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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 lUIh0%O  
    NtNCt;_R7  
    1. 建模任务1:金属光栅 Ys]cJ]  
    /^$n&gI  
    S;j"@'gz9  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 J\hqK*/8  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 YBL.R;^v  
    L cTTfb+<  
    2. 建模任务2:介质光栅 ]JQ}9"p=5  
    !NMiWG4R  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 5a|{ytP   
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 umN4|X  
    '.]<lh!  
    3. 建模任务
    K=> j+a5$  
    9^E!2CJ  
    45H9pY w  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 5DJ!:QY!  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 tA^CuJR  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 T0N6k acl  
    KG GJ\r6  
    4. TE和TM照明线性光栅
    xy]oj  
    ko"xR%Q  
    5. 铬狭缝的分析 U6#9W}CE  
    @w(X}q1  
    8On MtP  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 n7.85p@ua  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 [U:P&)  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 R`M@;9I.@  
     红线说明了结构的形状(手动添加) : . PRM+  
    u7  
    6. 三角光栅的分析
    |>b;M ,`OO  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 wli H3vA_  
    SPm2I(at7  
    t/@t_6m}*  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 sF3@7~m4  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 OHt^e7\  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    T^q^JOC4  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 QZJnb%]  
    _k#GjAPM  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 N~P1^x~  
    T.W^L'L `  
    7. 总结 M\RHFTB<C  
    `3*QKi$  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 Rh%@N.Z*  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 ^fE8|/]nG9  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 iNilk!d6Q3  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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