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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 *Q=-7a m  
    8s8q`_.)(  
    fh$U"  
    [OG-ZcNu?  
    亮点 k_V1x0sZ  
    =YA%= d_  
     =Cs$0aA  
    /(n)I  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） R2Tvo?xI7  
     严格分析光栅衍射效率 3D\.S j%  
     考虑入射光的方向分布 ~2@U85"o  
    T'XAcH  
    说明：光源 f]T1:N*t  
    G+[>or}  
    R ;5w*e}?5  
    \+GXUnkj  
    说明：光束分束器 DJ} xD&G  
    #2yOqUO\  
    !nVX .m9  
    a,cDj  
    说明：检测透镜系统 nS?HH6H  
    |BH, H  
    rA*,)I_v@  
    l0D.7>aj  
    说明：微型晶片 Z+t?ah00  
    Xki/5roCQ|  
    eV9:AN}K=  
    l$m^{6IYc  
    说明：检测物镜 w?M*n<) O  
    =q xcM+OX1  
    ' 1P_*  
    QH\*l~;B\  
    说明：探测器 (!X:[Ah*$  
    |w~zh6~  
    5tq$SF42X  
    yvDzxu  
    结果：3D光线追迹（只有0级） SVq7qc9K?  
    Ur&: Rr  
    _%zU ^aE  
    iUI,r*  
    结果：3D光线追迹（所有级） y_$^Po  
    *y(2BrL>  
    eA4*Be;9e  
    n+uq|sYVa  
    结果：光线追迹 )0}obPp  
    H8\{ GGg  
     $ @1&G~x  
    y Fp1@*ef  
    结果：场追迹 bjT0Fi0-  
    8#Z$}?W  
     +'#d*r91@  
    =Fj : #s  
    结果：线性偏振光的场追迹 ?J6hiQvL  
    Jb tbW &EH  
    !Aw.f!  
     
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