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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 V1G]LM  
    #C`!yU6(  
    _xUXt)k  
    1"k@O)?JP  
    亮点 oCrn  
    r4sR5p]|  
     ?cvv!2B]T  
    @b zrJ 7$  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） gyK"#-/_d  
     严格分析光栅衍射效率 Q7\Ax0  
     考虑入射光的方向分布 WA/\x  
    &,/T<V  
    说明：光源 ^cNP ?7g7  
    dXj.e4,m  
    /d4xHt5a  
    4$^=1ax  
    说明：光束分束器 i469<^A  
    kLhtkuS4  
    Tla*V#:Ve  
    jd{J3s '%  
    说明：检测透镜系统 MouYZI)  
    =h)H`  
    0[];c$r<  
    Du/s  
    说明：微型晶片 J}x5Ko@  
    -=RXhE_{  
    o kYsjK5  
    Uu(W62  
    说明：检测物镜 pkoHi'}}$  
    ihnM`TpMJ  
    }&j&T9oX  
    %>.v[d1c  
    说明：探测器 s|%</fMt9  
    2'_sGAH  
    4c% :?H@2  
    S4_Y^   
    结果：3D光线追迹（只有0级） U:>O6"  
    P(4[<'H O  
    Hq9(6w9w  
    !|!V}O  
    结果：3D光线追迹（所有级） |'.SOm9)*  
    s)V^_@Z 9  
    &ke4":7X  
    v=4TU \b%  
    结果：光线追迹 "FU|I1Xz  
    *<@  
     ZG>OT@ GA  
    | @YN\g K;  
    结果：场追迹 >|s=l`"Xz  
    |J\/U,nh  
     W1OGN4`C  
    T \AuL  
    结果：线性偏振光的场追迹 SbZk{lWcq  
    *<hpq)  
    6k[u0b`  
     
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