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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 Xm2\0=v5;  
    @tohNO>  
    ~\p]~qQ\K  
    $yDWu"R8  
    灵活地导出制造数据： xp'_%n~K@  
    - 平滑的界面 ]G.%Ty  
    - 量化界面 'k;4j|<  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 WFR?fDtE  
     XLk<*0t p  
    亮点 ]=rht9),"  
     导出各种表面形状的制造数据 'AGto'Yy;  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 1Q;}z Hd  
         4EI7W,y  
    )C(>H93  
    一般界面的制造数据 I3 =#@2  
    ?SQE5Z  
    T#%/s?_>.  
    mOpTzg@  
    支持文件格式： OV2 -8ERS  
    - 纯文本 #&<)! YY5  
    - ASCII码 cEW0;\$  
    - 点云 vr#+0:|  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） uJx"W  
     8 a!Rb-Q:  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Xdi:1wW@p  
    c0c|z Ym  
    采样高度剖面的STL导出 ]$afC!Z  
    k$ 5 s{q  
    ,y4I[[  
    ?7:KphFX)  
    量化界面的GDSII导出 rrg96WD  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 waX>0e  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 v}@xlB=  
    7*j (*  
     
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