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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 i@ 86Ez  
    m6Qm }""  
    Iv u'0vF  
    m @)Ya*=<  
    灵活地导出制造数据： Z!4B=?(  
    - 平滑的界面 O(:/ &`)  
    - 量化界面 e+?;Dc-SJ\  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 f>m ! }F:  
     UMHFq-  
    亮点 <S12=<c?'  
     导出各种表面形状的制造数据 Hr \vu`p$  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 K 28s<i`  
         &G?w*w_n  
    jY ;Hdb''  
    一般界面的制造数据 *o<|^,R  
    :w7?]y6~S  
    lbh7`xCR  
    MOm+t]vq1  
    支持文件格式： b{ tp qNm~  
    - 纯文本 4y $okn\}i  
    - ASCII码 biU ?>R  
    - 点云 G}aM~,v  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） '}q/;}ih  
     V5 Gy|X  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） t&IWKu#  
    3.rl^Cq1  
    采样高度剖面的STL导出 7_eV.'h  
    XMaw:Fgr  
    V=Z%y$1Bc  
    N5tFEV'G  
    量化界面的GDSII导出 HaF&ooI5+  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 fr8';Jm  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 /)4Q%Zp  
    Qh]k)]+*|  
     
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