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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 ,m<YS MKX  
    `2 <:$]  
    Xd+H()nR  
    jUm-!SK}q  
    灵活地导出制造数据： Hi09?AX  
    - 平滑的界面 -{0Pq.v  
    - 量化界面 E /H%q|q  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Rv&"h_"t  
     bJ_rU35s>  
    亮点 `9r{z;UQ  
     导出各种表面形状的制造数据 U"7o;q  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 t,9+G<)>H  
         =c@hE'{  
     Lw\u{E@  
    一般界面的制造数据 YcA. Bn|as  
    ^i8,9T'=  
    h*VDd3[#  
    "0!h- bQN  
    支持文件格式： %<>:$4U@]  
    - 纯文本 I#MPJ@*WT  
    - ASCII码 %"f85VfZ  
    - 点云 5b:1+5iF-  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ZhY{,sy?QO  
     zls^JTE  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） -4x! #|]  
    M Z"V\6T]  
    采样高度剖面的STL导出 !kSemDC  
    aA4RC0'  
    vNw(hT5750  
    9Vm aB  
    量化界面的GDSII导出 nDvfb* \  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 G Uu8 N  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 / <(|4e  
    :z8/iD y  
     
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