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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 z6B#F<h  
    /uR/,R++  
    [iO8R-N8d  
    l.g.O>1   
    灵活地导出制造数据： :06.b:_  
    - 平滑的界面 [kxOv7a  
    - 量化界面 R6;#+ 1D  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 z'1%%.r;FM  
     *2vp2xMA@  
    亮点 W,80deT  
     导出各种表面形状的制造数据 0T(+z)Ki  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 -$g~,dIwj  
         T"X]@9g^-  
    4]p#9`j  
    一般界面的制造数据 (=c,b9cb  
    @Y.r ,q  
    jC}HNiM78  
    d2gYB qag  
    支持文件格式： &&LB0vH!J  
    - 纯文本 ='qVwM['  
    - ASCII码 I 2OQ  
    - 点云 dy5}Jn%L  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） $$o(  
     ~QPTs1Vk8  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ;Sg.E 8  
    x6!Q''f7  
    采样高度剖面的STL导出 BaIuOZ@,  
    )wD/<7;  
    olxxs(  
    gCG #?f  
    量化界面的GDSII导出 6dz^%Ub  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 emrA!<w!W  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 #Y   
    YtWw)IK  
     
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