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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 =p+y$  
    &{}Mds  
    1. 建模任务1:金属光栅 Mo,&h?VOM?  
    S+ kq1R  
    =V^-@ji)b  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 9)Fx;GxL  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 $[ {5+*  
    VdLoi\-/L  
    2. 建模任务2:介质光栅 a=iupXre9  
    Dac)`/  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 XKoY!Y\  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 6 ':iW~iI  
    a.Ho>(V/4  
    3. 建模任务
    3k Ci5C  
    h>-P/  
    . %RM8  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 b;k+N`  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 3S^0%"fY  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 ;cor\ R  
    ;]{ee?Q^ld  
    4. TE和TM照明线性光栅
    qt/K$'  
    bSB%hFp=Cp  
    5. 铬狭缝的分析 sV\_DP/l  
    j[>cv;h ;  
    "y1Iu   
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 @~3--  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 W(,j2pU  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 .tngN<f  
     红线说明了结构的形状(手动添加) h>N}M}8  
    );5o13h2  
    6. 三角光栅的分析
    z/@_?01T=  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 79\ wjR!T  
    ]v+<K63@T  
    iOE. .xA:  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 i5,iJe0cA  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 NGx3f3 9  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    %opBJ   
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 +$2{u_m,  
    N]<(cG&p  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 LP<A q  
    ?#xl3Z ;I  
    7. 总结 QV;o9j  
    e#"h@kZP  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 ,_[x|8m  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 )vp0X\3q`  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 K_7pr~D]@r  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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