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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 PN%zIkbo  
    Y>z>11yEB0  
    BU)U/A8iS  
    D>r&}6<  
    亮点 Z3e| UAif  
    Rr$-tYy6  
    nbp=PzZy  
    u]wZQl#-  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) R+:yVi[F]U  
     严格分析光栅衍射效率 )6MfRw  
     考虑入射光的方向分布 )CYGQMK  
    _RYxD"m y  
    说明:光源 jwe*(k]z  
    }v;V=%N+v  
    P;y45b  
    mM~qBrwL  
    说明:光束分束器 0 JS?;fk  
    ' {OgN}'{  
    M7\szv\Zc=  
    234p9A@  
    说明:检测透镜系统 ;>hO+Wo  
    ldcqe$7,  
    YDsb3X<0'  
    ^6x%*/l|  
    说明:微型晶片 PQt")[  
    uCvj!  
    EP&,MYI%E  
    KkyVSoD\  
    说明:检测物镜 tFn)aa~L  
    HWAdhDZ  
    s+Pq&<nV-  
    +^ac'Y)A  
    说明:探测器 ,,.QfUj/&  
    v"$L702d$\  
    Q}JOU  
    Kn{4;Xk\  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 2"Q|+-Io  
    h&iC;yj=  
    Ny7S  
    "{+QW  
    结果:3D光线追迹(所有级) s[*rzoA  
    0o4XUW   
    8rGgF]F  
    $Wol?)z  
    结果:光线追迹 qq`4<0I>  
    ",t?8465y  
    s^TZXCyF o  
    dDMJ'  
    结果:场追迹 3*bU6$|5FP  
    >uB?rGcM  
    ~/U 1xk%  
    -ad{tJV|  
    结果:线性偏振光的场追迹 ;1=1:S8  
    t+ TdLDJR  
    kazzVK5x  
     
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