该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
"PtH
F`mo zy;w07-) 1. 建模任务1:金属光栅 J)NpG9iN 'Y Zs6rcJ (B#|3o 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
&N ;6G`3 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
#9Z-Hd< KZNyp%q 2. 建模任务2:介质光栅 *[n^6) wv-8\)oA
在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
c*Nbz,: 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
TKX# / Q2=~
3. 建模任务 Um<vsR mNKa~E rOT8!"
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
FU3B;Fn^Z( 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
M czWg 场分布计算能够检测结构内部的热点
)I4t l/ A?zW!' 4. TE和TM照明线性光栅 v2V1&- P0=F9`3wb 5. 铬狭缝的分析 *Rd&4XG 6 -}gqkR [4e5(!e 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
&EOh}O< 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
gKCIfxM 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
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N7"%dx 红线说明了结构的形状(手动添加)
~T~v*'_h :ux`*,zh 6. 三角光栅的分析 ND>}t#^$ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
p'*UM%@SIY |z%,W/Ef n21J7;\/+ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
E.9F~&DPJ< 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
P'8E8_M} 红线说明了结构的形状(手动添加)。
/slML~$t< 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
4Q5v8k= R7i*f/m 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
1F|+4 3[rB:cE/ 7. 总结 Ipe; %as# `O/)q^m1L VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
\bfHGo= 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
KJiwM(o 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
$/H'Dt6x 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。