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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   bhD-;Y!6;  
    }aOqoi7w  
    2. 建模任务 @A6iY  
    N~]qQ oj,  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    d*|RFU  
    fuj9x;8X0  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    pT=^o  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 6-\Mf:%B  
    >\K=)/W2  
     Y-})/zFc  
       2Rw<0.i|  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) d3znb@7  
    3m& r?xZs  
     2D%2k  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) !%$[p'  
    Y*@7/2,  
     T"P}`mT  
    9X*Z\-  
    6. 3D仿真与结果对比 X_'tgP9  
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     (LsVd2AbR  
    tC'#dU`=qY  
    7. 走进VirtualLab Fusion 2W0nA t  
    P]m{\K  
     s YTJ^Kd  
    KK 7}q<&i  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 @MibKj>o  
    D,=~7/g  
    z(c8]Wu#  
     构造光栅结构 I+Fy)=DO9  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 274j7Y'  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] a)W|gx6Y  
     计算光栅结构内部的场分布 ,]\cf  
    r3x;lICx-  
     o.r D  
    ue3 ].:  
    9. VirtualLab Fusion技术 k-&<_ghT \  
    #qVvh3#g  
    ,62~u'hR5  
     
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