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任务说明 ^t{2k[@ x&SG gl ogrh" Fuuy_+p@G 灵活地导出制造数据: 8IX,q - 平滑的界面 a$r<%a6 - 量化界面 L93&.d@m9 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Jbrjt/OG#I _RHB ^y;- 亮点 u\9t+wi}< 导出各种表面形状的制造数据 pSvqGJU3 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 fi6i{(K 5A~lu4-q cR0OJ'w 一般界面的制造数据 -J$,W`#z {xzs{)9|Y4 ~$O.KF: &r)i6{w81 支持文件格式: dP0%<Q| - 纯文本 ,a&&y0, - ASCII码 :Rq>a@Rp - 点云 YF]W<ZpY - CAD格式(例如,STL,IGES) I}&`IUP f`dQ $Kh STL导出平滑界面(例如Asphere) ve [*t ` z,"fr%*,N 采样高度剖面的STL导出 ?Z]5
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\1grM 0KQDw tocZO 量化界面的GDSII导出 hd@ >p. 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 1m52vQSo3l 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 oY#62&wk4 zuq7 x7
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