该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
S0X.8Bq Vb"T],N1m 1. 建模任务1:金属光栅 2xz%'X% 3tx0y QZz{74]n 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
o>QFdx 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
N23+1 h ^+Y-=2u: 2. 建模任务2:介质光栅 rA>A=, 96([V|5K 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
9, sCJ5bb" 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
3e!a>Gl* HquB*=^xh 3. 建模任务 t8a@L(J$ ,AFC 1t[0 xhp-4
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
OGD8QD 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
;^*+:e 场分布计算能够检测结构内部的热点
Ra15d^ ^`B##9g~ 4. TE和TM照明线性光栅 /oixtO) 8M(|{~~3: 5. 铬狭缝的分析 +p%5/smfs 1zEZ\G nP3;<*T P0 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
CzDR% v x 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
SBYMDKZ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
N4JqW 红线说明了结构的形状(手动添加)
aZ`_W| \p=W4W/ 6. 三角光栅的分析 }G:uzud10 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
"gl:4|i' ky
lr f4= [?K\%] 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
\Z7([G h 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
u^4 "96aXJ 红线说明了结构的形状(手动添加)。
Q i'WV9ke 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
TG%hy"k U!-+v:SF 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
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vJ[vsrFv +e3WwUx 7. 总结 IP4b[|ef ~IJZM`gN VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
>cr_^(UW& 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
? 3E_KGI 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
yPxG`w' 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。