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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 `<IT LT  
    kYBTmz} z  
    _+0l+a*D  
    Ko6 tp9G  
    亮点 6U;pYWht  
    <>GWSW  
    ^_b+o  
    q q}EXq^  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) %C=^ h1t%  
     严格分析光栅衍射效率 8 [i#x|`g  
     考虑入射光的方向分布 nd 'K4q  
    KZO!  
    说明:光源 7"F w8;k  
    D+{h@^C9Z  
    C 5QPt  
    2<}^m/}  
    说明:光束分束器 xP 3_  
    >nmby|XtW  
    ,>CFw-Nxu  
    Tz.!  
    说明:检测透镜系统 3/8o)9f.  
    :)}iWKAse  
    :$d3}TjsA+  
    B`OggdE  
    说明:微型晶片 xB:,l'\G  
    uyP)5,  
    a?6 r4u0  
    ]d?`3{h9LD  
    说明:检测物镜 yA*~O$~Y  
    P ETrMu<  
    8r /]Q  
    |RwpIe8~  
    说明:探测器 yrO'15TB  
    9 m&"x/k  
    (:E_m|00;  
    !q~s-~d^  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 4xhV +Y  
    i;xH  
    Woa5Ov!n0  
    UK+;/Mtg  
    结果:3D光线追迹(所有级) "L.)ML  
    ]O',Ei^  
    t ),~w,7(J  
    kH d_q.  
    结果:光线追迹 Zoj.F  
    {g\Yy(r  
    r<V]MwO=  
    8lI#D)}  
    结果:场追迹 H,txbJ  
    Ei Wy`H;  
    R'qB-v.  
    %1SA!1>j  
    结果:线性偏振光的场追迹 S6,AY(V  
    ~\4l*$3(^  
    ZgF-.(GV  
     
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