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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 %S2^i3  
    ;T6x$e  
    C9`J6Uu  
    6@2 S*\&  
    灵活地导出制造数据： X)tf3M {J@  
    - 平滑的界面 JpFfO<uO  
    - 量化界面 gx*rxid  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 k>N >_{\  
     h7EKb-@  
    亮点 -RSPYQjz  
     导出各种表面形状的制造数据 u)DhkF|  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 |kUxTe  
         0S{dnp  
    /p=9"?  
    一般界面的制造数据 I^5T9}>Q  
    gD[Fkq$]  
    E%f;Z7G  
    g' xR$6t  
    支持文件格式： !_EaF`oh(  
    - 纯文本 q*<Fy4j  
    - ASCII码 P&ig.Og*  
    - 点云 ed,w-;(n~  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） S<hj6A  
     ]aqHk  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） <By6%<JTn  
    :?Xd&u0){  
    采样高度剖面的STL导出 &IQp&  
    +&W%]KEh  
    {|}tp<:2  
    _L6WbRu|  
    量化界面的GDSII导出 H$:Z`CQt<  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 GP %83T  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ,1\nd{  
    k~(j   
     
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