[求助]APC充氧的作用 [复制链接]

请教各位大佬，镀膜中的APC充氧有什么作用？

补充氧气，稳定真空度。 a|Io)Qhr  
不同真空度下，膜的分布和致密度都是不一样的。 *$~H
=4t  

但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗？

APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分，不然吸收会比较大

xzaxd:但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗？ (2022-06-20 11:34)  nTrfbK@  

K|*Cka{  
理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧）

ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40)  "n '*_rh>+  

Ed#%F-1sX  
明白了！谢谢版主

奔跑的小骏马:APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分，不然吸收会比较大 (2022-06-21 18:22)  9U}EVpD  

qwFn(pK[  
好的！

解决吸收，保证材料充分氧化

补充氧气，稳定真空度

APC功能上就是压力控制仪， 一般和离子源或者MFC（流量质量控制器）配合使用，用来稳定镀膜真空度维持氧气分压的 ,*lK4?v  
0?`#ko7~d