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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 "PtH F`mo  
    zy;w07-)  
    1. 建模任务1:金属光栅 J)NpG9iN  
    'YZs6rcJ  
    (B#|3o  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 &N;6G`3  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 #9Z-Hd<  
    KZNyp%q  
    2. 建模任务2:介质光栅 *[n^6)  
    wv-8\)oA  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 c*Nbz,:  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 TKX#/  
    Q2=~  
    3. 建模任务
    Um<vsR  
    mNKa~E  
    rOT8!"  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 FU3B;Fn^Z(  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 M czWg  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 )I4tl/  
    A?zW!'  
    4. TE和TM照明线性光栅
    v2V1&-  
    P0=F9`3wb  
    5. 铬狭缝的分析 *Rd&4XG  
    6 -}gqkR  
    [4e5(!e  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 &EOh}O<  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 gK CIfxM  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 r N7"%dx  
     红线说明了结构的形状(手动添加) ~T~v*'_h  
    :ux`*,zh  
    6. 三角光栅的分析
    ND>}t#^$  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 p'*UM%@SIY  
    |z%,W/Ef  
    n21J7;\/+  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 E.9F~&DPJ<  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 P'8 E8_M}  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    /slML~$t<  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 4Q5v8k=  
    R7i*f/m  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 1F|+4  
    3[rB:cE/  
    7. 总结 Ipe;%as#  
    `O/)q^m1L  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 \bfHGo=  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 KJiwM(o  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 $/H'Dt6x  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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