该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
7bRfkKD k\*?<g 1. 建模任务1:金属光栅 vlZmmQeJm qdKqc,R1{ 3fXrwmBT8 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
NG:4Q.G1g 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
m-;8O / Rbr:Q]zGN 2. 建模任务2:介质光栅 &b*v7c=o 0+SZ-] 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
T"C.>G'[B 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
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Te8*=w 3. 建模任务 VYh/URU> 3&{6+ A ,3MHZPJ?k]
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
}aXS MxCd 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
_K'Y`w'] 场分布计算能够检测结构内部的热点
*&_cp]3-WF 4^nHq 4_ 4. TE和TM照明线性光栅 Knb(MI6 yI07E "9 5. 铬狭缝的分析 T3"'`Sd9; /0|1xHs O&;d8 2IA{ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
7
<]YK`a2d 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
_nxu8g] 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
opN4@a7l 红线说明了结构的形状(手动添加)
+\&6Zbn 7,Z<PE 6. 三角光栅的分析 /Ix5`Q) 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
zzo93d dhJ=+Fz"w /iQh'rp 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
<Uf`'X\e6 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
F Qk 红线说明了结构的形状(手动添加)。
\{~CO{II 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
[cznhIvyO >m<T+{` 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
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j6- 7. 总结 CH|cK8q um_J%v6ER VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
Yhm veV 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
Ct~j/. 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
_j0xL{&& 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。