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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 Pe$6s:|NS  
    ,8VU&?`<}  
    (Hp'B))2  
    APSgnf  
    灵活地导出制造数据：  .i/m  
    - 平滑的界面 =8JB8ZFP  
    - 量化界面 YpmYxd^  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 j1U 5~%^  
     J;QUPpH Z  
    亮点 0(\+-<  
     导出各种表面形状的制造数据 xeA#u J  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 SvuTc!$?  
         WES#ZYtT  
    4s.]M>Yb  
    一般界面的制造数据 r`M6!}oa  
    l-)B ivoi  
    s"~5']8  
    {1Eu7l-4  
    支持文件格式： wij,N(,H  
    - 纯文本 !a-b6Aa  
    - ASCII码 W>-B [5O&[  
    - 点云 WlVl[/qt  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） nzsl@1s  
     m7jA ,~O  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） i*[n{=*l@  
    l54 m22pfv  
    采样高度剖面的STL导出 P~ 0Jg# V  
    6 "gj!/e  
    M0'v&g  
    3YL l;TP_  
    量化界面的GDSII导出 7&%^>PU7  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 %,V YiW0  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 [~mGsXV  
    LJTo\^*  
     
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