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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 t2qWB[r  
    W#^p%?8pR  
    v^ 1x}  
    x o72JJ  
    灵活地导出制造数据： b+BX >$  
    - 平滑的界面 U"Z %_[*  
    - 量化界面 ]`}EOS-Q  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 5zt5]zl'  
     6|1#Prj  
    亮点 ^{g+HFTA@  
     导出各种表面形状的制造数据 Z3iX^  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 *yW9-(  
         =[Tf9u QY  
    Ll^9,G"Tt  
    一般界面的制造数据 dW#l3_'3T  
    u_$Spbc]/  
    O[ ^zQA  
    >JN[5aus  
    支持文件格式： oXqx]@7  
    - 纯文本 L/O:V^1  
    - ASCII码 puGy`9eKv1  
    - 点云 E8We2T[^M  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ,E4qxZC(X  
     >Wj8[9zf  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） [_p&,$z8[  
    ' @j8tK  
    采样高度剖面的STL导出 l,Ixz1S3e  
    _\FA}d@N  
    oc&yz>%q  
    Pu!%sGjD  
    量化界面的GDSII导出 55`cNZ  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 q5~fU$ ,  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 jt",\%j  
    ivi&;  
     
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