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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 _fCHj$I*]  
    Kx+Bc&X  
    1. 建模任务1:金属光栅 @R&D["!  
    }x1IFTa!  
    z{0;%E  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 &RrQ()<as  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 1n( }Q1fa  
    ]e~^YZOs  
    2. 建模任务2:介质光栅 2vN(z %p  
    ejY5n2V#=  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 7YjucPH#  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 kw:D~E (  
    \87J~K'  
    3. 建模任务
    %d J>8.jW@  
    :*'?Ac ?  
    Q3q.*(#  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 R<HZC;x  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 5 hadA>d  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 si_ HN{  
    s)8M? |[`I  
    4. TE和TM照明线性光栅
    l1Q+hz5"*U  
    5@ +Ei25  
    5. 铬狭缝的分析 pNQkKDbL+  
    hr6e1Er  
    = DTOI  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 KBq aI((  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 dd7nO :]  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 dG?a"/MA  
     红线说明了结构的形状(手动添加) u=}bq{  
    &E riskI  
    6. 三角光栅的分析
    },aWCvJL  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 @dCPa7:>&  
    \u-e\w  
    X7d.Ie  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 hYXZ21(K#  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 -yQ\3wli`  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    nCMa$+  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 #]DZrD&q  
    ![]I%'s  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 qZsddll  
    8{Eo8L'V  
    7. 总结 LZC?383'  
    <N=p:e,aN,  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 q VdC?A|  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 ,Zf!KQw  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 N[<`6dpE  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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