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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 DbcKKgPn(9  
    iJYr?3nw;  
    vmoqsdZ/  
    9xWrz;tzo  
    亮点 !-QKh aY  
    C?B7xK  
    gFKQm(0g2  
    gQ?k}D  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) DGU$3w  
     严格分析光栅衍射效率 0`x<sjG\q  
     考虑入射光的方向分布 WDZEnauE  
    '1w<<?vX?  
    说明:光源 r[gV`khka  
    {<GsM  
    L+,{*Uj[;  
    PQfx0n,  
    说明:光束分束器 v}!,4,]:&  
    PXkPC%j  
    dlW w=^  
    ENGw <  
    说明:检测透镜系统 _])1P?.  
    H1l' \  
    `S!`=26Z!  
    $Ec;w~e  
    说明:微型晶片 S&VN</p  
    FSM~Rl  
    9Kqr9U--v  
     E5o0^^  
    说明:检测物镜 #[A/zH|xvV  
    5'o.v^l  
    TWn7&,N  
    GJ*AyYG  
    说明:探测器 pZH bj2~  
    3Mdg&~85  
    ^=tyf&"  
    GxvVh71zP  
    结果:3D光线追迹(只有0级) , vky  
    wHAh6lm  
     V C.r  
    P017y&X  
    结果:3D光线追迹(所有级) rz3&khi  
    F`-? 3]\3  
    /aK },+  
    i P/I% D  
    结果:光线追迹 {!-w|&bF  
    v.\&gn(  
    9/nL3U@i1  
    &;y(@e }D  
    结果:场追迹 ] $%{nj<  
    0[PP -]JS  
    e\P+R>i0  
    t rHj7Nw  
    结果:线性偏振光的场追迹 -5Ccuk>6  
    A\=:h  AQ  
    NoPM!.RU{  
     
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