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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 T4Z("  
    Mz]LFM  
    cJ:BEe  
    "DWw1{ 5/  
    亮点 : M0LAN  
    z[qM2  
     [.z1  
    ~"Ek X  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) m{Q{ qJ5>  
     严格分析光栅衍射效率 @R}L 4  
     考虑入射光的方向分布 G`|mP:T:o  
    OAw/  
    说明:光源 e5fJN)+a  
    S%&l(=0X  
    \ox:/-[c\<  
    uK(+WA  
    说明:光束分束器 pfAp2"  
    Jc9SHCJ  
    9FK:lFGD  
    ?\hXJih  
    说明:检测透镜系统 @u6#Tvxy[  
    #D//oL"u]  
    s'\"%~nF<  
    94nvh:n  
    说明:微型晶片 cx_"{`+e  
    *N'B(j/  
    "cJ5Fd:*  
    shn`>=0.&  
    说明:检测物镜 L/nz95  
    lt0(Kf g  
    :Fj4YP"  
    8Yq6I>@!  
    说明:探测器 &B3\;|\  
    Y!&dj95y  
    S2jo@bp!  
    |BYD]vK  
    结果:3D光线追迹(只有0级) %q>gwq A  
    Iob o5B  
    ,b{G(sF  
    F>*w)6 4~  
    结果:3D光线追迹(所有级) 5W<BEcV\  
    B0Z*YsbXL  
    UQW;!8J#R(  
    i-E&Y*\^9H  
    结果:光线追迹 , st4K;-  
    TqbKH08i/  
    ,u]kZ]  
    fngZ0k!  
    结果:场追迹 \mc~w4B[)3  
    y'pG'"U]_  
    3Q`'C7Pi  
    hr6f}2  
    结果:线性偏振光的场追迹 M5)6|T  
    Nt/*VYUn  
    pM VeUK?  
     
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