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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 N!^U{;X7/  
    q48V|6X'q  
    m`E8gVC  
     ;%hlh)k$  
    建模任务 X2T)]`@  
    .,UpI|b  
    ZN',=&;n'  
    概述 fGY. +W_  
    &nTB^MF  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (H0nO7Bk  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 WZ;f3 "  
    Jc:*X4-'  
     VI[ikNpX  
    mp%i(Y"vp  
    光线追迹仿真 4:5CnK  
    #Z(8 vA^@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 OV Iu&6#  
    •单击go！ OT\[qaK  
    •获得了3D光线追迹结果。 -E?h^J&U  
    Z_cTuu0'  
     )# M*@e$k  
    0 B>{31)  
    光线追迹仿真 jo0p/5;  
    'l!tQD!  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3Q Zw  
    •单击go！ >Ix)jSNLgo  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZSU;>&>%v  
    Ri"3o  
     ]7fqVOiOu  
    rG}o!I`z  
    场追迹仿真 ^1Y0JQ  
    ^+Ec}+ Q  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =0MW+-  
    •单击go！ C$-IDBXK  
    *GTCVxu  
    TCv}N0  
     X+ h|sy  
    场追迹仿真（相机探测器） DU|0#z=*t5  
    iK s/8n  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 9^c\$"2B  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +}J2\!Jw  
    N?ky2wG  
     G<Z|NT  
    vB#&XK.aW  
    场追迹仿真（电磁场探测器） m+s^K{k}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S6 `4&0'  
    eICk}gfun  
    /t01z~_  
     d/j$_NQ&!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） bWW$_S pr  
     vLXN{ ]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $7T3wv9  
    #7/_Usso  
     8~u#?xs6  
    Ir_K8 3VM  
     
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