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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 b,vSE,&xP  
     UZJ^ e$N  
    tOUpK20q.@  
     +qN}oyL  
    建模任务 *`D}voU  
    e:W]B)0/e  
    )Z4ilpU,  
    概述 ^qB a~  
    ky2n%<0]  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9i9'Rd`g  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G;RFY!o  
    =rL%P~0wq  
     "AN*2)e4  
    <V[Qs3uo(  
    光线追迹仿真 S F:>dneB  
    hA'i|;|ZYc  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 r{+P2MPW  
    •单击go！ ]iI2  
    •获得了3D光线追迹结果。 m5c=h  
    244[a] %&;  
     )P13AfK  
    e3o?=;  
    光线追迹仿真  %XF>k)  
    pCacm@(hG  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 V{A_\  
    •单击go！ 3?%?J^/a  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 uU$YN-  
    {J&[JA\   
     oz.#+t%X$b  
    |B{@noGX  
    场追迹仿真 != uaB.  
    ( *&E~ g  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  =1MVF  
    •单击go！ _%R]TlL  
    gWK[%.Jnw  
    $U/|+*  
     1]&FB{l  
    场追迹仿真（相机探测器）  a,ff8Qm  
    o;[?b'\[d  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $@Bd}35 J  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 gZf8/Tp\z  
    #fGI#]SG?  
     C%RYQpY*c  
    l('@~-Zy  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Xp67l!{v  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mb\"qD5  
    n g,&;E  
    luWr.<1  
     7oy}<9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <q`'[1Y4  
     M*gbA5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;T\+TZtI  
    zG* >g  
     9$q35e  
    xY d]|y  
     
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