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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 : ]JMsa6  
    qXprD.; }  
    /H?) qk  
    FwE<_hq//  
    灵活地导出制造数据： !eHQe7_  
    - 平滑的界面 E]Q d5l  
    - 量化界面 FKtG  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 rR4?*90vjj  
     c!kzwc(  
    亮点 SJ}PV:x  
     导出各种表面形状的制造数据 y*Gq VA[  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ba tXj]:  
         (M?VB*sm0  
    ki'<qa  
    一般界面的制造数据 )EK\3q  
    4d_Az'7`4  
    HXN. ,[  
    33ZHrZ  
    支持文件格式： ;Kh[6{W  
    - 纯文本 G?^w <  
    - ASCII码 1@N4Y9o  
    - 点云 DoNN;^H  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ujn7DBE"  
     3!h3flE  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） de9e7.(2  
    ]5Q)mWF  
    采样高度剖面的STL导出 {`Z= LLL  
    l*Q OM  
    iA|n\a~ny,  
    BM9:|}\J65  
    量化界面的GDSII导出 qYPgn _  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 sDvy(5  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 V#B'm?aQ  
    iOk`_LG#  
     
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