该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
aH+n]J]
=) h Lv_ER? 1. 建模任务1:金属光栅 b0ablVk M@?,nzs
K 04wO9L; 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
jg+q{ ^ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
%.`<ud <|R`N)AV; 2. 建模任务2:介质光栅 Y~C;M6(P h:l4:{A64 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
^s[OvJb 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
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3. 建模任务 d-BUdIz HMrl!;: %jRqrICd
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
t!JD]j>q 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
Y[WL}:"93 场分布计算能够检测结构内部的热点
zy!mP [H&Z /.{F 4. TE和TM照明线性光栅 %}x$YDO cJ#|mzup 5. 铬狭缝的分析 - BE.a< Rd^X. F3
z:|sTqc 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
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"R _[+ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
[23F0-p 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
Lkl+f~m 红线说明了结构的形状(手动添加)
|E=8 ZB@Bj>,bp 6. 三角光栅的分析 u#s br8Y 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
SB}0u=5 z=/xv}, 9u2Mra 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
k6mC_ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
="Sa>-do, 红线说明了结构的形状(手动添加)。
>L {s[pLJ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
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*4oj '} 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
t3b64J[A{ ?O!'ZZX 7. 总结 vx&r k,UezuV VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
^:F |2 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
T~"T%r 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
1deNrmp% 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。