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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    5119
    光币
    19911
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 n`p/;D=?  
    ;.7]zn.X]2  
    4hW:c0  
    x #t?`  
    灵活地导出制造数据: *]ME]2qP  
    - 平滑的界面 y 48zsm{  
    - 量化界面 e?;  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 %4w#EbkSS  
    }U**)"  
    亮点 9/O\769"'  
     导出各种表面形状的制造数据 9<5ii  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 kMg[YQ]OC  
         |Rb8 / WX  
    zvT8r(<n}  
    一般界面的制造数据 /L` +  
    % xBQX  
    5E2T*EXSh  
     xC2y/ ?  
    支持文件格式: ,N8SP 'R  
    - 纯文本 :*J!  
    - ASCII码 5w</Ga  
    - 点云 kuv+TN  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) cZAf?,>u  
    BuS[(  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) H WFnIUv  
    m4G))||9Q  
    采样高度剖面的STL导出 >eX9dA3X  
    HyIyrUrYW  
    B8zc#0!1  
    I%CrsEo  
    量化界面的GDSII导出 P#AS")Sj  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 i \@a&tw  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 JY$;m3h  
    l@>@2CB  
     
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