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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 }W8;=$jr  
    |O+H[;TB6  
    On.{!:"I/  
    @)M9IOR  
    亮点 [Ek7b *  
    Fb>?1i`RN  
    $G+@_'  
    ,HV(l+k {|  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) e}7lBLK]*  
     严格分析光栅衍射效率 <w9JRpFY  
     考虑入射光的方向分布 @%uUiP0  
    (gU!=F?#m  
    说明:光源 MK~8}x2K  
    j0aXyLNX  
    -20bPiM$A  
     KC6.Fr{  
    说明:光束分束器 wv1iSfW  
    69NeQ$](  
    Vwf$JdK%&l  
     A,<E\  
    说明:检测透镜系统 7U"g3 a)=  
    5H9z4-i x?  
    #A/  
    >T-u~i$s  
    说明:微型晶片 "m8^zg hL  
    CwzZ8.o$i  
    &`r-.&Y  
    9:|{6_Y  
    说明:检测物镜 & h)yro  
    4.aZ# c91_  
    v{N`.~,^  
    *OsQ}onv  
    说明:探测器 Y\P8 v  
    AeM^73t  
    |aS.a&vwR  
    9;u@q%;!k  
    结果:3D光线追迹(只有0级) xm~`7~nFR  
    3jU&zw9  
    k]|~>9eY]  
    s!zx} 5  
    结果:3D光线追迹(所有级)  7xlkZF  
    xLajso1g69  
    :eCwY  
    Pmx -8w  
    结果:光线追迹 v!-pSa)3  
    4F:\-O  
    +3BN}  
    `/+>a8  
    结果:场追迹 };zFJ6I8  
    [|$h*YK  
    ]s'as9s9  
    Bk c4TO  
    结果:线性偏振光的场追迹 YkSl^j[DHs  
    t{9GVLZ  
    #zs~," dRv  
     
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