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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 <HW2W"Go\  
    2+YM .Zl  
    i~DLo3  
    EF6"PH+J@  
    灵活地导出制造数据： b]Lp_t  
    - 平滑的界面 hZO=$Mm4p  
    - 量化界面 cbx( L8  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 f1Gyl  
     _#E@& z".L  
    亮点 _cc9+o  
     导出各种表面形状的制造数据 !xC IvKW  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 i"M$hXO  
         hQJ-  ~  
    "4QD\k5  
    一般界面的制造数据 Z#_VxA>]v  
    7/c9azmC  
    YksJ$yH^  
    vo'{phtF)M  
    支持文件格式： z]Mu8  
    - 纯文本 uI&<H T?  
    - ASCII码 X;p4/ *U  
    - 点云 JsQmn<Yt  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） q;qY#wD@  
     n@| &jh  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） x;>~;vmi  
    %-, -:e  
    采样高度剖面的STL导出 ,OaPrAt-  
    2sqNTuO6,|  
    )XL}u4X  
    rXg#_c5j  
    量化界面的GDSII导出 y@Ga9bI7  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 hj-#pL-t  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 [n;GP@A ]R  
    o;Ma)/P  
     
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