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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 nQ~q -=,L  
    in+`zfUJ9  
    &H+<uYV  
    [e^i".  
    亮点 'M'LJ.,"/  
    "t\9@nzdX  
     m",bfZ  
    3QR-8  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Ppp&3h[dW)  
     严格分析光栅衍射效率 /:USpuu  
     考虑入射光的方向分布 1gm{.*G  
    D 3HB`{  
    说明：光源 pEaH^(I*  
    5 + Jy  
    r}5GJ|p0  
    e4`KnHsL  
    说明：光束分束器 <'vM+Lk  
    dkn_`j\v  
    eBN>|mE4N  
    >C&!# 3  
    说明：检测透镜系统 .-34 g5  
    Q@j:b]Y9  
    #UI`G3w<  
    2'}2r ~6  
    说明：微型晶片 4Sl^cKb$7  
    :m~lgb<  
    r-0 7!A  
    4{Ak|  
    说明：检测物镜 *lTu-  
    ;kFp)*i  
    Ip0Zf?  
    @6tx5D?  
    说明：探测器 gI%n(eY  
    D"WkD j"M  
    Bl1I "B  
    DxD0iJ=W  
    结果：3D光线追迹（只有0级） ZuhT \l  
    |% kK?!e+-  
    3z ry %qV=  
    Z:OO|x  
    结果：3D光线追迹（所有级） *Xo f;)Z^  
    axl?t|~I  
    Lr~K3nb  
    d^Wh-U  
    结果：光线追迹 3_>1j  
    0CR;t`M@  
     @rF\6I  
    0t&H1xsxX  
    结果：场追迹 uXC?fMWp.  
    Ue7W&N^E  
     'GyPl  
    &sWyh[`P  
    结果：线性偏振光的场追迹 +Oscy-;  
    i_@RWka<  
    5 6R,+sN  
     
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