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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 l`~a}y"n  
    !:g>CDA  
    C{d 8~6  
    O]$*EiO\  
    亮点 V8KTNt%  
    P!)7\.7  
    +[X.-,yW  
    $ly#zQR  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) BCa90  
     严格分析光栅衍射效率 A9fjMnw  
     考虑入射光的方向分布 p ?Ij-uo"o  
    G>_42Rp  
    说明:光源 9" }^SI8  
    yPzULO4  
    X d19GP!  
    [+:mt</HN  
    说明:光束分束器 8zWBXV  
    OxmlzQ"vM  
    F=*BvI "+  
    f<s'prF  
    说明:检测透镜系统 /`j  K  
    EE{#S  
    Vx\# +)4  
    R5'Z4.~  
    说明:微型晶片 n8;G,[GM80  
    )=,9`+Zta  
    4? /ot;>2  
    &Gy'AUz-  
    说明:检测物镜 FgHB1x4;  
    p)[ BB6E  
    /RXk[m-  
    >r4Y\"/j  
    说明:探测器 2o s6c te  
    mAYr<=  
    gR_b~ ^  
    )@lo ';\  
    结果:3D光线追迹(只有0级) @$b+~X)7  
    mn6p s6OB  
    33v%e  
    ./BP+\)l O  
    结果:3D光线追迹(所有级) <=y5 8O]x  
    D\_*,Fc  
    O+8ApicjTc  
    #(7RX}  
    结果:光线追迹 K9z_=c+  
    Ie`SWg*WL  
    %;B(_ht<-w  
    WKYA9BaR  
    结果:场追迹 >{LJ#Dc6  
    YRM6\S)py  
    )8N)Z~h  
    w4< u@L  
    结果:线性偏振光的场追迹 7PQj7&m  
    -~Z@,  
    xUYN\Pc-  
     
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