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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ;/ >~|@  
    V<nh+Q3<d  
    I0GL/a 4s  
     ,_P(!7Z8  
    建模任务 Y~gpiL3u  
    aD 24)?db-  
    +=U`  
    概述 "fS9Nx3  
    CM8WI~  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +oe ~j\=  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 KiH#*u S  
    *slZ17xg  
     ]qhVxeUm  
    *s;$`8fM<  
    光线追迹仿真 d<fS52~l  
    u&r @@p.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !>gc!8Y'o  
    •单击go！ oa1&9  
    •获得了3D光线追迹结果。 RSzp-sKB  
    |0A n| 18  
     oKzV!~{0M;  
    m <aMb  
    光线追迹仿真  ,Ad\!  
    (;C_>EL&u  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 kZSe#'R's  
    •单击go！ T JLz^%t  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9CUMqaY2  
    5j,)}AYO  
     s13Iu#  
    ^EZ)NG=e5  
    场追迹仿真 tj{rSg7{  
    (:M6*RV  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 V4/eGh_T  
    •单击go！ 69O?sIk  
    rQN+x|dKMb  
    Xqf"Wx(X  
     &hjrJ/'^  
    场追迹仿真（相机探测器） 5o rA#B  
    %D e<H*  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 LPewoAXO  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 tH17Z  
    q'",70"\  
     8Bo'0  
    r$G;^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） yd#4b`8U`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P8z+ +h  
    JFR,QUT  
    ]V><gZ  
     93[`1_q7\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cf@:rHB}  
     \AkeC6[D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )wSsxX7:  
    /HI#8  
     gHYYxhW$  
    Gd:fWz(  
     
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