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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 @9&P~mo/  
    'KPASfC  
    1. 建模任务1:金属光栅 PdVfO8-  
    [{X^c.8G)  
    ;.bm6(;  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 ,()0' h}n  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 K!KMQr`  
    #:d =)Qj0  
    2. 建模任务2:介质光栅 J "FC%\|  
    [= |jZVhT  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 0VK-g}"x  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 "HXYNS>  
    $2%f 8&  
    3. 建模任务
    #h@J=Ki  
    ,$eK-w  
    BAO|)~1Pd  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 c_" ~n|  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 X*L;.@xA  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 F!.E5<&7=  
    ^#0U  ?9  
    4. TE和TM照明线性光栅
    TW^/sx  
    z.rh]Zq  
    5. 铬狭缝的分析 ~l2aNVv;  
    C^ )*Dsp  
    ko^\ HSXl  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 Ks\ NE=;5  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 ~g7l8H67  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 f}D1|\7  
     红线说明了结构的形状(手动添加) M,5"b+mX[~  
    b2@VxdFN  
    6. 三角光栅的分析
    RV&^g*;E  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 VS&TA>  
    KeNL0_ Pw  
    o:6@ Kw^  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 !!o8N<NU  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 #b7$TV  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    07Ed fe  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 a[2vjFf#C  
    W14 Vm(`N  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 wd/< 8>2X  
    . <tq6 1  
    7. 总结 b}Zd)2G  
    q:<{% U$  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 ujJI 1I  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 fQP{|+4  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 o!~Jzd.=h  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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