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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明  Z/RSZ-  
    *mby fu0q  
    u^, eHO  
    :<hM@>eFn  
    亮点 FN\*x:g  
    \,D>zF  
    *PM#ngLX}r  
    T\q:  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) %vUY|3G  
     严格分析光栅衍射效率 VYbH:4K@%  
     考虑入射光的方向分布 |0OY> 5  
    IK1'" S|  
    说明:光源 f\xmv|8  
    _0}u0fk  
    i]9C"Kw$L  
    u:.w/k%+  
    说明:光束分束器 ia@ |+r  
    s5h}MXIXw  
    ^p)#;$6b  
    z;DNl#|!L  
    说明:检测透镜系统 fYSH]!  
    |P@N}P@  
    ,<k%'a!B  
    z^vfha  
    说明:微型晶片 ox*1F+Xri  
    dIW@L  
    hi`[  
    `J] e.K  
    说明:检测物镜 o%7-<\qS  
    pu~b\&^G  
    ~[%_]/#&%z  
     LAkBf  
    说明:探测器 )pSA|Qt N  
    G9|2 KUG  
    4_kY^"*#"  
    ]~2iducB,  
    结果:3D光线追迹(只有0级) EQN)y27poW  
    'Lq+ONX5  
    ]VL} eHZ  
    ?Z2`8]-E  
    结果:3D光线追迹(所有级) ;4l8Qg 7  
    Idb*,l|<  
    Q3Pu<j}Y  
    ,OWk[0/  
    结果:光线追迹 3Q'vVNFh<  
    l`.z^+!8@  
    ?5FlbiT  
    LaO8)lqR  
    结果:场追迹 ]DKRug5  
    FRuPv6  
    9}%$j  
    /{f"0]-RA  
    结果:线性偏振光的场追迹 " i:[|7  
    6se8`[  
    GF6o  
     
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