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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4E@_Fn_#  
    Q: j)F|uhc  
    Sw`+4 4  
     $t.M `:G  
    建模任务 ?D=C8EX  
    c.}#.-b8  
    j>Cp4  
    概述 )F4BVPI  
    fy={  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 jAfqC@e  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 MGH2z:  
    Uwg*kJ3H  
     =$uSa7t#  
    m[tsG=XBN  
    光线追迹仿真 4}Yn!"jW&  
    nTr{ D&JS  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 KB8_yo{y  
    •单击go！ $8>II0C.  
    •获得了3D光线追迹结果。 *@g>~q{`  
    6@Ir|o  
     !wH'dsriD  
    ~r&+18Z;  
    光线追迹仿真 YFeL#)5y  
    LQJC]*b1  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 jQ dIeQD+  
    •单击go！ !&R|P|7qN}  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Dmr3r[  
    YA~`R~9d  
     VCa`|S?2  
    d?N[bA  
    场追迹仿真 9ZI^R/*Kc  
    \  `|  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !%/(a)B$^$  
    •单击go！ h=dFSK?*D  
    rbI 7 3'  
    oVY_|UujG  
     CB`GiH/j  
    场追迹仿真（相机探测器） EOo,olklC  
    x57O.WdN  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 N[kl3h%q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 qEfg-`*M  
    +7r?vo1  
     VbX$\Cs:  
    iVA=D&eZ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >9t+lr1   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4tz@?T Cb  
    JN3&(t  
    Xr{ r&Rl  
     UVgDm&FF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k\A4sj  
     pet q6)g?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p$a+?5'Q  
    fHXz{,?/w  
     )p[Qj58  
    SyI i*dH  
     
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