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任务说明 ~v(M6dz~vk (=tF2YBV C`~4q<W' 0CVsDVA 灵活地导出制造数据: ?)o4 Kt'h - 平滑的界面 Hs`#{W{. - 量化界面 ))69a - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 nh&J3b}B! %)hIpxOrX 亮点 b}?@syy8 导出各种表面形状的制造数据 )"c]FI[} 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 c>WpO Z, Gg pQ]rw si!9Gz; 一般界面的制造数据 JU=\]E@8c 'oHOFH9:{b >[%.h(h/% 6[3Ioh 支持文件格式: 0O['-x - 纯文本 qfP"UAc{/ - ASCII码 V.QzMF"o - 点云 B[/['sD - CAD格式(例如,STL,IGES) zEPx bHQKRV STL导出平滑界面(例如Asphere) >upXt? 77&^$JpM 采样高度剖面的STL导出 qnk,E- xlPcg7 <;,S"e Va/@#=,q] 量化界面的GDSII导出 B:A1W{l 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ?4,*RCaI 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 6|9g4@Hy o~.o^0Y
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