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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 t XbMP  
    U?WS\Jji3!  
    kuQ+MQHs  
    8c1ma  
    灵活地导出制造数据： 4ayZ.`aK  
    - 平滑的界面 /'g/yBY  
    - 量化界面 )C1ihm!7\  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 v 7g?  
     P { 8d.  
    亮点 :m{;<LRV  
     导出各种表面形状的制造数据 v}>5!*  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 l ;fO]{  
         HW"';M%  
    u A=x~-I  
    一般界面的制造数据 C7hJE -  
    vgyv~Px]AW  
    :JI&ngWK  
    MODi:jsl  
    支持文件格式： }zE Qrfl  
    - 纯文本 an<loL W  
    - ASCII码 F?3zw4Vt~  
    - 点云 Ln3<r&&Jz  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） sf(2~BMQI  
     N H$!<ffz  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） *D_pFS^l  
    )e|n7|} $  
    采样高度剖面的STL导出 {0?]weN*  
    NZaMF.  
    wq6.:8Or-]  
    %s(Ri6R&  
    量化界面的GDSII导出 {i!@C(M3  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 kbR!iPM-;  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 |GqKa  
    VW%eB  
     
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