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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 .wf$]oQQ  
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    <Y+>a#T  
    m4,inA:o  
    建模任务 {9XQ~t"m^  
    ->`R[k  
    \ k &ZA  
    概述 T0"q,lrdxV  
    gp NAM"  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]. 0;;v6)  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :ioD  *k  
    O:jaA3  
    C~R,,  
    d/lV+yZ  
    光线追迹仿真 )}1S `*J/O  
    V?-SvQIk1  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 b] ~  
    •单击go! WP >VQZ&  
    •获得了3D光线追迹结果。 xP $\ }  
    !'*1;OQ  
    d'[]  
    q+W* ?a)  
    光线追迹仿真 TnJJ& "~3b  
    i Ie{L-Na  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #Q$+AdY|  
    •单击go! ASUleOI79(  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 A>%mJ3M  
    `u$lSGl  
    XPT@ LM  
    0N):8`dY  
    场追迹仿真 WB3YN+Xl3  
    RL b o  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?wREX[Tqs  
    •单击go! e`zCz`R  
    ]K|td)1X  
    Y?\PU{ O  
    -YY@[5x?u  
    场追迹仿真(相机探测器) :5_394v  
     I}u&iV`  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BVu{To:g  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 9](RZ6A+o  
    -ju}I  
     =h|xlT  
    zo:NE0 0  
    场追迹仿真(电磁场探测器) bVOJp% *s  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d0 ;<Cw~Tl  
    "mc ]^ O  
    mq+<2 S  
    h_15"rd  
    场追迹仿真(电磁场探测器) _FkIg>s  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0A')zKik  
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