该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
x4K5 Z[VKB3Pb8 1. 建模任务1:金属光栅 5I14"Qf M}>q> <Jx{Uv 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
<4Fd~ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
x$E
l7=. qCMcN<:> 2. 建模任务2:介质光栅 moGbBkO %j,Ny}a 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
V4>P8cE 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
*HRRv.iQ Cnolka" 3. 建模任务 v|xlI4 $W2AiE[Wm {BF\G%v;+
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
@fwU%S[v 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
>cp9{+#f 场分布计算能够检测结构内部的热点
m`|Z1CT #3S/TBy, 4. TE和TM照明线性光栅
>Pu*MD; {D@y-K5 5. 铬狭缝的分析 C"}x=cK 2a^(8A`7W qz:OnQv! 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
8Xr3q eh+ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
[|YMnV<B 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
#[8gH>7 红线说明了结构的形状(手动添加)
:/3`+&T^/ x[X.// : 6. 三角光栅的分析 hug12Cu 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
iw{n|&Y#` Um~jp:6p s-*XAnot 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
k}/:
xN" 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
-H
\nFJ6+ 红线说明了结构的形状(手动添加)。
3B0%:Jj 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
UaBR;v-.B3 -'nx7wnj2 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
_YY)-H Bw$-*FYE 7. 总结 Rm
RV8 WJ6 ^~0r+w61 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
y|aWUX/a 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
%[0"[ <1a 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
C"sa.#} 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。