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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~.H*"  
    "-HmXw1+t  
    &)y$XsSMW  
     m_pqU(sP  
    建模任务 qPI1\!z6  
    }aC@ov]2  
    eG05}  
    概述 m}oqs0xx  
    g!*5@k|C  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 U1!#TD)@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?cRGdLP'D  
    yoc;`hO-  
     y +2  
    q }'ww  
    光线追迹仿真 eK)R=M@i  
    *(>,\8OVf  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5y`n8. (?  
    •单击go！ 8nSEAr~  
    •获得了3D光线追迹结果。 THl={,Rw`  
    {BS}9jZx  
     1O{(9nNj  
    KqI<#hUl  
    光线追迹仿真 bB->7.GXu  
    *`g'*R  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 k(bDj[0q^  
    •单击go！ _hz}I>G@B  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Uzzt+Iwm  
    B2/d%B  
     #FNSE*Y  
    N9}27T+4  
    场追迹仿真 E@(nKe&6T_  
    ?Xq"Q^o4#e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 xxS>O%  
    •单击go！ CNkI9>L=W`  
    2^;zj0]Rt  
    )A1u uW (  
     )4tOTi[  
    场追迹仿真（相机探测器） XGCjB{IV  
    $]`rWSYtv`  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 a F!Im}  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &Fg|52  
    wdo(K.m  
     fb*h.6^y9  
    _yN&+]c  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |T)  $E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z?I"[M  
    :I !}ZD+Z  
    ALY3en9,  
     gx ]5)O  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5ca!JLs  
     $3'xb/3|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &`^P O $  
    hC D6  
     \Aq$h:<  
    lh`ZEvt  
     
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