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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 P^lzl:|  
    |JUb 1|gi  
    @&I7z,  
     a {4Wg:  
    建模任务 <yoCW?#  
    V`ODX>\  
    |b BA0.yS  
    概述 v?s]up @@h  
    MD"a%H#p  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 AX`>y@I  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +hUS sR&  
    }\iH~T6  
     "8.to=Lx  
    5B|&+7dCw  
    光线追迹仿真 (f-Mm0%[  
    ^~p^N <  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 i 4}4U  
    •单击go！ ZqDanDM  
    •获得了3D光线追迹结果。 9_$i.@L 1  
    zeC@!,lH  
     +vDEDOS1  
    4 6yq F  
    光线追迹仿真 uVSc1 MS1  
    slQxz;t  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ""Ub^:ucD  
    •单击go！ _mEW]9Sp  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 n?UFFi+a  
    D2,2Yy5 y  
     =6sA49~M  
    M1Frn n  
    场追迹仿真 F6L}n-p5  
    >V01%fLd  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Wl29xY}`{!  
    •单击go！ !ek};~(  
    #4yh-D"  
    x)]_]_vX  
     /Ezx'h3Q  
    场追迹仿真（相机探测器） (G E)  
    7_=7 ;PQ<  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 #"T< mM7  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 S-5|t]LV  
    #1-2)ZO.  
     T?DX|?2X  
    ~!Ar`= [  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .uoQ@3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @) \{u$  
    ycD}7  
    v M lT  
     G*`H2-,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） u@@0YUa  
     +WH|nV~lQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .5tE, (<?  
    YKWiZ  
     nt5x[xa  
    %k"qpu  
     
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