[技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 P+/e2Y  
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1. 建模任务1：金属光栅 DN:EB@  
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20Wg=p9L  
 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ^k9I(f^c-_  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 @E|}Y  
eehb1L2(b  
2. 建模任务2：介质光栅 {R6ZKB  
f%}xO+.s  
 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 +52{-a,>  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 ~b8]H|<'Y  
pZy~1L  
3. 建模任务 W7nw6;7=  
II,8O  
Qzw;i8n{  
 VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 qlP
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Ll  
 通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 $6poFo)U+  
 场分布计算能够检测结构内部的热点 nAdf=D'P  
b d!Y\OD
  
4. TE和TM照明线性光栅 d/~9&wLSb  
DSn_0D  
5. 铬狭缝的分析 hp|YE'uYT  
`VguQl_,gA  
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 通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 IW] rb/H  
 左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 ' S/gmn  
 对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 :^h$AWR^f  
 红线说明了结构的形状（手动添加） 6.yu-xm
 
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6. 三角光栅的分析 "fOV^B  
 左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 .(k|wX[Fu~  
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R.<g3"Lm>  
 如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 4{|"7/PE1  
 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 SOA,kwHRe  
 红线说明了结构的形状（手动添加）。 pOoEI+t  
 左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 $/Uq0U  
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 与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 67FWa  
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7. 总结 8zW2zkv2|#  
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 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 dioGAai'  
 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 [v!f<zSQK  
 对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 1 [Bk%G@D&  
 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。