该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
>)WE3PT/O" JP Dxzp 1. 建模任务1:金属光栅 r ~{nlLO} WfO E I1 /R B%m8@; 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
.V!5Ui< 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
fQ 9af)d s]m]b#1!r 2. 建模任务2:介质光栅 @wXYza0|d ^6l5@#)w 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
MEI&]qI 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
D\G 8p; \;-Yz 3. 建模任务 C/!P&`<6 f4S}Nga(
@>z.chM;
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
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# 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
F7} yt 场分布计算能够检测结构内部的热点
$D`Kz*/. dU-:#QV6 4. TE和TM照明线性光栅 bD
v&;Z +IXr4M&3 5. 铬狭缝的分析 KYTXf+ oh _oZ3n2v}@ d*TH$-F!p 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
):Fg {7b]n 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
z/j*zU
` 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
i{}m 8K) 红线说明了结构的形状(手动添加)
!v3d:n\W8 @w33u^ 6. 三角光栅的分析 t,Tq3zB 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
/\ fR6|tJ M7qg\1L d1yLDj? 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
]#N8e?b, 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
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红线说明了结构的形状(手动添加)。
}G(#jOYk 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
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与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
l )r^|9{ |xb;#ruR6 7. 总结 .5HD i- \HD:#a VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
#+i5'p(4 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
*r4FOA%P 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
hXH+C-%{ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。