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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 <h7cQ  
    }aVZ\PDg  
    $Iwvecn?I  
    kt/,& oKI  
    亮点 J~k9jeq9  
    l<`>  
    -Z"4W  
    hw^&{x  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) CI'RuR3y]Z  
     严格分析光栅衍射效率 *|fF;-#v  
     考虑入射光的方向分布 hJ}i+[~be  
    '+PKGmRW  
    说明:光源 7MKX`S  
    a[-!X7,IU  
    Wh)D_  
    ;.A}c)b  
    说明:光束分束器 m+TAaK  
    ~zqb{o^pT  
    >NRppPqL  
    J7`mEL>?  
    说明:检测透镜系统 2?JV "O=  
    Z7;V}[wie  
    \#{PV\x:Nn  
    L8VOiK=,  
    说明:微型晶片 ZSC*{dD$E  
    Ax;[Em?I  
    Y}:~6`-jj  
    2B ]q1>a!  
    说明:检测物镜 <+roY"  
    b2m={q(s  
    EhcJE;S)  
    Y2u\~.;oq  
    说明:探测器 y6XOq>  
    R6+)&:Ab{R  
     Aqy w  
    j/O~8o&  
    结果:3D光线追迹(只有0级) cgg6E O(  
    sTM;l,  
    Hr|f(9xA  
    i9;  
    结果:3D光线追迹(所有级) UVo`jb|> o  
    /( Wq  
    p}1i[//S  
    Bm$|XS3cD  
    结果:光线追迹 "o5]:]h)  
    s^h@b!'7  
    Eb8pM>'qM  
    _f1o!4ocx  
    结果:场追迹 Y{YbKKM  
    De?VZ2o9"  
    -'! J?~  
    sh<Q2X  
    结果:线性偏振光的场追迹 $D bnPZ2$  
    J]F&4 O  
    1EyN |m|  
     
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