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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 !P!|U/|c  
    LE Y Y{G?  
    [<sBnHbvQ.  
    Ac.z6]p  
    灵活地导出制造数据： XY| -qd}A  
    - 平滑的界面 I#Tl  
    - 量化界面 k- sbZL  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ii*Ty!Sa  
     $XI5fa4Tt  
    亮点 \Rp)n=|  
     导出各种表面形状的制造数据 yg2~qa:dZ  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 @ec QVk  
         m`9)DsR N  
    |l ~BdP  
    一般界面的制造数据 .#h ]_%  
    |U^ ff^]  
    ){>;eky  
    (cYc03"  
    支持文件格式： ?k_=?m  
    - 纯文本 5H 1(C#|  
    - ASCII码 ~9oS~fP?I  
    - 点云 } 2)s%  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） eOn,`B1  
     (p14{  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） %e%nsj6  
    o D* '  
    采样高度剖面的STL导出 6XQ)Q)  
    Y=3Y~  
    ]hvB-R16f  
    :M3l#`4Q  
    量化界面的GDSII导出 w.l#Z} k  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 u'K<-U8H  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 59^@K"J  
    O~,^x$v e  
     
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