切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1285阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7184
    光币
    30061
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 a?ux  
    1CpIK$/  
    xJ|_R,>.H  
     o-r00H|  
    建模任务 qB8R4wCf  
    CH+mzy  
    ^%jk.*  
    概述 e|S_B*1*0  
    \9`76*X6 c  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s2t9+ZA+s  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +/4wioGm  
    R.$1aqA}  
     uo[W|Q  
    p^THoF'~T  
    光线追迹仿真 r`5svY  
    5!*@gn  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8q_"aa,`  
    •单击go！ ~"}o^#@DwJ  
    •获得了3D光线追迹结果。 j$Wd[Ja+O  
    o#=@!m  
     ;X)b=  
    caXSt2|'  
    光线追迹仿真 ~zph,bk  
    y';"tDFb  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9L9qLF5 t  
    •单击go！ \<0xg[  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 x#c%+  
    SKeX~uLz  
     UNJAfr P  
    =]m,7v Rq  
    场追迹仿真 g=L80$1  
    GW\66$|  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 z6x`O-\  
    •单击go！ AtYqD<hl:  
    T3,}CK#O   
    fF]w[lLDv  
     , Aw Z%  
    场追迹仿真（相机探测器） W\5PsGUsv  
    G;Py%8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 z[+Sb;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 $~)YI/b  
    8~ w P?  
     =>htX(k}  
    gi #dSd1\&  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  KGJ *h  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "< })X.t  
    #6*20w_u  
    /_qW?LKG/  
     NE4 }!I  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;DX g  
     )18C(V-x  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bZWdd6  
    w9TE E,t;5  
     LDh,!5G-M  
    8e32NJ^k~  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表