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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 .@nfqv7{  
    ",gVo\^  
    V(ww F  
    v mkiw1  
    亮点 "OI$PLK  
    2RNee@!JJP  
    2Q@n a @s  
    UQh.o   
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) a9NuYYr,h  
     严格分析光栅衍射效率 ivl %%nY'  
     考虑入射光的方向分布 &4WA/'>R  
    iY@}Q "  
    说明:光源 ;7qzQ{Km  
    JP\jhkn  
    h~ _i::vg  
    zB+e;x f|  
    说明:光束分束器 =2GKv7q$x,  
    <`vXyPA6  
    D Q={  
    xu-bn  
    说明:检测透镜系统 BRu}"29  
    x{w|Hy  
    "u~` ZV(  
    _UkBOJ:G$H  
    说明:微型晶片 Y+23 jlgb  
    #| g h  
    Ofoh4BL'1@  
    Kzq^f=p  
    说明:检测物镜 !WlL RkwO  
    xE--)=<$  
    mpwh=  
    ,Q Ge=Exn  
    说明:探测器 4NaT@68p  
    1nvT={'R  
    Er@xrhH  
    [N4N7yF  
    结果:3D光线追迹(只有0级) v.:Q& ]  
    rBL2A  
    S\I+UeFkf  
    Gb[J3:.  
    结果:3D光线追迹(所有级) 5GJkvZtFY  
    l> H'PP~  
    j&S.k  
    *HV_$^)=  
    结果:光线追迹 c%b|+4 }x  
    J#@+1 Nt  
    G2!<C-T{2  
    pQ7elv]  
    结果:场追迹 N|)e {|k  
    94 6r#`q  
    jYAm}_?No  
    jb/C\2U4)  
    结果:线性偏振光的场追迹 d<=!*#q;o  
    3My}u>  
    _f>)G3p  
     
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