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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Dd/wUP  
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    建模任务 )3Z ^h<"j  
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    概述 gKYfQ+  
    %a+mk E  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 !K f#@0E..  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 f y:,_#  
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    #|&Sc_#4)  
    光线追迹仿真 1 i[\T  
    }XO K,Hw  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #S&Tkip]"W  
    •单击go！ d)4 m6  
    •获得了3D光线追迹结果。 z|EEVNFd&  
    ,(8;y=wux  
     +t5U.No  
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    光线追迹仿真 {M-YHX>*;g  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ho##Z*O  
    •单击go！ +gtrt^:]l  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ),G=s Oo  
    W`\R%>$H  
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    场追迹仿真 3)\8%Ox  
    KD`IX-r{s  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 QFYWA1<pDh  
    •单击go！ Llr>9(|  
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    Y. ,Kl~  
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    场追迹仿真（相机探测器） {}3${  
    'nXl>  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0T Q$C-%  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 J ]nohICe  
    UrqRx?#  
     5$V_Hj  
    !%"8|)CAr  
    场追迹仿真（电磁场探测器） T6 '`l?H`;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N[s}qmPha  
    a)wJT`xu  
    =EHUR'  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） ]H`1F1=  
     q WQ/ 'M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q_[ 3`j l  
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