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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 aD2CDu  
    D !D%.  
    xUYN\Pc-  
     Jk6/i;4|  
    建模任务 1WA""yb  
    ;uWI l  
    yQA"T?  
    概述 \<MTY:  
    :R|2z`b!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 pQgOT0f  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Lw2YP[CR  
    :EldP,s#x%  
     [F>n!`8  
    k f K"i  
    光线追迹仿真 3Ns:O2|  
    !PP?2Ax  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 cX=b q_  
    •单击go！ k^%TJ.y@  
    •获得了3D光线追迹结果。 7[?}kG   
    ])ZJ1QL1  
     TXk"[>,:H  
    $;`2^L  
    光线追迹仿真 Xk fUPbU  
    RV@(&eM  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1MzB?[gx  
    •单击go！ U>M>FZ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 nh.v?|  
    "@'9+$i6  
     AxqTPx7`|  
    x:wq"X  
    场追迹仿真 ~s ja^  
    P6Z,ci17  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^J=txsx  
    •单击go！ C g,w6<7  
    21J82M  
    xx2:5  
     &(U=O?r7  
    场追迹仿真（相机探测器） C&K(({5O  
    9(Xch2tpO!  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tp3N5I  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Cr\/<zy1-e  
    HE .Dl7 {  
     rlh6\Fa  
    f2K3*}P  
    场追迹仿真（电磁场探测器） '`VO@a  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HDG"a&$   
    :r+ 1>F$o  
    /u1zRw  
     +[nYu)puP  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;7{wa]  
     n6+M qN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `-e}:9~q  
    BP><G^  
     $f-pLF+x  
    N@ tb^M  
     
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