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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 0?SdAF[:z  
    GC$Hp!H  
    1. 建模任务1:金属光栅 VILzx+v M  
    2#6yO`?uo  
    #)=P/N1  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 dB_\0?jJ-  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 _l}&|:  
    7u\^$25+h  
    2. 建模任务2:介质光栅 C/_W>H_   
    H <F6o-*  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 $+S'Boo   
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 Y'bDEdeT  
    K-k;`s#  
    3. 建模任务
    @?G.6r~  
    R S;r  
    %dO'kU/-  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 WK /Byd.Z  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 vlm&)DIt  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 k=w%oqpN  
    O)`R)MQ)  
    4. TE和TM照明线性光栅
    6BLw 4m=h  
    /jeurCQ8#u  
    5. 铬狭缝的分析 #Cvjv; QwY  
    }LDDm/$^}  
    hUB _[#8#  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 noOG$P#  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 E7oL{gU  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 5sFp+_``  
     红线说明了结构的形状(手动添加)  yYp!s  
    z~L(kf4  
    6. 三角光栅的分析
    >F!2ib8  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 O|?>rK  
    vkASp&a  
    f77Jn^Dt  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 B Lw ssr.  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 :)cPc7$8  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    <8+.v6DCd  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 V ;1$FNR   
    l`~*" 4|/  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 vv"_u=H  
    rrwBsa3  
    7. 总结 HKb8z@;%@  
    k^S=i_ U  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 2^E.sf$f  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 NK$k9,  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 2u*o/L+  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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