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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   XYz,NpK  
    SH .9!lQv  
    2. 建模任务 ORUWsl Mt  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    !%SdTaC{T  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) }S'I DHla  
    K0d-MC   
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       G1`mn$`kq  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Z"teZ0H  
    .=.yZ  
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    fvAh?<Ul  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) j1'xp`jgv  
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    6. 3D仿真与结果对比 g=8|z#S  
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     @lb=-oR!~  
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    7. 走进VirtualLab Fusion >Hd~Ca>  
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     n?<# {$  
    UUdu;3E=5  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 r'mnkg2,  
    >oM9~7f  
    wiK@o$S-  
     构造光栅结构 r| 6S  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 7?n* t  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] Z~-T0Ab-  
     计算光栅结构内部的场分布 "w:\@Jwu(  
    e)ZyTuj  
     =F^->e0N  
    ~PU1vbv9T  
    9. VirtualLab Fusion技术 9TbS>o  
    q/d5P  
    dy8In%  
     
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