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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 r'Hy}HWuF  
    E`A<]dAoK  
    deR$  
    P@^z:RS*{  
    亮点 M"k3zK,  
    fF8a 1XV  
     \f8P`oET~  
    Dq0-Kf,^  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） a7XXhsZ  
     严格分析光栅衍射效率 z Y$X|= f  
     考虑入射光的方向分布 8o*\W$K@  
    I}6DoLbV  
    说明：光源 %RCl+hOP.h  
    NqQM! B]  
    d~togTs1  
    ak~=[7Nv  
    说明：光束分束器 "N?%mCPI  
    +YGw4{\EL  
    m;;0 Cl  
    *F26}q  
    说明：检测透镜系统 : ;E7+m  
    UFzM#  
    CT$& zEIm  
    .}L-c>o"o  
    说明：微型晶片 2b 6? 9FX*  
    ,7n;|1`  
    C8bGae(  
    F20wf1^  
    说明：检测物镜 zIAu3  
    3/A!_Uc(  
    y V 9]_k  
    mkj;PYa  
    说明：探测器 * zw R=  
    I =tyQ`  
    []2$rJZD9  
    pJ 2:` f<;  
    结果：3D光线追迹（只有0级） AHp830\  
    L|C1C cP  
    8%vh6$s6/  
    . BYKdxa  
    结果：3D光线追迹（所有级） Dr8WV \4@  
    #f|NM7  
    +WU|sAK"  
    `uM0,Z  
    结果：光线追迹 .b_0k<M!p  
    &6,Yjs:T m  
     z^a6%N  
    ]2aYi9)  
    结果：场追迹 oPBg+Bh*  
    dIBKE0`  
     K c2OLz#  
    -$L],q_S^  
    结果：线性偏振光的场追迹 LEn=dU  
    P*0nT  
    HX /GLnY/X  
     
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