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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 SFzoRI=qG  
    9[t-W:3c7  
    G>Bgw>#_  
    d*!H&1L  
    亮点 bil>;&h  
    qHrIs-NR  
    5 Bcmz'?!  
    ;J?fK69%  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) KW0KXO06a  
     严格分析光栅衍射效率 WbFCj0  
     考虑入射光的方向分布 KJn 3&7  
    9~,!+#  
    说明:光源 F0m[ls$  
    rI)&.5^  
    yl<=_Q  
    'o_ RC{k2"  
    说明:光束分束器 ^wIP`dn  
    Q1h v2*/U  
    VuBi_v6  
    Kd#64NSi$A  
    说明:检测透镜系统 v@X[0J_8  
    yYC\a7Al4  
    #.j:P#  
    { F0"U=  
    说明:微型晶片 hO3C _}  
    ,! ~U5~  
    sx9[#6~{Y  
    -r_Pp}s  
    说明:检测物镜 QK~>KgVi  
    @S012} xH  
    5o|u!#6  
    ~"~uXNd  
    说明:探测器 QD[l 6  
    $EG<LmC-Q  
    D@mqfi(x  
    BW)t2kR&  
    结果:3D光线追迹(只有0级) (+\K  
    [yAR%]i-7  
    M+Y^A7  
    iL IKrU+`  
    结果:3D光线追迹(所有级) /3vj`#jD  
    *u<@_Oa  
    %ye4FwkRy  
    b~G|Bhxa  
    结果:光线追迹 8j%lM/ v  
    k|^nrjStC  
    6~+?DIc  
    9;c]_zt  
    结果:场追迹 4gm(gY>[  
    T|nN.  
    Y wM;G g3  
    =7("xz %  
    结果:线性偏振光的场追迹 I=`efc]T  
    "2/VDB4!FG  
    W/R-~C e  
     
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