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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 *VP-fyJp  
    PUU "k:{  
    \sSt _|+  
    x/<eY<Vgm?  
    灵活地导出制造数据： [Yi;k,F:  
    - 平滑的界面 u0o}rA  
    - 量化界面 -za+Wa`vH  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 g-4m.;  
     .eNeq C  
    亮点 .=kXO{>  
     导出各种表面形状的制造数据 k}0Y&cT!rU  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 \ #yKCA';  
         zUQn*Cio e  
    O4+a[82  
    一般界面的制造数据 \me'B {aa  
    EC:u;2f!  
    /QgU!:e  
    ;2&ym)`  
    支持文件格式： 8@)4)+e  
    - 纯文本  cFV)zFu  
    - ASCII码 'joc8o sS  
    - 点云 #M)S Ae2  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） )j_Y9`R  
     8kRqF?rbj  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） m9Pzy^g1  
    )<~v~|re  
    采样高度剖面的STL导出 ?=},%^  
    gP 13n!7  
    rLKwuZ  
    a,/wqX  
    量化界面的GDSII导出 jYxmU8  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 "0V8i%a  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ^e~m`R2fHh  
    LQo>wl  
     
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