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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 *qIns/@  
    /dVcNo3"  
    ,}Ic($ To  
    (G"/C7q  
    亮点 hJ V*  
    o`ODz[04  
     JlH5 <:#PN  
    rf&nTDaWI  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） @|~D?&<\  
     严格分析光栅衍射效率 |qibO \_  
     考虑入射光的方向分布 {y:+rh&  
    )#cGeP A  
    说明：光源 ou&7v<)x4  
    sE(mK<{pk  
    3Q+THg3~?  
    iJu$&u  
    说明：光束分束器 j7Lw( AJ  
    jZ69sDhE  
    &4L+[M{J@4  
    TUd=qnu  
    说明：检测透镜系统 *icxK  
    ';x5 $5k'  
    g\,HiKBXd  
    <QE/p0.  
    说明：微型晶片 4\8k~ #  
    Yr+ghl/ V  
    !1?Nc}T0Q&  
    .aR$ou,7  
    说明：检测物镜 V6 ,59  
    r|7hm:F)  
    UBy:W^\g  
    o"A%dC_  
    说明：探测器 ,b8B)VZ?  
    j6$_U@)%O  
    N+ R/ti  
    *,__\/U98  
    结果：3D光线追迹（只有0级） !7[Rhk7bW  
    +xtR`Y"  
    {mV,bg,}~  
    y#;@~S1W  
    结果：3D光线追迹（所有级） &+t,fwlM  
    xo_Es?  
    $X;fz)u  
    7J2i /m  
    结果：光线追迹 CpICb9w  
    ;H8A"$%n~  
     2myHn/%C  
    TXQ Y&7  
    结果：场追迹 m)?cXM  
    /ZKO\q  
     EGyQ hZ mO  
    #| Et9  
    结果：线性偏振光的场追迹 PDssEb7  
    j^~WAWbFh  
    C"ZCX6p+$  
     
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