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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 fpzTv3D=I  
    F'"-4YV>&  
    zgO?%O  
    =e4,)Wd9&  
    亮点 ($3QjH_@  
    rsIjpPa  
     kAAz|dhL-  
    gDA hl  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） wOOPuCw?  
     严格分析光栅衍射效率 m7eO T  
     考虑入射光的方向分布 #)\KV7f! ;  
    "c}b qoN  
    说明：光源 u!F3Rh8D  
    Pukq{/27  
    2;q6~Y,  
    "BTA"  
    说明：光束分束器 ;DRJL   
    rVz#;d!`z  
    F'Wef11Yz  
    DO0["O74  
    说明：检测透镜系统 Gjzhgz--  
    7`P(LQAr!  
     Im#3sn  
    j6Vuj/+}  
    说明：微型晶片 SQEXC*08  
    ]CTu |  
    8sL7p4  
    `]fY9ZDKs  
    说明：检测物镜 R=E )j^<F  
    LDbo  
    te:@F]A  
    zJ#q*2A(Z  
    说明：探测器 j| 257D  
    ] qrO"X=  
    6-<r@{m$  
    %T 88K}?=  
    结果：3D光线追迹（只有0级） -]N/P{=L  
    ~ Iv[  
    M T{^=F ]  
    >SccoI  
    结果：3D光线追迹（所有级） &oAuh?kTq  
    !QYqRH~ 5  
    N<?RN;M  
    PI }A')Nq.  
    结果：光线追迹 /Cwt4.5  
    \b' <q  
     9 =hA#t.#  
    T8ZsuKio]  
    结果：场追迹 rJR"[TTJ  
    vZ|m3;X  
     tdEu4)6  
    :^px1  
    结果：线性偏振光的场追迹 FCOSgEU  
    Tl9_Wi  
    zaX30e:R  
     
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