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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 @u,+F0Yd  
    EPc!p>  
    Z.!g9fi8>  
    m7JPH7P@BM  
    灵活地导出制造数据： g^1r0.Sp{8  
    - 平滑的界面 cv3L&zg M  
    - 量化界面 d-~vR(tU  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 p~h4\ .*`  
     sp|q((z{  
    亮点 xJ-*%'(KZ  
     导出各种表面形状的制造数据 D/Rv&>Jh  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 l{8CISO*  
         ASR-a't6  
    JfMJF[Mb  
    一般界面的制造数据 C5Xof|#p|  
    Qh^R Ax  
    XJUEwX  
    g^jJ8k,7(  
    支持文件格式： d>&\V)E  
    - 纯文本 A^-iHm  
    - ASCII码 =nzFd-P  
    - 点云 _74UdD{^o  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 6#E7!-u(-  
     L_^`k4ct  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Vc|NL^  
    N r<9u$d9=  
    采样高度剖面的STL导出 3)Zu[c[%'J  
    `|Ey)@w  
    QP:9%f>=  
    `$at9  
    量化界面的GDSII导出 v;Es^ YI  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 >PIPp7C  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 p'}lN|"{O  
    w,Q)@]_  
     
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