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任务说明 Y.r+wc] Z/;aT -N bbyg8;/ ox (%5c)b| 灵活地导出制造数据: %1$,Vs<RH - 平滑的界面 xlg9TvvI - 量化界面 igR";OQk - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 [1
9,&]z 7x4PaX( 亮点 w:Kl6"c 导出各种表面形状的制造数据 46&/gehr 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 *ppffz s}% M4 7VF LJrt 一般界面的制造数据 9 j9TPyC/2 OH(waKq2I '(L7;+E [mGLcg6Fw 支持文件格式: nK%LRcAs - 纯文本 "~C,bk - ASCII码 3x'|]Ns - 点云 5S--'=fu+ - CAD格式(例如,STL,IGES) 7Da` b?QoS|<e? STL导出平滑界面(例如Asphere) _8_R 1s [e}]}t8m 采样高度剖面的STL导出 'u |c HqT#$}rv <;Zmjeb+# 9e,0\J 量化界面的GDSII导出 [}0haTYc4 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 -fHy-Oh 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 Y^EcQzLw 4
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