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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ty DM'|p  
    j8sH#b7Z  
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     :,DM*zBV p  
    建模任务 hsw9(D>jp  
    3yNU$.g  
    (~J^3O]Fo  
    概述 "hdvHUz  
    p}<w#p |  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 L*x[?x;)@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }YHX-e<Yx]  
    z1Ov|Q`  
     51QRM32Y  
    $/7pYl\n  
    光线追迹仿真 pm6>_Kz  
    :Pv*, qHE  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3q?\r` a  
    •单击go！ ?]4>rl}  
    •获得了3D光线追迹结果。 V$uk6#  
    !XzF67  
     Z?O *'#yn  
    &EpAg@9!  
    光线追迹仿真 -<_Ww\%8M  
    chEn|>~  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Wy%s1iu  
    •单击go！ LB.co4  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 SM^-Z|d?  
    &< !Ufa&  
     8Y#\xzod  
    G!XIc>F*  
    场追迹仿真 "C*B,D*}:  
    {$1J=JbE  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _kY#D;`:r  
    •单击go！ ,<Q~b%(3  
    g38&P3/  
    84{Q\c  
     UQ.7>Ug+8s  
    场追迹仿真（相机探测器） +GAf O0  
    QL$S4 J"  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -!8(bjlJ&  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Z,.G%"i3C  
    kZ=s'QRgL  
     4Ua> Yw0  
    \))=gu)I  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Ia'ZV7'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Nlj^D m  
    leCVK.  
    ^Eo=W/   
     $ F S_E  
    场追迹仿真（电磁场探测器） c   c  
     NOS>8sy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w%zRHf8C  
    aSP4a+\*  
     kHv[H]+v  
    :ah 5`nmPO  
     
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