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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 ;>QK}#'  
    [jtj~]&mO  
    fi-&[llg  
    d= T9mj.@  
    灵活地导出制造数据： =-1^K  
    - 平滑的界面 7]HIE]#  
    - 量化界面 DT7-v4Zd  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 q%=7<( w  
     v,x%^gv0  
    亮点 J?,!1V=  
     导出各种表面形状的制造数据 PUFW^"LV  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 :0TSOT9.  
         @T~#Gwv  
    GWkJ/EX  
    一般界面的制造数据 scPq\Qd?O  
    7+Jma!o  
    2zrWR%B  
    /xm} ?t0U  
    支持文件格式： %N_S/V0`  
    - 纯文本 }RP9%n^  
    - ASCII码 5\*wX.wp  
    - 点云 0.+Z;j  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） K&a]pL6D  
     RxDxLU2kt  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） d=5}^v#4  
    g J[q {b  
    采样高度剖面的STL导出 >J75T1PH=  
    '>WuukC  
    0 f#a_  
    jiB>.te  
    量化界面的GDSII导出 qu~"C,   
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 :M?')  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 $^+KR]\q  
    fOjt` ~ToI  
     
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