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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 )?pnV":2Y  
    J4@-?xj=\q  
    cL][sI  
    EWQLLH"h  
    灵活地导出制造数据： _EJPI  
    - 平滑的界面 c=zSq%e   
    - 量化界面 T#wG]DH;  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 v\_\bT1  
     IUNr<w<  
    亮点 q^?a|l  
     导出各种表面形状的制造数据 g> ~+M  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 r=~K#:66  
         p_X{'=SQ1  
    FBbaLqgVF{  
    一般界面的制造数据 sN2m?`?"G  
    -m@PqJF^  
    E@yo/S  
    7?{y&sf  
    支持文件格式： %V+"i_{m  
    - 纯文本 SN]g4}K-  
    - ASCII码 k>7bPR5Mw  
    - 点云 }2iR=$2  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Js vdC]+  
      !Q*w]  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） >\w]i*%  
    3 ^K#\*P  
    采样高度剖面的STL导出 A^#\=ZBg1  
    v/=\(  
    #9Ect@?N0  
    f*xr0l  
    量化界面的GDSII导出 L`X5\D'X  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 SOn)'!g  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 vZ811U~}  
    ?$T^L"~  
     
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