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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 Pfan7fq+  
    -9-fX(I  
    mHs:t{q  
    LdEE+"Jw  
    亮点 a D|Yo  
    W4vBf^eC  
    8*Zvr&B,G  
    JIV8q HC  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) } yq  
     严格分析光栅衍射效率 J"&y |; G  
     考虑入射光的方向分布 NvHN -^2  
    8 u:2,l  
    说明:光源 x'i0KF   
    WG%2<Q^  
    6"%2,`Nu  
    Qlh?iA  
    说明:光束分束器 S@A<6   
    xA-jvu9@  
    } 07r  
    TQ-KkH}y  
    说明:检测透镜系统 3EOyq^I%  
    UABbcNW  
    ^c'f<<z|7r  
    x4 hO$3o  
    说明:微型晶片 mz-N{>k  
    !NA`g7'  
    (&c,twa~  
    24X=5Aj  
    说明:检测物镜 {aIZFe}B  
    4if\5P:j  
    ^U{P3 %uZ  
    ;qb Dbg  
    说明:探测器 Tzf$*Uje3  
    cNeiD@t3V&  
    l7~Pa0qD  
    )f[C[Rd  
    结果:3D光线追迹(只有0级) D2$^"  
    8})|^%@n  
    i'iO H|s  
    UOJ*a1BM  
    结果:3D光线追迹(所有级) e# <4/FR  
    v^\JWPR/  
    hpas'H>J  
    pJocI_v9  
    结果:光线追迹 &t_A0z  
    ?-S8yqe  
    6+ ?wnp-  
    Nuo^+z E   
    结果:场追迹 FvAbh]/4  
    y,V6h*x2  
    |+u+)C  
    #)FDl70S8  
    结果:线性偏振光的场追迹 %fBP:5%K  
    \Vz,wy%-  
    HmW=t}!  
     
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