该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
|&xjuBC BH$+{rZ8t 1. 建模任务1:金属光栅 Ze>Pg.k+ 5q>u]n9] eOI#T'5 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
nM,5KHU4a 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
TV&4m5 }^/;8cfLY 2. 建模任务2:介质光栅 qf
qp}g\ <78LB/: 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
6opubI< 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
bAl0z)p 3ZKaqwK 3. 建模任务 /^>yDGT,0 gc6T`O-_; ie+746tFW
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
;"@FLq(n 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
)xMP 场分布计算能够检测结构内部的热点
~jqh&u$( ^-'t`mRl]d 4. TE和TM照明线性光栅 .O+qtk! rH<iUiA?O 5. 铬狭缝的分析 LpJ_HU7@lk Mi5"XQ>/ 7:_\t!] 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
G$buZspL'd 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
b@&ydgmaQ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
{lhdropd 红线说明了结构的形状(手动添加)
@Fl&@ $ aF'9&A;q 6. 三角光栅的分析 6c/Tm0[ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
;_ ^"} B?xu!B, s: .5S 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
e!5nz_J1} 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
Q3vWwP;t~ 红线说明了结构的形状(手动添加)。
o5N];Nj 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
Dl#%tYL+3h NNQro)Lpe 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
>Tm|}\qEb FB0y 7. 总结 ?=]*r>a3 Q.Kr;64G VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
#6tb{ws3 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
BlVk?n 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
f(O`t}Ed 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。