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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 rs0Wy  
    |+Tq[5&R  
    Am"&ApK  
     ~ L"?C  
    建模任务 5jsZJpk$  
    5p~hUP]tT  
    2k^'}7G%  
    概述 jaQH1^~l/-  
    T1(*dVU?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 JD]uDuE  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,k}(]{ -  
    aqv'c j>  
     IJDE{)  
    E^m;Ab=  
    光线追迹仿真 +77B656  
    !iW> xo  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 EvF[h:C2  
    •单击go！ +.QJZo_  
    •获得了3D光线追迹结果。 !gJw?(8"  
    EKEJ9Y+47H  
     zxeT{AFPr?  
    KY\=D 2m  
    光线追迹仿真 tN z(s)  
    sEi9<$~R@0  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 QSOG(}w  
    •单击go！ [gj>ey8T  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $ByP 9=|  
    x kdC -S  
     #gXxBM  
    6i@* L\ Dl  
    场追迹仿真 z#2n+hwE  
    9T0g%&  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \r"gqv)^  
    •单击go！ h=B= J  
    0e1-ZP CDj  
    IRTD(7"oyp  
     Z{1B:aW  
    场追迹仿真（相机探测器） -_XTy!I  
    hw=~ %f;  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /O~Np|~v  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 I+ Y{_yw"f  
    Os KtxtLO  
     13+. >  
    JX{_,2*$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 9dWz3b1[]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 UqNUX?(  
    }b/P\1#z  
    :aH5=@[!y  
     }Eh &'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） rR 86D  
     _<=h#lH  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I5 qrHBJ >  
    h`iOs>  
     [v\m)5  
    n~.$iN  
     
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