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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 9'~qA(=.?  
    .j,xh )v"  
    Hr}"g@ <  
    O \o@]  
    亮点 @V^.eVM\R  
    N#-. [9!  
    O,^s)>c  
    3;}YW^oXq  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) \pK&gdw  
     严格分析光栅衍射效率 7|dm"%@  
     考虑入射光的方向分布 k 75 p  
    (ESFR0  
    说明:光源 -b+)Dp~$p  
    ?uTuO  
    rttKj{7E  
    bL0]Yuh  
    说明:光束分束器 |8k^jq  
    5Y`4%*$  
    }lPWA/  
    MU] F'6V  
    说明:检测透镜系统 o8E<_rei  
    .@mZG<vg  
    RB""(<  
    hr'?#K  
    说明:微型晶片 9%ct   
    n@bkZ/G  
    '#j6ZC/?  
    tZ@&di:-F  
    说明:检测物镜 {*CG&-k2D  
    (?XIhpd  
    \?e2qu/ C  
    ;{iTS sb  
    说明:探测器 qa~ju\jm.  
    fWfhs}_  
    :Zq?V`+M  
    x?0(K=h,  
    结果:3D光线追迹(只有0级) u\xrC\Ka  
    0VR,I{<.{  
    -Tuk.>i)  
    fIx|0,D&7L  
    结果:3D光线追迹(所有级) ?_uan  
    60>g{1]  
    O@H D'  
    ?_S);  
    结果:光线追迹 '5T:*Yh  
    #X!seQ7a  
    5c%Fb :BW=  
    `+TC@2-?  
    结果:场追迹 4^Ks!S>K{8  
    n3/ Bs  
    {}" <  
    O6-';H:I]L  
    结果:线性偏振光的场追迹 <Z]j89wzDZ  
    V*%><r  
    ,FRa6;  
     
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