=TB#  
    场追迹仿真(相机探测器) t+Hx&_pMj  
    VNWa3`w  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g'1ASMuR  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ]eIV'lP,j/  
    t'L#8MJ  
    z+%74O"c  
    U Zc%XZ`"V  
    场追迹仿真(电磁场探测器) gPg2Ve0Qy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $|r p5D6  
    Gu@Znh-D  
    #[ch?K  
    UqZ#mKi  
    场追迹仿真(电磁场探测器) !0 -[}vvU  
    yaKw/vV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iZDZ/hohv  
    3eP7vy  
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