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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   gxN>q4z  
    Ut;`6t  
    2. 建模任务 X_]rtG  
    VG);om7`PD  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    uMJ \  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    BDT L5N  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 93>4n\  
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     rZ~w_DK*  
       2yZr!Rb~*  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) E5w;75,  
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     )S caT1I  
    <h/%jM>9/  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) >2'"}np*  
    ?13qDD:  
     Cf 2@x  
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    6. 3D仿真与结果对比 wI$ a1H  
    wDJ`#"5p{  
     ilA45@  
    9 r!zYZ`)  
    7. 走进VirtualLab Fusion Xw-[Sf]p  
    # ]7Lieh[5  
     FACw;/rW  
    j3gDGw;  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 Bqq=2lj  
    #c^V %  
    x HRSzYn$  
     构造光栅结构  c0oHE8@  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] *doNPp)m  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] ={qcDgn~C  
     计算光栅结构内部的场分布 c0qp-=^&.  
    5(3O/C{?~  
     xN1P#  
    7>FXsUt_  
    9. VirtualLab Fusion技术 p+VU:%.t  
    9iA rBL"  
    ZJYn[\]  
     
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