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在 LTPS 制造过程中,使用自对准掩模通过离子注入来金属化有源层。当通过 TRCX 计算电容时,应用与实际工艺相同的原理。工程师可以根据真实的 3D 结构提取准确的电容,并分析有源层离子注入前后的电位分布,如下图所示。 -P!_<\q\l 5X^bvW26 a|B^% CRs gR) &mebpEHUG7 2I!STP{ !l (a)FIB /+pPcK z0ULB?*" HA}pr6Z (b) 掺杂前后对比 q7id?F}3&
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