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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 YO#M/%^j  
    gGvz(R: y  
    vmi+_]   
    H]P. x!I  
    亮点 * ;-*x6  
    ;t'5},(FP  
    < nXL  
    cU RkP`  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ATJWO 1CtB  
     严格分析光栅衍射效率 R_(tjkT  
     考虑入射光的方向分布 TBs|r#  
    RdWRWxTn8+  
    说明:光源 V E#Wb7  
    _+p4Wvu~0  
    Mxe}B'  
    ?QsQnQ  
    说明:光束分束器 gaQdG=G8$  
    7_%"BVb"  
    4F)-"ck  
    ZNJ@F<  
    说明:检测透镜系统 $Oq^jUJ  
    uPhK3nCGo  
    ,3?Q(=j  
    3XL#0\im?s  
    说明:微型晶片 x8wD0D  
    OPwtV9%  
    (^s>m,h  
    XJ;D=~  
    说明:检测物镜 ZU85P0  
    4y)P>c  
    -- PtZ]Z  
    p rYs $j  
    说明:探测器 lH-/L(h2  
    ?6yjy<D)$e  
    q'|rgT  
    Yb +yw_5  
    结果:3D光线追迹(只有0级) sA/pVU  
    $AfM>+GQ`n  
    0C1pt5K  
    G]D+Sl4<7i  
    结果:3D光线追迹(所有级) g>Y|9Y  
    d^RxQuA  
    cU;iUf  
    #,,d>e  
    结果:光线追迹 ~$ng^D  
    *-MM<|Qt  
    IzsphBI  
    8WtsKOno  
    结果:场追迹 61. Brp.eP  
    QOjqQfmM;  
    {wO3<9  
    :axRoRg  
    结果:线性偏振光的场追迹 |k+8<\  
    ]4~lYuI4  
    b@rVo;  
     
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