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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 RV, cQ K  
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     hZeF? G)L'  
    建模任务 zZ{(7K fz  
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    GQ= Pkko  
    概述 pDG>9P#mO  
    Ky6 d{|H  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 t-$Hti7Lk  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )TyI~5>;  
    .0#{ ?R,  
     oD~q/04!  
    )VFS&|#\  
    光线追迹仿真 ;q%V)4  
    _f<#+*y  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hwd{^  
    •单击go！ (j884bu  
    •获得了3D光线追迹结果。 4W36VtQ@E  
    ue"e><c6:  
     %pr}Xs(-f  
    L QA6iZBP  
    光线追迹仿真 ed4`n!3  
    HWi: CDgm  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 P/doNv}iG  
    •单击go！ t Ai?Bjo  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 BZAF;j  
    X16r$~Pb  
     }R2afTn[;  
    q OX=M  
    场追迹仿真 RS /*Dp^  
    n% ={!WD  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 TWT h!  
    •单击go！ ]m"6a-,`  
    JzuP A I  
    %Y<3v \`_  
     lehuJgz'OO  
    场追迹仿真（相机探测器） qBXIR }  
    W,sPg\G 3  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 I vD M2q8f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3[}w#n1  
    L<H6AzR+  
     E8PlGQ~z{d  
    A!fRpN  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <+)B8I^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R:t  
    H"J>wIuGX  
    'v'=t<wgl  
     - <M'h  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 9Ts rg  
     &xMQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 } {<L<  
    t[Ywp!y[  
     Jqgo\r%`  
    U A}N  
     
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