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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 ^t{2k[@  
    x&SG gl  
    ogrh"  
    Fuuy_+p@G  
    灵活地导出制造数据: 8I X,q  
    - 平滑的界面 a$r<%a6  
    - 量化界面 L93&.d@m9  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Jbrjt/OG#I  
    _RHB ^y;-  
    亮点 u\9t+wi}<  
     导出各种表面形状的制造数据 pS vqGJU3  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 fi6i{(K  
         5A~lu4-q  
    cR0OJ'w  
    一般界面的制造数据 -J$,W`#z  
    {xzs{)9|Y4  
    ~$O.KF:  
    &r)i6{w81  
    支持文件格式: dP0%<Q|  
    - 纯文本 ,a&&y0,  
    - ASCII码 :Rq>a@Rp  
    - 点云 YF]W<ZpY  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) I}&`IUP  
    f`dQ $Kh  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) ve [*t`  
    z,"fr%*,N  
    采样高度剖面的STL导出 ?Z ]5 [  
    X \1grM  
    0KQDw  
    tocZO  
    量化界面的GDSII导出 hd@ >p.  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 1m52vQSo3l  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 oY#62&wk4  
    zuq7 x7  
     
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