该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
w'>v@`y 1k({(\>qq 1. 建模任务1:金属光栅 0t0:soZx a{.n(M /YR$#&N2 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
d0,F'?.0| 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
dPX>A4wp `Pbn 2. 建模任务2:介质光栅 >p:fWQ6 +:Zi(SuS] 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
l'f!za0 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
py4_hj\v U<gw<[>f 3. 建模任务 B 1.@K } Lj,%pz J T ua
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VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
KrzM]x 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
~'mhC46d 场分布计算能够检测结构内部的热点
|th )Q U\6DEnII?! 4. TE和TM照明线性光栅 |sAg@kM UGgi) 5. 铬狭缝的分析 31Du@h8YX e/Y+S;a %V/]V,w:*R 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
gH.^NO5\' 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
Rw%KEUDm 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
\)WjkhG<w# 红线说明了结构的形状(手动添加)
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Xl8 v_h{_b8 6. 三角光栅的分析 | w -W=v 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
iDJ2dM}v (%, ' Yd'ke,Je 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
"Xc=<rX 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
^u{$$.& 红线说明了结构的形状(手动添加)。
IuD<lMeJJ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
,Nh X% \PJ89u0 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
`!N?#N:b) 4+"SG@i`W 7. 总结 *uR'eXW iYkNtqn/ VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
C? S %fF 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
e+U o-CO 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
V-0Y~T 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。