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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 ^R :zma  
    u^Ktz DmL  
    m$hkmD|  
    lqO>Q1_{K  
    灵活地导出制造数据： eHIcfp@&  
    - 平滑的界面 (7&b)"y  
    - 量化界面 6#qt%t%?D  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 &Cm]*$?  
     oLq N  
    亮点 ~e)"!r  
     导出各种表面形状的制造数据 j B1ZF#  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Lr d-  
         ; bHS^  
    ,h/l-#KS  
    一般界面的制造数据 sk:B; .z  
    O0_RW`69  
    #Jp|Cb<qx  
    (F3R!n  
    支持文件格式： ^qVBgBPb  
    - 纯文本 A@:U|)+4  
    - ASCII码 SjF(;0k C  
    - 点云 |TQ4:P1T  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） %<p/s;eu  
     W4P+?c>'2  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） @Jqo'\~&  
    a2]ZYY`R7  
    采样高度剖面的STL导出 0S&J=2D!  
    G^.tAO5:f  
    YdIZikF#  
    0V86]zSo  
    量化界面的GDSII导出 1_;{1O+B  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 mH\2XG8nV  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 o=Mm=;H  
    v046  
     
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