该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
\D z? h #*CMf.OCh 1. 建模任务1:金属光栅 _dk[k@5W{' BE@(| U Ff/Ap&0+ 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
A8mc+ Bf( 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
]m 3cm de W1>yh^_ 2. 建模任务2:介质光栅 6?M/71 5"57F88Y1 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
EL3X8H 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
8493Sw OjlX<y. 3. 建模任务 Ir>4- @ Fw-Rv'\ p#P<V%
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
^ fC2o%3^ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
~Oq
_lM 场分布计算能够检测结构内部的热点
4pT^* Psx"[2iZm 4. TE和TM照明线性光栅 (,o@/ -o D
)`(b 5. 铬狭缝的分析 3)W_^6>bM !6X6_ +}M !~?/D 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
(kY0< 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
hL/u5h%$ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
=6ru%.8U, 红线说明了结构的形状(手动添加)
Ip7#${f5M IowXVdm@6 6. 三角光栅的分析 [5IbR9_ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
g!_#$az3 1\@PrO35J ["&{^ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
Gf#l ^yr 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
tc`3-goX 红线说明了结构的形状(手动添加)。
w`8H=Hf 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
7:LEf"vRZ 9kWI2cLzQt 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
b6k_u9m^E .>TG{>sH 7. 总结 FD E?O]^ `!N}u VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
SN{A@dyt 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
cOdRb=?9 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
baG_7>Q9H 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。