该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
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>yc|W 1. 建模任务1:金属光栅 </SO#g^r< lL5* l,)To jZvIqR/ 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
s$0dLEa9 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
9;`hJ!r P=9UK`n 2. 建模任务2:介质光栅 YB^m!A),I[ H7<g5pv 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
^EW6}oj[ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
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6 3. 建模任务 g0s4ZI+T hgwS_L 5Fq+^
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
Mpk7$=hjc 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
fZJM'+J@A 场分布计算能够检测结构内部的热点
$"}*#<Z D4$"02" 4. TE和TM照明线性光栅 iU=:YPE+. YdB/s1|G 5. 铬狭缝的分析 |S]fs9 /#L4ec-' J*ZcZ FbWN 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
-$@'@U 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
3RcnoXX_ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
uaCI2I 红线说明了结构的形状(手动添加)
Pi,86? o4LVG 6. 三角光栅的分析 L&]{GNw 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
}/IP\1bG nf:wJ-;* {?A/1q4rr 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
e"p){)*$ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
-b?s\X 红线说明了结构的形状(手动添加)。
]!/R tt 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
ltkA7dUbu fl4'dv 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
e<~bDFH 1:u~T@;" ` 7. 总结 gh `_{l
,Hp7`I>/ VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
hVJ}EF0 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
^(BE_<~ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
#&z'?x^a 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。