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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 "otP^X.  
    !NZFo S~  
    q#c\  
    (LkGBnXE  
    亮点 "e@JMS  
    <+ >y GPp  
    \b{=&B[Q$'  
    Rb',"` 7  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) !sK{:6s  
     严格分析光栅衍射效率 KokmylHu  
     考虑入射光的方向分布 xud =(HLl  
    p@YU7_sF^!  
    说明:光源 !E4YUEY 6  
    83OOM;'  
    3' mQ=tKa  
    pN1W|Wv2  
    说明:光束分束器 EX|Wd|aK  
     G\ru%  
    ,K,n{3]  
    @0-<|,^]  
    说明:检测透镜系统 OqHD=D[  
    ?.,..p  
    NIQNzq?a^  
    w)5eD+n\-  
    说明:微型晶片 3{]csZvW  
    1vx:`2 A4  
    u\Tq5PYXt  
    f*aYS  
    说明:检测物镜 Bd31> %6  
    O{%yO=`r  
    ||0mfb  
    B14z<x}Q  
    说明:探测器 EO:i+e]=  
    [qI, $ +  
    6zaO$  
    '>@ evrG  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ")i4w{_y  
    Fnzv&  
    >E^sZmY[f-  
    s1?N&t8c  
    结果:3D光线追迹(所有级) mXAX%M U  
    P I)lJ\  
    ?FA} ;?v  
    18zv]v %  
    结果:光线追迹 ]wc'h>w  
    Cevl#c5p>  
    =j#uH`jgW  
    |zKFF?7#wE  
    结果:场追迹 +%UfnbZ  
    +A>>Ak|s  
    f)Z$ ,&  
    L(fOe3 v  
    结果:线性偏振光的场追迹 3ktjMVy\  
     |'aGj  
    bLhTgss](  
     
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