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任务说明 t XbMP U?WS\Jji3! kuQ+MQHs 8c1ma 灵活地导出制造数据: 4ayZ.`aK - 平滑的界面 /'g/yBY - 量化界面 )C1ihm!7\ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 v
7g? P
{8d. 亮点 :m{;<LRV 导出各种表面形状的制造数据 v}>5!* 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面
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;fO]{ HW"';M% u A=x~-I 一般界面的制造数据 C7hJE- vgyv~Px]AW :JI&ngWK MODi:jsl 支持文件格式: }zE
Qrfl - 纯文本 an<loLW - ASCII码 F?3zw4Vt~ - 点云 Ln3<r&&Jz - CAD格式(例如,STL,IGES) sf(2~BMQI NH$!<ffz STL导出平滑界面(例如Asphere) *D_p FS^l )e|n7|} $ 采样高度剖面的STL导出 {0?]weN* NZaMF. wq6.:8Or-] %s(Ri6R& 量化界面的GDSII导出 {i!@C(M3 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 kbR!iPM-; 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 | GqKa VW%eB
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