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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 #Kb /tOp1  
    gNEcE9y 2  
    7Jlkn=9e:  
    3Cj)upc  
    灵活地导出制造数据： AI2XNSV@Yl  
    - 平滑的界面 X8*g#lO?  
    - 量化界面 p{L;)WTI  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 -!XG>Z  
     Lyhuyb)k5^  
    亮点 Z i6s0Uck  
     导出各种表面形状的制造数据 -US:a8`  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 vntJe^IaFd  
         \!\:p/f  
    _<c"/B  
    一般界面的制造数据 Xd+H()nR  
    vR\E;V  
    {\(G^B*\  
    *|=D 0  
    支持文件格式： t.ulG *  
    - 纯文本 8Q Try%  
    - ASCII码 jg?UwR&  
    - 点云 aLh(8;$  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） )5b_>Uy  
     X_2N9$},  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） fv7VDo8vb  
    4fKvB@O@.  
    采样高度剖面的STL导出 uU 7 <8G  
    %k#+nad  
    q8$t4_pF  
    j~N*TXkC  
    量化界面的GDSII导出 ATkd#k%S  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 $L^%*DkM  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 fo,0NxF9  
    9Q1%+zjjMq  
     
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