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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >v9 ("  
    Tt.wY=,K  
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     POQRq%w  
    建模任务 jX79Nm|  
    aCe<*;b@  
    CxC&+';  
    概述 :e 5)Q=lX  
    gf^"s fNk  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 -aPvls   
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ON|Bpt2Qp  
    ^9 gFW $]  
     q/[)Z @&(  
    :yo tpa  
    光线追迹仿真 PK@hf[YHe  
    L<encPJt  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 n5X0Gi9  
    •单击go！ 0!YB.=\{_q  
    •获得了3D光线追迹结果。 xJ)hGPrAl  
    C3 ^QNhv  
      q[#2`  
    #8G (r9  
    光线追迹仿真 ~{hcJ:bI  
    /pZ]:.A  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 r7r>1W%4  
    •单击go！ <taN3  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 1H{M0e  
    y-qbK0=X4  
     {#aW")x^#  
    i>w'$ {  
    场追迹仿真 K r9 P#Y  
    C~Fdo0D  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 AOhfQ:E 4  
    •单击go！ 8jW"8~Y#0  
    y<bA Y_-[  
    y#Je%tAe 2  
     %y{#fZHc  
    场追迹仿真（相机探测器） Z&gM7Zo8  
    y -j3d)T  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 XS5*=hv:  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 D3s]49j)  
    j_\nsM7  
     i#o:V/Z .  
    ^W|B Xxo  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ?YzOA${  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8C1 'g7A<  
    pJ Iq`)p5  
    7/nnl0u8  
     QZ!;` ?(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !iBe/yb  
     #?/&H;n_8S  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EY=`/~|c  
    spIkXEK  
     9~8 A>  
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