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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 Y{ w9D`}  
    .%_=(C< E  
    1. 建模任务1:金属光栅 W" 1=K] B  
    >{=~''d,w  
    K b z|h,<  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 y@\J7 h:  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 89J7hnJC  
    M$2lK^2L  
    2. 建模任务2:介质光栅 n4 J*04K  
    Fy^MI*}BZ  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 t#=FFQOt  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ]Yt,|CPe2  
    ?xtP\~  
    3. 建模任务
    H`NT`BE  
    ]SNcL[U  
    ^qV6 khg  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 iTJE:[W"y  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 YI),yj  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 AHn Yfxv_  
    N6!$V7oT  
    4. TE和TM照明线性光栅
    Hs(U|BXU  
    bw OG|\  
    5. 铬狭缝的分析 VHx:3G  
    Og(|bs!6  
    "M=1Eb$6=  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 Dh .<&ri   
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 Ypw:Vp  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 $mF9os-  
     红线说明了结构的形状(手动添加) VZr AZV^c  
    P30|TU+B  
    6. 三角光栅的分析
    "i; "  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。  $ 1v'CT  
    q 1+{MPJ  
    7SjWofv  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 zl@hg<n  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 >+2gAO!  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    N3?hu}  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 oPR?Ar  
    YUQKy2  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 N6%M+R/Q  
    td(4Fw||1y  
    7. 总结 gt Rs||  
    ;7N~d TBQ  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 $;B0x  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 _#T bO fu  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 a,KqTQB  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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