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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 VKl,m ;&N  
    u-t=M]  
    w\acgQ^%e  
    !CUl1L1DSi  
    亮点 L]H'$~xx*  
    [*^.$s(  
     ]UkH}Pt'3  
    D+3?p  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） &^"Ru?MK  
     严格分析光栅衍射效率 %PYO9:n  
     考虑入射光的方向分布 U`q keNd  
    4CF;>b f~  
    说明：光源 !G-+O#W`  
    T&_&l;syA  
    _li3cXE  
    +r3)\L{U  
    说明：光束分束器 >Bb X:  
    euB1}M  
    BuV71/Vb{Q  
    J _O5^=BP  
    说明：检测透镜系统 W^[FWFUTY  
    3:x(2 A  
    }n==^2  
    %Xd*2q4*  
    说明：微型晶片 ^xa, r#N:V  
    ZRxOXt&;  
    0#8   
    P+j=]Yg  
    说明：检测物镜 0SL{J*S4[#  
    49MEGl;K0\  
    @PvO;]]%  
    :/T\E\Qr  
    说明：探测器 zL yI|%KH  
    XYo,5-  
    5!F;|*vC8  
    ,s~l; Gkj  
    结果：3D光线追迹（只有0级） wD9K\%jIr!  
    R])Eg&  
    `NW/Z/_  
    }YDi/b7  
    结果：3D光线追迹（所有级） [7@ g*!+d  
    i5}Zk r  
    |R9Lben',  
    ;MS.ag#  
    结果：光线追迹 |Vpp'ipr  
    C^ )Imr  
     vXDs/,`r  
    [Fr](&Tx  
    结果：场追迹 ~n]5iGz  
    *?X&Y8Kf  
     DU!T#H7  
    fUjo',<s  
    结果：线性偏振光的场追迹 E`fG9:6l]  
    ,sL'T[tuiU  
    [inlxJD  
     
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