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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 >)WE3PT/O"  
    JPDxzp  
    1. 建模任务1:金属光栅 r ~{nlLO}  
    WfO EI1  
    /RB%m8@;  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 . V!5Ui<  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 fQ9af)d  
    s]m]b#1!r  
    2. 建模任务2:介质光栅 @wXYza0|d  
    ^6 l5@#)w  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 MEI&]qI  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 D\G 8p;  
    \;-Yz  
    3. 建模任务
    C/!P&`<6  
    f4S}Nga(  
    @>z.chM;  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 }!K #  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 F7}yt  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 $D`Kz*/.  
    dU-:#QV6  
    4. TE和TM照明线性光栅
    bD v& ;Z  
    +IXr4M&3  
    5. 铬狭缝的分析 KYTXf+oh  
    _oZ3n2v}@  
    d*TH$-F!p  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 ):Fg {7b]n  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 z/j*zU `  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 i{}m 8K)  
     红线说明了结构的形状(手动添加) !v3d:n\W8  
    @w33u^  
    6. 三角光栅的分析
    t,Tq3zB  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 /\fR6|tJ  
    M7qg\1L  
    d1yLDj?  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 ]#N8e?b,  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 =n.&N   
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    }G(#jOYk  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 k Jz^\Re  
    "S@]yL  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 l )r^|9{  
    |xb;#ruR6  
    7. 总结 .5HD i-  
    \HD:#a  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 #+i5'p(4  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 * r4FOA%P  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 hXH+C-%{  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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