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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 !5t 3Y  
    ~')t1Ay s  
    :Xh`.*{EX  
    rd4'y~#S  
    灵活地导出制造数据： )m;qv'=!  
    - 平滑的界面 l?_!eA  
    - 量化界面 q.km>XRk~  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 q|l|mO  
     -GVG1#5  
    亮点 [qMdOY%jx  
     导出各种表面形状的制造数据 Q.dy $`\  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Q9tE^d+%  
         =c^=Yvc7U  
    ;I71_>m  
    一般界面的制造数据 $50"3g!Y  
    z}2e;d 7  
    q%Jy>IXt  
    4,ynt&  
    支持文件格式： `h5eej&s(  
    - 纯文本 ~U6YN_W  
    - ASCII码 v/.h%6n?  
    - 点云 o 0ivja  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） m>dcb 6B+g  
     05I39/T%  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） e`M]ZG rr  
    8'WMspX  
    采样高度剖面的STL导出 AeCG2!8^0  
    T&"dBoUq>G  
    *oX]=u&  
    `R52{B#&/  
    量化界面的GDSII导出 P`I G9  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Rue|<d1  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 1za'u_  
    rnv7L^9^A  
     
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