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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 bud&R4+  
    kuMKX`_  
    |\9TvN^$`  
    _t>"5s&i  
    灵活地导出制造数据： |Ul,6K@f"5  
    - 平滑的界面 zc+@lJy  
    - 量化界面 !PUZWO  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Zj9c9  
     uGH?N  
    亮点 QfpuZEUK  
     导出各种表面形状的制造数据 &9[P-w;7u  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 IQ!Fv/I<  
         GF<[}  
    Qd`T5[b\  
    一般界面的制造数据 &)9{HRP  
    J ++v@4Z  
    al^!,ykc  
    gBw^,)Q{0Y  
    支持文件格式： i775:j~zx0  
    - 纯文本 $W8Cf[a  
    - ASCII码 z!wDpG7b  
    - 点云 /Ft:ffR|R  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） .K8w8X/3  
     B;#J"6w  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） s95F#>dr  
    :py\ |  
    采样高度剖面的STL导出 ~f>2U]F>5  
    s|yVAt|=  
    _k66Mkd#b  
    " {de k  
    量化界面的GDSII导出 PD[z#T!'  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ~qVz)<  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 C"uahP[Y  
    Sr Ca3PA  
     
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