该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
6R;3%-D RC#C\S6 1. 建模任务1:金属光栅 D#A~Nbc r,P1^ uHx va|*c22;| 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
SAV%4 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
qm*}U3K 2Se?J)MN 2. 建模任务2:介质光栅 v60^4K> kUx&pYv 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
3Ug 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
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2(4L :p&!RI(l 3. 建模任务 g.JN_t5 gd/H``x|Y <N,)G
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VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
X@)z80 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
j VgFZ, 场分布计算能够检测结构内部的热点
`p kMN |wE3UWsy 4. TE和TM照明线性光栅 :q<Z'EnW YT/kC'A 5. 铬狭缝的分析 GV6K/T: "&Dx=Yf V==z" 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
5BkV aF7Th 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
mV^Zy 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
OX:O^ (-r, 红线说明了结构的形状(手动添加)
\qvaE+ nn b8Gcr 6. 三角光栅的分析 mnk"Vr` L 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
@XD+' {] ZI;<7tF_z tGdf/aTjy 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
XNMa0 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
kU-t7'?4 红线说明了结构的形状(手动添加)。
IL/Yc1 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
7`IpBm< /"H`.LD.? 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
j/T>2|dA& =$8nUX` 7. 总结 kPBV6+d~ Zc
|/{$>:W VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
Cd79 tu| 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
d%I"/8-J 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
$N']TN 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。