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任务说明 *~shvtq fM7B<eB TukhGgmF ej@4jpHQN 灵活地导出制造数据: <5}I6R; - 平滑的界面 9#:fQ!3` - 量化界面 nW"O+s3 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 OylUuYy~j ]Idwy|eG 亮点 HcJ!( 导出各种表面形状的制造数据 pfHjs3A= 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 bGL} nPo |LZ{kD| d~r A`!s7` 一般界面的制造数据 sR>>l3H Yl>Y.SO Zi+F IQ( u"(NN9s 支持文件格式: hnB`+! - 纯文本 !-^oU" - ASCII码 kP+,x H)1 - 点云 ^67}&O^1 , - CAD格式(例如,STL,IGES) 9
@ < B>>_t2IU STL导出平滑界面(例如Asphere) NJgu`@YoI IqFcrU$4 采样高度剖面的STL导出 cZ|NGkZ `ovMfL.u "qF/7`e[ du$M 量化界面的GDSII导出 )W
p7e51 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 p7-\a1P3 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 3IQI={:k|D xWXLk )A
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