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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 ShesJj  
    J9-n3o  
    &WNIL13DK  
    $p|Im,  
    亮点 s}F.D^^G  
    m6uFmU*<M}  
    <?>tjCg'  
    A{p_I<  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 0^vz /y1c  
     严格分析光栅衍射效率 $5:I~ -mx  
     考虑入射光的方向分布 :s*t\09V7  
    !bs5w_@  
    说明:光源 #&X5Di[A  
    X-*LA*xbN  
    6UI6E)g  
    H<3:1*E  
    说明:光束分束器 V|G*9^Y  
    a+RUSz;DL  
    )#8}xAjV  
    D-FT3Culw  
    说明:检测透镜系统 vmg[/#  
    vnWt8?)]^  
    g/frg(KF  
    dVg'v7G&V(  
    说明:微型晶片 EM(%|#  
    ++n_$Qug  
    g:Q:cSg<  
    +%H=+fJ2}  
    说明:检测物镜 #jJ0Mxg  
    MOPHu O{^  
    %l,CJd5  
    `A9fanh  
    说明:探测器 h$mGaw vZ~  
    *R}p9;dpO  
    m>|7&l_  
    |8tKN"QG  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 0{ _6le]  
    |ZC'a!  
    +IMt$}7[  
    fR?'HsQg  
    结果:3D光线追迹(所有级) KrR`A(=WL  
    @Ko#nDEq  
    =KAN|5yn  
    F"cZ$TL]  
    结果:光线追迹 qHgzgS7a  
    BNe>Lko  
    \r9E6LL X'  
    5 `@yX[G  
    结果:场追迹 /;vHAtt;f  
    nch#DE8 2  
    el\xMe^SY  
    "_2;+@+  
    结果:线性偏振光的场追迹 J\>/ J%  
    );h  
    ej7L-~lxQ  
     
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