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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 E-*>f"<h  
    ]5qjK~,4b  
    B=o#LL  
     UcKWa>:Fi  
    建模任务 VNOK>+  
    BMtYM{S6  
    m\R@.jkZ  
    概述 ;&7qw69k  
    <uWJ>sg^ 6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _zVbqRHlw  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 RN cI]oJ  
    j,gM+4V^  
     l:kE^=6  
    O(c4iWm  
    光线追迹仿真 B8BY3~}]  
    A7I8Z6&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1*eWvYo1  
    •单击go！ N8/Au=De_  
    •获得了3D光线追迹结果。 H7cRWB  
    B4M'Er{v  
     [8om9 Z3  
    Q>+_W2~]  
    光线追迹仿真 "~ i#9L/H  
    SbQ{ >  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 CO6XIgTe  
    •单击go！ fu7[8R"{  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 MZhJ,km)  
    QVA!z##  
     B=nx8s  
    KlSY^(kHR  
    场追迹仿真 'DB({s  
    H]]>sE  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %CfTqbB  
    •单击go！ lfI7&d*  
    6b1 Uj<  
    5D q{"@E  
     m<VL19o>R  
    场追迹仿真（相机探测器） ROI$;B(  
    u{y5'cJ{  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BfO}4  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 T=)L5Vuq<  
    rO2PbF3  
     4QN6BZJ5  
    LnACce ?b  
    场追迹仿真（电磁场探测器） nq w*oLFQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *SpO|*'  
    rt4|GVa  
    sjgxx7  
     Yv|bUZ @  
    场追迹仿真（电磁场探测器） h: (l+jr  
     J1wGK|F~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !&<Wc^PG  
    HoQ(1e$G-  
     UW~tS  
    ,HjHt\!~<  
     
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