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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 [/P}1 c[)U  
    ~s$ jiA1  
    fo$5WTY  
    e*nT+Rp  
    灵活地导出制造数据： '4T]=s~N  
    - 平滑的界面 }3^b1D>2O  
    - 量化界面 MfJs?N0  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ">-mZ'$#L  
     -Hx._I$l  
    亮点 vt(A?$j|A  
     导出各种表面形状的制造数据 7 3 Oo;  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 @i" ^b  
         U]8 @  
    r.JY88"  
    一般界面的制造数据 O8!> t7x  
    1vy*u  
    (Lp$EC&%6  
    Y{Yp N  
    支持文件格式： ~qjnV  
    - 纯文本 ^GS,4[)H  
    - ASCII码 z~Ec*  
    - 点云 =Wgz\uGJ  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ?E6*Ef  
     6+Y^A})(F-  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ! u4'1jd[d  
    Q5!"tF p  
    采样高度剖面的STL导出 0EA<ip  
    xs'vd:l.Pp  
    \W;+@w|c  
    MO1t 0Myc  
    量化界面的GDSII导出 ljS~>&  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 dxz.%a@PW  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 {I]X-+D|_  
    tB,1+I=   
     
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