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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   <K!5N&vh  
    q:sDNj)R\  
    2. 建模任务 F^b C!;~x  
    NhQIpzL)  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    B[7|]"L@  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ~a m]G0  
    c/ %5IhX?  
     t$=FcKUV}f  
       cAC2Xq  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) awuUaE  
    NWPL18*C  
     dj4 g  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) >|SB]'C|  
    ERQ a,h/  
     d$)'?Sf]h  
    !3Fj`Oh  
    6. 3D仿真与结果对比 d}tn/Eu?B  
    =" K;3a`GI  
     VHVU*6_w  
    LA$uD?YA  
    7. 走进VirtualLab Fusion B5Rmz&  
    T_Q/KhLU  
     R[ S*ON  
    _v4TyJ  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程  w_G/[R3  
    m s\:^a  
    evsH>hE^  
     构造光栅结构 ?6Cbx6  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] {y<[1Pms  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] l)D18  
     计算光栅结构内部的场分布 |GE3.g  
    w<j6ln+nM  
     =O1CxsKt6  
    mU:C{<Z  
    9. VirtualLab Fusion技术 ,HS\(Z  
    F0:Fv;  
    5b9_6L6  
     
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