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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 [\ M=w7  
    m})q8b!S  
    1. 建模任务1:金属光栅 w2:!yQk_  
    FA.h?yfr  
    M1MpR+7S  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 H(^O{JC]y!  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ]y'/7U+  
    ?/_8zpW  
    2. 建模任务2:介质光栅 )U`"3R  
    uhuwQS=X  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 3&D;V;ON}_  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 F Ty`#*7Ul  
    !OJ@ =y`i  
    3. 建模任务
    959i2z  
    1@nGD<,.  
    w$9aTL7  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 ,KlTitJl\+  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 h^P>,dy0  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 74c1i  
    Ul?Ha{ W  
    4. TE和TM照明线性光栅
    zfE;)K^"  
    E6SGK,f0D  
    5. 铬狭缝的分析 =a`l1zn8=  
    Ge+&C RhyX  
    B)F2SK<@  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 u"K-mr#$[o  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 1n! Jfs U  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 OC zWP,  
     红线说明了结构的形状(手动添加)  `x"0  
    x@F"ZiYD@O  
    6. 三角光栅的分析
    }b+tD3+  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 K?_4|  
    M%wj6!5  
    wSp1ChS k  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 k;p:P ?s5Y  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 #&G^%1!  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    A/W-'%+`  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 "HW~|M7>(  
    .`!|^h%0  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 |X9YVZC  
    4WnB{9 i`I  
    7. 总结 ;l_%;O5  
    Urhh)i  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 hq.z:D  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 H#8]Lb@@:  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 9YMUvd,u  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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