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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y[rCF=ZVH  
    .+u r+" i  
    +J A\by  
     .;,,{ ;  
    建模任务 v9f%IE4fX  
    + I*a=qjq  
    &=T>($3r94  
    概述 c3<H272\  
    Y$|KY/)H)  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |GPY bxzc  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~Xr[d07bC  
    c2s73i z  
     ?a?4;Y!  
    o62GEl25  
    光线追迹仿真 q 4Ok$~"I  
    FS!vnl8`  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 c7tO'`q$e  
    •单击go！ $0~1;@`rQ6  
    •获得了3D光线追迹结果。 N>sHT =_  
    tm_\(  
     *rV{(%\m  
    D&],.N  
    光线追迹仿真 !SLfAFcS  
    cb. -AlqQ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =4!m] *y  
    •单击go！ Vy=+G~  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Qdc)S>gp  
    9 "M-nH*<  
      2q9$5   
    2@N-#x '  
    场追迹仿真 e%7#e%1s  
    9sv#TT5V  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,,S 2>X*L  
    •单击go！ /}eb1o  
    $o)}@TC  
    .8[uEQ_L  
     usi3z9P>n  
    场追迹仿真（相机探测器） Tg=P*HY6  
    \t=#MzjR  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 85A7YraL  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 a:1$idj  
    8@FgvWC  
     2';{o=TXV  
    $$B#S '  
    场追迹仿真（电磁场探测器） h`p=~u +  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @v\8+0  
    =66'33l2  
    4#B 56f8  
     D|vck1C5,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） e%=SgXl2t  
     LGYg@DR  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C+Wa(K  
    N{a=CaYi+  
      |vBy=:  
    YlZ&4   
     
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