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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *$JS}Pax  
    .%\||1F<  
    w*(1qUF#%  
     D.a\O9q"&{  
    建模任务 M?n}{0E4  
    3.=o}!  
    /nt%VLms %  
    概述 DIhV;[\  
    qA25P<  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 jCg4$),b  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 1pN8,[hyR7  
    G!Y7Rj WD  
     8)b*q\ O'  
    z_y@4B6>}  
    光线追迹仿真 q'Y)Y(d  
    q^QLNKOH"  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 O31.\ZR2  
    •单击go！ 0f5)]  
    •获得了3D光线追迹结果。 9IacZ  
    ? fM_Y  
     jT-tsQ .,  
    8lCo\T5"  
    光线追迹仿真 <){J|O  
    Oek$f,J-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 )Q|sW+AF  
    •单击go！ Rp}Sm,w(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :<1PCX2  
    K2tOt7M!  
     Of<Vr.m{R  
    !\\1#:*_W  
    场追迹仿真 nEik;hAz  
    qx?0]!x  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iTCY $)J  
    •单击go！ XNl!?*l5?l  
    ? 8S~R  
    8ROZ]Xh,x  
     >kDkvg1"  
    场追迹仿真（相机探测器） sHSg _/|  
    5j5} c`:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <2^ F'bQV  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 U {9yfy  
    pJ@->V_  
     eTY(~J#'  
    !Bhs8eGr3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） TO] cZZ<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <VT|R~  
    V%FWZn^  
    difAQ<`  
     r+i=P_p  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R^JtWjJR  
     OX{2@+f#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X@:@1+U  
    LJ*W&y(2>Q  
     (:7Z-V2(  
    l9{.~]V  
     
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