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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 E~@HC5.M  
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     A&lgiR*ObT  
    建模任务 -"dy z(  
    RdVis|7o  
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    概述 N9h@1'>  
    *Qwhi&k  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Qbt>}?-  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 H6CGc0NS+  
    7 }MJK)  
     U W)&Eky  
    b%jG?HSu  
    光线追迹仿真 >iWf7-:  
    % m5^p  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Sfa m=.l  
    •单击go！ 2c`=S5  
    •获得了3D光线追迹结果。 #.L0]Uqcp  
    <9.7gwzE  
     +-YuBVHL  
    }~~^ZtJ\  
    光线追迹仿真 MG5Sn*(C  
    I)%jPH:ua  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Q;,3W+(  
    •单击go！ P<JkRX  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 u.4vp]eU  
    |afK"N  
     ;OCI.S8  
    n zrCOMld  
    场追迹仿真 BRzWZq%r3  
    [T#a1!  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  p6l@O3  
    •单击go！ (?3 \.tQ}}  
    +C;#Qf  
    Vyq<T(5  
     ~Q 9)Q  
    场追迹仿真（相机探测器） XoiYtx53  
    R9-JjG2v  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 N\e@$1  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 2bxMIr  
    T9<nD"=:  
     2m_M9e\  
    ^(JbJ@m/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0THAI  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =(5GU<}  
    u#,'ys  
    gWH9=%!  
     ~@?-|xLqQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j3-6WUO  
     vFC=qLz:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 17]31  
    YaT+BRh?  
     (Tb0PzA  
    Jl4XE%0  
     
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