在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 &JI8]JmU) uRr o?m< 2. 建模任务 Ue~CwFOc k)Qtfj}uij 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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xK\d4" xUistwq 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) iW /}#
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Tyf`j,= fsWTF<Y 6. 3D仿真与结果对比 hFl^\$Re
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OH(waKq2I .=jay{ 7. 走进VirtualLab Fusion pD#rnp>WWt
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E)obE uGEfIy 2 8. VirtualLab Fusion的工作流程 ah+iZ}E%
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构造光栅结构 r
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- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] d,n 'n
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] wT8DSq
计算光栅结构内部的场分布 g~A`N=r;h
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