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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 }s}g}t8v-  
    {7NGfzwp;6  
    CXlbtpK2k  
    /DYyl/  
    亮点 8|a./%gixs  
    (`tRJWbdz  
    ScPVjqG2{  
    #oUNF0L@6  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) @R[{  
     严格分析光栅衍射效率 m#7(<#  
     考虑入射光的方向分布 l:85 _E  
    F/>_PH57  
    说明:光源 ^J'_CA  
    FwCb$yE#M  
    uw)7N(os\`  
    Fhoyji4  
    说明:光束分束器 E[H  
    7},A. q  
    )pnyVTKt  
    YDt+1Kw}D  
    说明:检测透镜系统 $<}c[Nm  
    ^t;z;.g  
    )- C3z   
    zzqJeIS  
    说明:微型晶片 }Mc b\+[  
    }r:o8+4  
    x]~TGzS  
    Wa_qD  
    说明:检测物镜 \o9 \i kR  
    dAo;y.3  
    UX 1 )((  
    9Em#Ela  
    说明:探测器 K1B9t{T  
    o2 14V\  
    |c_qq Bd  
    V~J5x >O  
    结果:3D光线追迹(只有0级) &d#R'Z  
    :+rGBkw1m  
    `8:0x?X  
    $pGT1oF[E  
    结果:3D光线追迹(所有级) ]Bw0Qq F#  
    1>!LK_  
    G0cG%sIl  
    Qzi?%&  
    结果:光线追迹 O] _4pP  
    G#M)5'Q]U  
    EE/mxN(<  
    ']]d-~:  
    结果:场追迹 o5<<vvdA  
    l'@-?p(Vuw  
    k ;WD[SV  
    GK(CuwJe  
    结果:线性偏振光的场追迹 P&-o>mM  
    92+8zX  
    6% D9;-N)  
     
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