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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 RHxd6Gs"  
    PyoLk  
    ~UnfS};U  
    3lJK[V{'#'  
    灵活地导出制造数据： (*EN!-/  
    - 平滑的界面 H$;\TG@,  
    - 量化界面 /oI ''O%M  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 R 'F|z{8  
     w8E,zH  
    亮点 \KEL.}B9E  
     导出各种表面形状的制造数据 lRrOoON  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 |`|b&Rhu  
         ~5|a9HV:  
    ":Q70*xSm  
    一般界面的制造数据 >ko;CQR  
    Kb}N!<Z*  
    $lv  g.u  
    WgIVhj  
    支持文件格式： YONg1.^!(  
    - 纯文本 DJbj@ 2W[  
    - ASCII码 Y}Ov`ZM!r  
    - 点云 T7,tJk,(  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） g5cR.]oz  
     _E~uuFMn*R  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） MDlC U  
    X0lIeGwrQ  
    采样高度剖面的STL导出 c(~M<nL0  
    \!%3giD5!  
    d<whb2l  
    o;O_N^_W  
    量化界面的GDSII导出 `*slQ }i  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 X@cV']#V  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 bXJE 2N  
    -H]svOX  
     
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