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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
    19911
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 &|]GTN`E  
    d2~*fHx_!  
    ~-J!WC==U  
    :}B=Bk/q  
    灵活地导出制造数据： H^TU?vz} <  
    - 平滑的界面 W%&gvZre.  
    - 量化界面 p+.xye U(  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 r(qw zUI  
     Qq7%{`< }  
    亮点 ;#)vw;XR  
     导出各种表面形状的制造数据 ":I@>t{H*  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 s@$SM,tnn  
         V7S[rI<<r  
    )(/Bw&$  
    一般界面的制造数据 UM(`Oh8  
    ;#/Uo8  
    7=wPd4  
    p~A6:"8s`=  
    支持文件格式： +|K/*VVn`  
    - 纯文本 S\poa:D`  
    - ASCII码 [<nmJ-V  
    - 点云 S Bo i|  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） bxc!x>)  
     R9q9cB i3  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 7*MjQzg-P  
    hy}n&h  
    采样高度剖面的STL导出 :OKU@l|  
    LLV1W0VO=P  
    77/j}Pxh  
    IM(=j  
    量化界面的GDSII导出 4#Rq}/h  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。  qDK\MQ!  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 xXQW|#X\  
    L?&Trq7i  
     
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