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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 o!aLZ3#X  
    $& cz$jyY  
    D(y+1^>  
    vU=9ydAj?  
    灵活地导出制造数据： ,:D=gQ@`  
    - 平滑的界面 A /q2g7My  
    - 量化界面 ^4c,U9J=  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 96(R'^kNX  
     %'Zc2h&z  
    亮点 r55qmPhg  
     导出各种表面形状的制造数据 ' |&>/dyq  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 :.*HQt9N  
         `NBbTQtgO  
    95=g Y  
    一般界面的制造数据 !Eq#[Gs  
    WfTD7?\dw  
    t)YUPDQ@J  
    rh@r\ H@j  
    支持文件格式： Zp?4uQ)[W  
    - 纯文本 F\a]n^ Y  
    - ASCII码 >~_J q|KBB  
    - 点云 S]}}A  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Q"40#RFA  
     9A~>`.y  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） GL1'Zo  
    kw*)/$5]  
    采样高度剖面的STL导出 nqT>qS[Z  
    &5?G-mn  
    AXs=1  e  
    >R!"P[*  
    量化界面的GDSII导出 3UdU"d[75  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ]*qU+&  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 / s,tY74'5  
    nX|Q~x]  
     
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