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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   A)o%\j  
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    2. 建模任务 ,6^V)F  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ::G0v  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 'tzN.p1O  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ]AdL   
    ,[ M^rv  
     yDBMm^  
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    6. 3D仿真与结果对比 V']1j  
    cP(is!  
     4>I;^LHn  
    PsoW:t  
    7. 走进VirtualLab Fusion nM&UdKf3  
    .ID9Xd$fky  
     1 gx(L*y,  
    5_Opx=  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 $ &fm^1  
    _'DZoOH|VE  
    @ Yzj  
     构造光栅结构 Av^<_`L :  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] wDS(zG   
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 3k?|-js  
     计算光栅结构内部的场分布 \{M/Do:  
    ]k.'~ Syz  
     >qjV(_?F-  
    e` D?x1-  
    9. VirtualLab Fusion技术 j+>&~  
    AwO'%+Bv  
    lC(g&(\{  
     
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