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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 PkZ1Db  
    ==gL!e{  
    S:Jg#1rww-  
    _Pa@%/  
    亮点 ,3c25.,*  
    Oo-4WqRJ  
    ),y`Iw  
    6V ncr}  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) <#;5)!gr{  
     严格分析光栅衍射效率 -;ra(L`  
     考虑入射光的方向分布 n qx0#_K-E  
    r$-P  
    说明:光源 :VWN/m  
    cH$( *k9%M  
    #H<}xC2  
    J]zhwM  
    说明:光束分束器 W`c$2KS?DO  
    u"%D;  
    CB,2BTtRE  
    I<,~>'cq.  
    说明:检测透镜系统 I Z*)  
    ?Q+*[YEJ5  
    <P ?gP1_zi  
    2xiE#l-V2  
    说明:微型晶片 GA` bWl  
    ;K|K]c  
    9o6[4Q}  
    7HY8 F5Brx  
    说明:检测物镜 )E7wBNV   
    `8#xO{B1  
    y29G#Y4J  
    "#gS?aS  
    说明:探测器 E(_k#X  
    ;I80<SZ  
    ut]UU*g^$  
    u|.|dv'mbp  
    结果:3D光线追迹(只有0级) @$L|   
    6R8>w,  
    BFP@Yn~k  
    6[RTL2&W  
    结果:3D光线追迹(所有级) g:xg ~H2  
    5-k gGOt  
    0%;| B  
    Anpp`>}N  
    结果:光线追迹 trjeGSt&  
    !};Ll=dz  
    /.rj\,  
    6vxRam6[??  
    结果:场追迹 " W{rS4L  
    c+7I  
    \ K}KnJ  
    "'+C%  
    结果:线性偏振光的场追迹  t5S|0/f  
    #Tag"b`  
    '@WBq!p  
     
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