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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 e/lfT?J\  
    $s.:wc^  
    b!SGQv(^M  
    a*hOT_;#  
    亮点 ntkTrei ]  
    t,= ta{ a  
    bO1J#bcZ  
    ~R-S$qizAC  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) rklr^ e  
     严格分析光栅衍射效率 ,@%1q)S?A  
     考虑入射光的方向分布 ,WA7Kp9  
    @i&LKr8  
    说明:光源 l5Z=aW Q  
    cyA|6Ltg%  
    w_pEup\`  
    k(<5tvd  
    说明:光束分束器 1;3oGuHj8  
    ZT4._|2  
    wx -NUTRim  
    )5gcLD/zI  
    说明:检测透镜系统 lxj_ (Uo  
    =$Sf]L  
    5tHv'@  
    *D #H-]9  
    说明:微型晶片 im9 B=D  
    &>0=v  
    <F+S}!q  
    "5Oog<  
    说明:检测物镜 p.TR1BHw  
    mu)?SGpyE  
    u /JEQz1  
    UoPd>q4Uj  
    说明:探测器 c.6u)"@$  
    Bk a\0+  
    XV1#/@H;  
    vi@a87w>  
    结果:3D光线追迹(只有0级) LdR}v%EH  
    uzG<(Q pu  
    ]0by6hQ  
    iI+kZI-  
    结果:3D光线追迹(所有级) a1 M-F3  
    WqqrfzlM  
    H)t YxW  
    cKh{ s  
    结果:光线追迹 9X,dV7 yW  
    ;[0<QmeI!  
    :-.R*W  
    OgyETSN8C  
    结果:场追迹 ]kbmbO?M  
    ` B) ~  
     ;4 R1  
    IGEf*!  
    结果:线性偏振光的场追迹 6xr$  
    k6ER GQ9|I  
    vrm[sP  
     
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