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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 8W-]t1O%!  
    xe(MHNrj  
    =MMCf0  
    >W8bWQ^fK  
    亮点 )*!1bgXQ  
    *I=_*LoG2  
     4$%`Qh>yA  
    j: <t  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） BiA >QQ  
     严格分析光栅衍射效率 &c20x+  
     考虑入射光的方向分布 7k 3p'FeS  
     \C|;F  
    说明：光源 Ip>^O/}$1  
    PT mf  
    2[.5oz`  
    3nwz<P  
    说明：光束分束器 BpH|/7  
    (Ar?QwP9>  
    yHl@_rN sC  
    ?LM:RADCm  
    说明：检测透镜系统 ,SAbC*nq  
    fb /qoZ  
    l#Yx TY  
    'w}p[(  
    说明：微型晶片 3KtAK9PT  
    CP +4k.)*O  
    Hr8\QgD<4  
    YQ52~M0L  
    说明：检测物镜 R3$@N  
    _~PO  
    B jYOfu'~z  
    \kxh#{$z?  
    说明：探测器 "rVU4F)  
    fc3 Fi'^  
    T\jAk+$Jo  
    02,W~+d1  
    结果：3D光线追迹（只有0级） Q ]/B/  
    NJ<N%hcjK  
    D 0  
    #aa1<-&H  
    结果：3D光线追迹（所有级） $1~c_<DN  
    zFOL(s.h|0  
    YtMlqF  
    )qmFK .;%  
    结果：光线追迹 |IAW{_9)U  
    t|.Ft<c#  
     p(.N(c  
    +SyUWoM  
    结果：场追迹 mdaYYD=c%  
    `T=1<Twc  
     #J\s%60pt  
    zLL)VFCJW  
    结果：线性偏振光的场追迹 ]Ym=+lgi  
    XwtAF3oz  
    g*F~8+]Y  
     
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