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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 wz6e^ g  
    KJ pM?:  
    fDbs3"H Q  
    2'pxA:  
    灵活地导出制造数据： 0/] @#G2  
    - 平滑的界面 9`09.`U9[  
    - 量化界面 K5 w22L^=+  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ^i:%;oeG  
     @H{$,\\  
    亮点 d3n TJX  
     导出各种表面形状的制造数据 {z.}u5N  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 8Q6il-  
         ;W+.]_$6)T  
    ;#Mq=Fr-SG  
    一般界面的制造数据 8n&",)U  
    +Z{ 4OJK  
    C %EQ9Iq6r  
    }.T$bj1B;V  
    支持文件格式： Q&F@[k  
    - 纯文本 1W/= =+%I  
    - ASCII码 1eb1Lvn  
    - 点云 cAktSoF  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） N!Y'W)i16  
     wh~~g qi9  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ; 9'*w=V  
    Zn9w1ev  
    采样高度剖面的STL导出 DF&C7+hO  
    txL5' mK  
    Bj]0Cz  
    H=yD}!j  
    量化界面的GDSII导出 2%@j<yS  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 !P:hf/l[B  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 F^ Q  
    2r* o  
     
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