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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   u=_bM2;~Z  
    /k4^&  
    2. 建模任务 7.w *+Z>z  
    ] P:NnKgK  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    8MYLXW6  
    UE}8Rkt  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    P5yJO97  
    {[YqGv=fF  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) BLl%D  
    c,3'wnui  
     Tx|SAa=V  
       _mIa8K;  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Fi?U)T+%+  
    yDu yMt#  
     M~d+HE   
    A{DIp+  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) CS^ oiV%{s  
    \]L::"![?  
     pXpLL_  
    P%<aGb4  
    6. 3D仿真与结果对比 tu?Z@W/  
    +l[Z2mW  
     L V[66<T  
    I>YtWY|ed  
    7. 走进VirtualLab Fusion Z=e[ !c  
    p[af[!  
     >Rl0%!  
    CA~em_dC  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 h;4y=UU  
    ^5FJ}MMJf  
    zezofW]a  
     构造光栅结构 % +t  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] Tv*1q.MB  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 0,"n-5Im  
     计算光栅结构内部的场分布 mCC:}n"#  
    QXIbFv  
     "FLD%3l  
    ]|((b/L3  
    9. VirtualLab Fusion技术 X d19GP!  
    #um1?V  
    -Z/6;2Q  
     
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