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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 UsQ4~e 4-  
    dQb.BOI)h  
    }-@4vl x$  
    1l8Etp&<  
    灵活地导出制造数据： Thr*^0$C  
    - 平滑的界面 pS[KBQ"F  
    - 量化界面 nZy X_J,Vd  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 T]T;$  
     c+dg_*^  
    亮点 b;GD/UI  
     导出各种表面形状的制造数据 Pw0Ci  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 <3okiV=ox  
         =gh`JN6  
    ]@^coj[  
    一般界面的制造数据 oU6y4yO  
    5 BtX63  
    Jb["4X;h  
    xI*#(!x"G  
    支持文件格式： wJ<Oo@snm  
    - 纯文本 vhuw &.\  
    - ASCII码 zTbVp8\pI  
    - 点云 ,Gk}"w  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） U`|0 jJ  
     cbYLU\!  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 8qEK+yi,  
    8 ho[I]  
    采样高度剖面的STL导出 f:B>zp;N  
    '3IC*o"  
    `qVjwJ!+  
    'CZa3ux  
    量化界面的GDSII导出 X>YsQrK(ig  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 in`aGFQO  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 U$dh1;  
    eM7Bc4V  
     
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