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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   Ir!2^:]!  
    `0Yt1Z&  
    2. 建模任务 xIM8  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    =x=1uXQv5  
    c/b%T  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    EbG_43SV  
    a_Z.J3  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) -T2~W!  
    +d@v AxP  
     sk~za  
       TG4\%S$w  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ~^^!"-  
    2IKxh  
     9cVn>Fb  
    FTbT9   
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) / c +,  
    =]!8:I?C<  
     DhY;pG,t  
    kSLSxfR  
    6. 3D仿真与结果对比 L.SDMz  
    X QI.0L"  
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    7. 走进VirtualLab Fusion 5JQd)[Im  
    )3k)2XF  
     K.:6YXVs<  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 F(T=WR].o  
    ;6DR .2}?>  
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     构造光栅结构 N5:D8oWWXR  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] /uy&2l  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] F@>w&A ~K  
     计算光栅结构内部的场分布 OwNAN  
    )v*v  
     K?z*3^^X;  
    W)6U6  
    9. VirtualLab Fusion技术 ,\|n=T,  
    NTv#{7q  
    "U/NMGMj  
     
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