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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 O a-Z eCq  
    #a}fI  
    T(3"bS.,  
    S' TF7u  
    亮点 GHYgSS  
    Kr]F+erJe  
    M^g"U`  
    `n5|4yaG~  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) &x;v&  
     严格分析光栅衍射效率 <=jE,6_|  
     考虑入射光的方向分布 nC[L"%E|se  
    m_(+-G  
    说明:光源 Z8nNZ<k  
    2} 509X(*  
    c&F"tLl  
    oD!72W_:  
    说明:光束分束器 H;IG\k6C  
    7,Z%rqf\)  
    WERK JA  
    &XgB-}^:  
    说明:检测透镜系统 pD`7N<F 3  
    r6MQ|@  
    dwJ'hg  
    =@{H7z(p&  
    说明:微型晶片 n*bbmG1  
    my*UN_]  
    Ld+}T"Z&M>  
    5O*. qp?  
    说明:检测物镜 l'-iIbKX  
    =%$ _)=}J  
    SDdK5@1O4o  
    yrkd#m  
    说明:探测器 e&]XiV'  
    wf8vKl#Kfw  
    `iQyKZS/+  
    d!w32Y,.  
    结果:3D光线追迹(只有0级) QGLfZvTT  
    M,cI0i  
    yUEUIPL  
    n;O 3.2  
    结果:3D光线追迹(所有级) !|Vjv}UO  
    Ak>RLD25_  
    T<p>:$vo  
    Ct"h.rD]  
    结果:光线追迹 iFga==rw  
    i,* DWD+  
    vxbO>c   
    d![EnkyL;  
    结果:场追迹 ScM2_k`D  
    /Q{Jf+>R>  
    tTQ>pg1{qh  
    Vs9fAAXS4  
    结果:线性偏振光的场追迹 Q"QrbU  
    S}*#$naK  
    J+Y&a&j.  
     
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