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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   A2Tw<&Tw(  
    ;wD)hNLAvR  
    2. 建模任务 !!y a  
    =R\]=cRbg  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    dqAw5[qMJ  
    c`Wa^(  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    w*Ihk)  
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) j|Q-*]V  
    <-0]i_4sK  
     t g/H2p^Y  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) =w^M{W.w  
    mV m Gg,  
     oXS}IL og'  
    9>$p  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) v8D C21pb  
    B1Oq!k  
     'ig'cRD6N  
    CQ2jP G*py  
    6. 3D仿真与结果对比 <6=c,y  
    Vz[C=_m  
     8EEuv-aeo  
    "I TIhnE  
    7. 走进VirtualLab Fusion nF/OPd  
    aN=B]{!  
     ze;KhUPRm  
    RT5T1K08I  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 1nOCQ\$l  
    y3ikWnx  
    Np)lIGE  
     构造光栅结构 1&$ nVQ  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] &~w}_Fjk  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] *owU)  
     计算光栅结构内部的场分布 ,=N.FS  
    $wU\Js`/S]  
     u-C)v*#L  
    iyog`s c  
    9. VirtualLab Fusion技术 ]cruF#`%  
    w*MpX U<  
    G#1GXFDO{  
     
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