该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
fE
mr^R ( a#BV}= 1. 建模任务1:金属光栅 Sdryol< (9dl(QSd H/M@t\$Dc 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
ew4U)2J+ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
/j.9$H'y Q^")jPd 2. 建模任务2:介质光栅 S)@j6(HC4 E7hY8#G 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
3^yK!-Wp( 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Cp0=k N;`n@9BF 3. 建模任务 IH+|}z4N?> w``U=sfmV $IpccZpA
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
Zj'9rXhrM1 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
sFRQe]zCcP 场分布计算能够检测结构内部的热点
yJIscwF #%O0[kd 4. TE和TM照明线性光栅 cw
<l{A nX8v+:&} 5. 铬狭缝的分析 LrpM\}t TB31-
() }0y"F 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
do'GlU oMC 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
$[ *w"iQ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
G 01ON0 红线说明了结构的形状(手动添加)
A@#E@;lm k+*u/neh 6. 三角光栅的分析 2GG2jky{/ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
S3J^,*' ~a2}(] f
_:A0 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
@2i9n 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
-mh3DhJ, 红线说明了结构的形状(手动添加)。
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C 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
\Vk:93OH21 %(Icz? 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
*0ro0Z|Iq #<xm. 7. 总结 \{NO?%s0p o4WDh@d5S VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
K(|}dl: 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
f6p/5]=J26 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
yf,z$CR 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。