该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
a! (4Ch TvwZW!@jc 1. 建模任务1:金属光栅 3yANv?$a C#QpQg2 XoXM^*Vk 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
cD@(/$wt 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
qsL)}sC^8 (w&F/ynO: 2. 建模任务2:介质光栅 1pQn8[sc@ E"\/M 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
M\C"5%2Mu 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
\:R%4w#Jv liEPCWl& 3. 建模任务 U6=..K!q `id9j 01[NX? qEa
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
,"2s` YC 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
>AC]#' 场分布计算能够检测结构内部的热点
BW-`t-,E; "BD~xP( 4. TE和TM照明线性光栅 UsgK })uGRvz 5. 铬狭缝的分析 |b[+I?X ]d55m /( QS0:@.}$E) 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
+nUy,S?43 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
DvME1]7) 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
z25lZI" X` 红线说明了结构的形状(手动添加)
QFfK0X8cC KuWWUjCE 6. 三角光栅的分析 Yaj0;Lo[wt 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
-8'C\R|J+ Y_}mYvJW f6 |KN+. 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
|]QqXE-7 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
$Vsk Ew"|M 红线说明了结构的形状(手动添加)。
jQk*8 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
@95FN)TXZY 5>VY LI 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
%R1 tJ( / L93l0eEt 7. 总结 u?>B)PW C?ulj9=Z VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
L{:9Cx!F 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
whonDG4WP 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
VQY&g;[d 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。