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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   BX >L7n  
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    2. 建模任务 1t  R^  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) uZ+bo&  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) U2 *ORd  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 0fsVbC  
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    6. 3D仿真与结果对比 or]v]*:~l  
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    7. 走进VirtualLab Fusion YF5}~M ymF  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 kaBjA*  
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     构造光栅结构 ( S[z  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] w~66G  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] @62T:Vl  
     计算光栅结构内部的场分布 G3.aw  
    x?h/e;  
     gaF6 j!p  
    hG1:E:}  
    9. VirtualLab Fusion技术 *8}b&4O~  
    ?.~1%l!  
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