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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 Y*7.3 +#  
    `#l_`j=r$  
    ;>Kxl}+R  
    pWQ?pTh  
    亮点 5B@&]-'~  
    \GPWC}V\s  
    L;v#9^Fq  
    5SK.R;mn  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) A).wjd(_,  
     严格分析光栅衍射效率 8cW]jm  
     考虑入射光的方向分布 w1iQ#.4K_  
    rgOB0[  
    说明:光源 ^LnCxA&QH  
    b9"Q.*c<Z^  
    2P]rJ  
    Pw+cpM 8<  
    说明:光束分束器 L%=u&9DmU  
    EJN}$|*Av  
    aA\v  
    O*c +TiTb  
    说明:检测透镜系统 >pn?~  
    :]?I|.a  
    /oh[ Nu1D  
    %)]{*#N4  
    说明:微型晶片 `+i<:,z-gs  
    g.z/%Lp K  
    AC 3 ;i  
    m:K/ )v*  
    说明:检测物镜 1vQ*Br  
    ]Wfnpqc^  
    ;[%AeN5W  
    cp]\<p('A  
    说明:探测器 V<(cW'zA/  
    Z(CzU{7c  
    :5p`H  
    bY]aADv\  
    结果:3D光线追迹(只有0级) KZ&8aulP  
    ^F_c'  
    %m{h1UQQ +  
    gX]?`u  
    结果:3D光线追迹(所有级) [_CIN  
    OBu$T&  
    i]YH"t8GY  
    @_0XK)pW  
    结果:光线追迹  rf oLg  
    %~G)xK?W*  
    l8jm7@.E  
    vr2tMD  
    结果:场追迹 3-z57f,}6~  
    | [P!9e  
    l2z@t3{  
    7oK!!Qd^w  
    结果:线性偏振光的场追迹 "){"{~  
    arRb q!mO  
    l g~Gkd6  
     
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