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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 DAB9-[y+  
    En?V\|,  
    c+9L6}D  
    K^shTh8k  
    亮点 w +t@G`d  
    @1JwjtNk  
    ["Ltqgx  
    RZm%4_p4s  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) udZOg  
     严格分析光栅衍射效率 G@[8P?M=Z  
     考虑入射光的方向分布 6Dlm. ~G  
    f"QiVJq  
    说明:光源 qN)y-N.LI(  
    YAr6 cl  
    d(T4Kd$r  
    cqS :Zq  
    说明:光束分束器 BBB@M  
    $ J`O-"M  
    ;]>kp^C#  
    r~t`H*C)}  
    说明:检测透镜系统 p,Ff, FfH  
    / (&E  
    r ]DiB:.  
    `@~e<s`j  
    说明:微型晶片 sgX!4wG&Z  
    .Pc>1#z&[  
    5p;AON  
    K,E/.Qe\C  
    说明:检测物镜 .+9hm|  
    Dqx#i-L23  
    ,=:K&5mCv  
    gg'1q3OjM  
    说明:探测器 kQ`tY`3F  
    xM*_1+<dT$  
    >XD?zF)6  
    M!UTqf7XL  
    结果:3D光线追迹(只有0级) :!`"GaTy  
    A6N6e\*  
    kRp]2^}\s\  
    Gm=qn]c  
    结果:3D光线追迹(所有级) <n2@;` D  
    p4' .1.@  
    Q]:O#;"<  
    P6:9o}K6  
    结果:光线追迹 D'"  T'@  
    |3*9+4]a  
    IGdiIhH~2  
    n ~t{]if"  
    结果:场追迹 1K72}Gj)ZL  
    C"{^wy{sL  
    g9_zkGc7  
    p=8Qv  
    结果:线性偏振光的场追迹 1|bXIY.J*  
    '%N?r,x C  
    ~P4C`Q1PT#  
     
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