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任务说明 n`p/;D=? ;.7]zn.X]2 4hW:c0 x#t?` 灵活地导出制造数据: *]ME]2qP - 平滑的界面 y 48zsm{ - 量化界面 e?; - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 %4w#EbkSS }U**)" 亮点 9/O\769"' 导出各种表面形状的制造数据 9<5ii 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 kMg[YQ]OC |Rb8/WX zvT8r(<n} 一般界面的制造数据 /L` + %
xBQX 5E2T*EXSh xC2y/? 支持文件格式: ,N8SP
'R - 纯文本 :* J! - ASCII码 5w</Ga - 点云 kuv+ TN - CAD格式(例如,STL,IGES) cZAf?,>u BuS[( STL导出平滑界面(例如Asphere) H
WFnIUv m4G))||9Q 采样高度剖面的STL导出 >eX 9dA3X HyIyrU rYW B8zc#0!1 I %CrsEo 量化界面的GDSII导出 P#AS")Sj 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 i \@a&tw 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 JY$;m3h l@>@2CB
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