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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 1V-sibE  
    &t}6sD9o  
    4c<\_\\ck  
    ^(KDtc  
    亮点 cyB2=,  
    1i;Cw/mr  
    zN/nKj: Q  
    dg&GMo  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) G)&!f)6  
     严格分析光栅衍射效率 u24XuSe$  
     考虑入射光的方向分布 =b>e4I@  
    ow;a7  
    说明:光源 oWq]\yT<`  
    U "v=XK)!  
    on 4 $n7  
    )NO ,G  
    说明:光束分束器 dv?t;D@p!  
    5>h/LE]"  
    Qe`Nb4xf  
    x^McUfdr|  
    说明:检测透镜系统 zb.sh  
    q s iV  
    #wJ^:r-c`  
    7Ac.^rv5  
    说明:微型晶片 bjq.nn<=  
    3U*4E?g  
    'N`x@(  
    " "S&zN  
    说明:检测物镜 G`f|#-}  
    #4V->I  
    ~J >Jd  
    O6ltGtF  
    说明:探测器 9H2mA$2jnE  
    r9p ((ir  
    79B+8= K  
    " s/ws  
    结果:3D光线追迹(只有0级) fC/P W`4Ae  
    4@0Z<8Mo  
    q[x|tO  
    1*:BOoYx  
    结果:3D光线追迹(所有级) 5kCXy$"%  
    Rb0{W]opt+  
    (]-RL A>  
    zr wzI+4  
    结果:光线追迹 L%Ms?`i,  
    RtEx WTc  
    <&HHo>rl  
    2#Qw  
    结果:场追迹 L }R-|  
    WA5.qw  
    l0E]#ra"  
    VRg y  
    结果:线性偏振光的场追迹 Gsy'':u  
    67U6`9d  
    ;8b!T -K  
     
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