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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 +\`vq"e  
    /k\01hc`  
    1. 建模任务1:金属光栅 .r|*Ch#;P  
    2H#N{>7  
    l1_X(Z._V  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 qcB){p+UQ  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 &!.HuRiuC  
    m/&i9A  
    2. 建模任务2:介质光栅 `ue[q!Qq  
    <~Q i67I  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 -xmf'c9P  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 '3tw<k!1{.  
    cleOsj;S  
    3. 建模任务
    ; ~ 4k7Uz  
    W+>wu%[L  
    b=##A  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 dFW=9ru+MQ  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 cH`^D?#se  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 Aw ^yH+ae  
    Os),;W0w4  
    4. TE和TM照明线性光栅
    ;|ub!z9GG  
    Go\VfLLw  
    5. 铬狭缝的分析 :1fagaPg  
    =6nD0i 9+  
    #mc!Wt 10  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 }Ag|gF!_  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 HB& &  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 uK*|2U6t  
     红线说明了结构的形状(手动添加) _uH9XGm  
    9V!-ZG  
    6. 三角光栅的分析
    a_T,t'6  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 .CV _\  
    `"y`AY/N  
    9w ~cvlv[  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 NGzgLSm\  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 "ORzWnE4U  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    LVtu*k   
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 kl7A^0Qrz  
    L ^Y3=1#"g  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 y%(X+E"n*  
    'w<BJTQIL  
    7. 总结 >Wi s.e%b  
    !e8i/!}^S  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 x !{   
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 +cg {[f,J;  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 vE\lp8j+  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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