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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 QTJu7^ O9  
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    建模任务 h[Tk; h  
    &y. dmW  
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    概述 e1(h</MU2  
    +oy*Kxs7  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 MK$Jj "  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 N+Sq}hI  
    T_hV%   
     Ob@Hng% v  
    :=.*I  
    光线追迹仿真 .[pUuVq]  
    D(X qyN-P  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 &r_uQbx  
    •单击go！ kn  Hv?#  
    •获得了3D光线追迹结果。 {U @3yB  
    NPU^) B  
     L]bVN)JU  
    AlX3Wv }  
    光线追迹仿真 &9B_/m3  
    ;iX<`re~  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Go8F5a@j  
    •单击go！ mb1IQ &  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >)Dhi+D  
    /6tcSg)  
     x-Z^Q C  
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    场追迹仿真 L(o#4YH}>J  
    9M2f!kJP$  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^#SBpLw  
    •单击go！ {*xBm#  
    3 N%{B  
    f_<Y\  
     rK=6]j(K  
    场追迹仿真（相机探测器） I,P!@  
    ww,Z )m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :JV\){P  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &HF]\`RNr  
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     7'.s7& '7  
    Rc9<^g`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） AzjMv6N   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SMO*({/  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） ^ KOzCLC  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {nRUH*(d9  
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