该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
30Yis_l2h 'm%{Rz>j 1. 建模任务1:金属光栅 bQll;U^A &v\F ah U DA=U=F 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
xS18t=" 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
SGd]o"VF d1/emwH 2. 建模任务2:介质光栅 Rd?}<L N!A20Bv 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
.J#'k+> 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
w-jElV L\yVE
J9x 3. 建模任务 xVvUx,t 'Pz%c}hJ -@uFRQt
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
><%585 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
,CO2d)} 场分布计算能够检测结构内部的热点
d{
(,Gy>I :dmE/Tq 4. TE和TM照明线性光栅 X/]@EF QWmE:F[M~ 5. 铬狭缝的分析
fF:57*ys e4X
df>B g14*6O: 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
q:{#kv8 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
urp|@WZ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
[^>XRBSm 红线说明了结构的形状(手动添加)
+qxPUfN " T(hcI 6. 三角光栅的分析 a|ft l&uk 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
` ]|X_!J- gW,[X( H$6RDMU 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
-K"'F`;W 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
dzcF15H1 红线说明了结构的形状(手动添加)。
5Iu5N0cn 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
r)(5,*v *[MWvs:, 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
]A4=/6`g?b {N(qS'N 7. 总结 \BOoY# !a n
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VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
;w{<1NH2+. 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
I?KN7(9u? 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
%lKw+D 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。