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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 0E++  
    LV9\  
    ~PS%^zxyn  
    ~~h9yvW7&  
    亮点 *6k (xL  
    .llAiv  
     y<B "  
    t+66kBN  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 8B\,*JGY2  
     严格分析光栅衍射效率 {>5c,L$  
     考虑入射光的方向分布 W>s<&Vb  
    A7ck-9dT/L  
    说明：光源 SkN^ytKE  
    V GM/ed5-  
    IgSe%B  
    >Utn[']~  
    说明：光束分束器 s2&UeYbIs  
    A.y"R)G  
    Qg1LT8  
    {dCkiF  
    说明：检测透镜系统 %lEPFp  
    V$^x]z  
    0(0Ep(Vj  
    *:)#'cenI  
    说明：微型晶片 ZH/|L?Q1U  
    7?p%~j  
    <g,xc)[  
    J6\<>5 A?  
    说明：检测物镜 W@/D2K(  
    <XGOcekG  
    'X{7b <  
    Sd}fse  
    说明：探测器 &V iIxJZ1$  
    k&@JF@_TI  
    nn5S7!  
    C$M^<z  
    结果：3D光线追迹（只有0级） h jW RU#  
    V/J[~mN9  
    T%- F,i  
    Mx0c # d.  
    结果：3D光线追迹（所有级） 1rTA0+h  
    fM \T^X  
    In:h%4>  
    >8 VfijK  
    结果：光线追迹 Oj~k1+*  
    2 R1S>X  
     vqv(KsD+::  
    yu3EPT!~  
    结果：场追迹 hq(3%- 7&  
    cidS/OH  
     (|h<{ -L  
    !(l,+@j  
    结果：线性偏振光的场追迹 &A=d7ASN=  
    |`_TVzA  
    uh`~K6&*\w  
     
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