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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 aH+n]J] =)  
    h Lv_ER?  
    1. 建模任务1:金属光栅 b0ablVk  
    M@?,nzs K  
    04wO9L;  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 jg+q{ ^  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 %.`<ud  
    <|R`N)AV;  
    2. 建模任务2:介质光栅 Y~C;M6(P  
    h:l4:{A64  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ^s[OvJb  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 .W1i3Z6g  
    W\l"_^d*  
    3. 建模任务
    d-BUdIz  
    HMrl!;:  
    %jRqrICd  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 t!JD]j>q  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 Y[WL}:"93  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 zy!mP  
    [H&Z / .{F  
    4. TE和TM照明线性光栅
    %}x$YD O  
    cJ#|mzup  
    5. 铬狭缝的分析 - BE.a<  
    Rd^X.  
    F3 z:|sTqc  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 H% "R _[+  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 [23F0-p  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。  Lkl+f~m  
     红线说明了结构的形状(手动添加) |E =8  
    ZB@Bj>,b p  
    6. 三角光栅的分析
    u#sbr8Y  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 SB}0u=5  
    z=/xv},  
    9u2Mra  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 k6mC_  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 ="Sa>-d o,  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    >L{s[pLJ  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 Q@"mL  
    *4oj' }  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 t3b64J[A{  
    ?O!'ZZX  
    7. 总结 vx&r  
    k,UezuV  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 ^:F |2  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 T~" T%r  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 1deNrmp%  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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