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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 T>hrKn.!D:  
    ))%f"=:wt  
    bN\;m^xfu  
    A` ~R\j  
    灵活地导出制造数据： 2$OV`qy@?  
    - 平滑的界面 J`]9 n>G  
    - 量化界面 1=Kt.tuf  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 7{Lp/z%r  
     "XQ3mi`y  
    亮点 iE EP~  
     导出各种表面形状的制造数据 z]2MR2W@X  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 S{m:Iij[;  
         g`z;:ao  
    .mHVJ5^:4\  
    一般界面的制造数据 \G#_z|'dN  
    O _ C<h  
    Gf +>Aj U'  
    KE.O>M ,I.  
    支持文件格式： CcTdLq  
    - 纯文本 3$?nzKTW\  
    - ASCII码 -%Rw2@vU  
    - 点云 6B|OKwL  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） `Ez8!d{MD8  
     IL`LI J:O  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） znB+RiV8  
    ch2m Ei(  
    采样高度剖面的STL导出 {)iiu  
    1M.#7;#B3  
    Egz6rRCvg  
    '>ASr]Q  
    量化界面的GDSII导出 #zv&h`gY  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 w~_ycY.e  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 Vm?#~}T  
    \2!.  
     
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