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任务说明 `r.N Qi|?d7k0 {kG;."S+K \)GR\~z0h 灵活地导出制造数据: {9{J^@ @ - 平滑的界面 GWh|FEqUbf - 量化界面 ReqE?CeV - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 %(NN*o9"q m9b(3 亮点 i0i`k^bA 导出各种表面形状的制造数据 O'Am
RJ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 %xh?!s|G( cl2ze >DS}#'N4l 一般界面的制造数据 .J:;_4x #rq?f EFv4=OWB "_oLe;?$c 支持文件格式: U[Nosh)hu\ - 纯文本 F%y{%
C7l - ASCII码 'M
lXnHxt - 点云 )?9\$^I - CAD格式(例如,STL,IGES) jB/V{Y#y9@ cyHhy_~R STL导出平滑界面(例如Asphere) >OTl2F}4 ! E7gL~4I 采样高度剖面的STL导出 +|M{I= 8 6,3}/hgWJ$ ^K/G 5 `_0)kdu 量化界面的GDSII导出 _Z0\`kba+ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 'me:Zd 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 z2ds8-z CJ:uYXJJ:z
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