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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ^"/^)Lb!@M  
    $RaN@& Wm  
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    建模任务 '-;[8:y.  
    86r5!@WN  
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    概述 wSTul o:9  
    /8cRPB.  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~7P)$[  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |W">&Rb<t#  
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     Eah6"j!B8n  
    XIHN6aQ{X  
    光线追迹仿真 G'ykcB._  
    :S+K\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \*xB<mq  
    •单击go！ o\IMYT  
    •获得了3D光线追迹结果。 &XP(D5lf`B  
    -u2i"I730  
     |\5^ub,m  
    G6sK3K  
    光线追迹仿真 :d36oiHKu  
    !>8~R2  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 FK|O^- >B  
    •单击go！ #WpkL]g2+%  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 h+f>#O+:  
    Mqf Ns<2  
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    &NE e-cb[  
    场追迹仿真 XpIiJry!6  
    /Rp]"S vt  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 D6sw"V#  
    •单击go！ d2 ^}ooE  
    C_.9qo]DT7  
    24mdhT|  
     ?9b9{c'an  
    场追迹仿真（相机探测器） ^URCnJ67Se  
    %`vzQt`>  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 t8Zo9q>  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Hd|l6/[xz  
    W? iA P  
     i=8iK#2 h  
    v<qh;2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） sGvbL-S-f:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pJpapA2l*6  
    f& 4_:'-,  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） 0&.CAHb}  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j =_rUc'Me  
     6 K $mW  
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    I$Nh|eM  
     
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