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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 D0MW~Y6{  
    AMO{ee7Po  
    .|TF /b]  
    \q24E3zS&  
    灵活地导出制造数据： vq-;wdq?2  
    - 平滑的界面 qK~]au:C  
    - 量化界面 -%K}~4J  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 "{3|(Qs  
     {a9.0N:4  
    亮点 Tu,nX'q]m  
     导出各种表面形状的制造数据 ~Ga{=OM??  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 4!-R&<TLve  
         P3Ah1X7W"C  
    `krVfE;_O  
    一般界面的制造数据 r(_Fr#Qn  
    /^I!)|At  
    ; TwqZw[.  
    /[ Rp~YzW  
    支持文件格式： olXfR-2>1  
    - 纯文本 oYJ<.Yxeb  
    - ASCII码 %.Kr`#lCr  
    - 点云 lL5*l,)To  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） qzLD  
     s$0dLEa9  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 9;`hJ!r  
    7uF @Xh  
    采样高度剖面的STL导出 -~H "zu`  
    m6 Y0,9  
    1|>bG#|  
    +JXn   
    量化界面的GDSII导出 J9y}rGO  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 MU:v& sk  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ~3-+~y=o~  
    R? N+./{  
     
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