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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 a! (4Ch  
    TvwZW!@jc  
    1. 建模任务1:金属光栅 3yANv?$a  
    C#QpQg2  
    XoXM ^*Vk  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 cD@(/$wt  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 qsL) }sC^8  
    (w&F/ynO:  
    2. 建模任务2:介质光栅 1pQn8[sc@  
    E"\/ M  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 M\C"5%2Mu  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 \:R%4w#Jv  
    liEPCWl&  
    3. 建模任务
    U6=..K!q  
    `id 9j  
    01[NX? qEa  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 ,"2s`YC  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 >AC]#'  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 BW-`t-,E;  
    "BD~xP(  
    4. TE和TM照明线性光栅
    Usg K  
    })uGRvz  
    5. 铬狭缝的分析 |b[+I?X  
    ]d55m/(   
    QS0:@.}$E)  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 +nUy,S?43  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 DvME 1]7)  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 z25lZI" X`  
     红线说明了结构的形状(手动添加) QFfK0X8cC  
    KuWWUjCE  
    6. 三角光栅的分析
    Yaj0;Lo[wt  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 -8'C\R|J+  
    Y_}mYvJW  
    f6|KN+.  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 |]QqXE-7  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 $Vsk Ew"|M  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    jQk*8   
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 @95FN)TXZY  
    5>VY LI  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 %R1tJ(/  
    L93l0eEt  
    7. 总结 u?>B)PW  
    C?ulj9=Z  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 L{:9Cx!F  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 whonDG4WP  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 VQY&g;[d  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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