切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1253阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7101
    光币
    29646
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 F-AU'o *  
    } I>68dS[  
    !yqe z  
     94^)Ar~O  
    建模任务 F t/yPv  
    6_|iXs(&  
    QO2@K1Y  
    概述 z]_2lx2e  
    j9gn7LS  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /]j^a:#"6t  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;)~}/nR<a  
    JfD-CoQS'  
     e}dGK=`  
    .3 >"qv  
    光线追迹仿真 P5Lb)9_Jw  
    m`i_O0T  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8\WV.+  
    •单击go！ yY[9\!  
    •获得了3D光线追迹结果。 Fn>KdoByN  
    ]K?;XA3dZ  
     '9{`Czc(Gb  
    -pmb-#`M  
    光线追迹仿真 ^H"o=K8=  
    |I[/Fl:  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 6ChFsteGFr  
    •单击go！ XHU\;TF  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 K;z$~;F  
    vtq$@#?~ b  
     O&dBLh!G  
    c@3mfc{  
    场追迹仿真 pfBe24q  
    Hf /ZaBn  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |\zzOfaO  
    •单击go！ |v:oLgUdH  
    }!Y=SP1e  
    l~]D|92  
     <Y]e  
    场追迹仿真（相机探测器） ;NOmI+t0w&  
    .k:heN2-x  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 },n?  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?g\emhG  
    ;6eBfMhL  
     rD+mI/_J`  
    h1t~hrq  
    场追迹仿真（电磁场探测器） wz'=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ({ O~O5k  
    8.,d`~  
     TZ63=m  
     ?7>"ZGDe>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5cGQ`l  
     PYBE?td  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 b)@D@K"5  
    4O{G^;  
     N4#D&5I",  
    a^={X<K|/  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表