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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 fE mr^ R  
    ( a#BV}=  
    1. 建模任务1:金属光栅 Sdryol<  
    (9dl(QSd  
    H/M@t\$Dc  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 ew4U)2J+  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 /j.9$H'y  
    Q^")jPd  
    2. 建模任务2:介质光栅 S)@j6(HC4  
    E7hY8#G  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 3^yK!-Wp(  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 Cp0=k  
    N;`n@9BF  
    3. 建模任务
    IH+|}z4N?>  
    w``U=sfmV  
    $IpccZpA  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 Zj'9rXhrM1  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 sFRQe]zCcP  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 yJIscwF  
    #%O0[kd  
    4. TE和TM照明线性光栅
    cw <l{A  
    nX8v+:&}  
    5. 铬狭缝的分析 Lr pM\}t  
    TB31- ()  
    } 0y"F  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 do'GlU oMC  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 $[ *w"iQ  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 G 01ON0  
     红线说明了结构的形状(手动添加) A@#E@ ;lm  
    k+*u/neh  
    6. 三角光栅的分析
    2GG2jky{/  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 S3J^,*'  
    ~a2}(]  
    f _:A0  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 @2i9n  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 -mh3DhJ,  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    uPvEwq* C  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 \Vk:93OH21  
    %(Icz ?  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 *0ro0Z|Iq  
    #<xm.  
    7. 总结 \{NO?%s0p  
    o4WDh@d5S  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 K (|}dl:  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 f6p/5]=J26  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 yf,z$CR  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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