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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 fSF_O}kLp  
    ,GF]+nI89  
    +L|x^ B3  
    46##(4RF  
    亮点 FrC)2wX  
    5=&ME(fmV  
     C2{*m{ D  
    oy-y Q YX  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） \q@Co42n\  
     严格分析光栅衍射效率 0b G#'.-  
     考虑入射光的方向分布 Ao+6^z_  
    :cvT/xhO  
    说明：光源 UC_o;  
    |Iknk,  
    goe %'k,  
    ]P/i}R:  
    说明：光束分束器 zY9CoadZ  
    h S)lQl:^  
    z HT#bP:o  
    ot0g@q[3  
    说明：检测透镜系统 :%_h'9Qq  
    &F:%y(;{Y  
    Kr?<7vMT5  
    C8W_f( i~  
    说明：微型晶片 1~Z   
    vnWt8?)]^  
    (mplo|>  
    2H1 [ oD[  
    说明：检测物镜 tOX -vQ  
    _Q'f^Kj  
    .W\JvPTC  
    OLo?=1&;;  
    说明：探测器 9k \M<jA  
    %l,CJd5  
    `A9fanh  
    w  _4O;  
    结果：3D光线追迹（只有0级） _Wq;bKG  
    +/ {lz8^,  
    |8tKN"QG  
    _0BQnzC=  
    结果：3D光线追迹（所有级） 4V c``Um  
    T"t.t%(8  
    E@EP9X >  
    jGoQXiX  
    结果：光线追迹 \u04m}h]  
    YC$>D? FW  
     #0?3RP  
    Apj[z2nr  
    结果：场追迹 `6RccEm  
    X"vDFE`?  
     M N (o  
    \TYVAt] ?  
    结果：线性偏振光的场追迹 9kwiG7V1  
    EI)2 c.A  
    QeN7~ J  
     
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