该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
zCuB+r=C }opw_h+/F 1. 建模任务1:金属光栅 7f4O~4.[i >
K?OsvX 8xg^="OJ 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
Qn,6s%n
对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
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/kyyU M(zZ8# 2. 建模任务2:介质光栅 9h?'zyX
B u>n"FL'e 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
%4f.<gz~r| 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
;0Pv49q 0~z\WSo 3. 建模任务 N@L{9ak1 |/vJ+aKq E^zfI9R
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
6tndC
o; ` 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
//_H_ue$ 场分布计算能够检测结构内部的热点
31@Lr[! tKeTHj;jO 4. TE和TM照明线性光栅 s<)lC;#e msM1K1er 5. 铬狭缝的分析 XS">`9o! VOLj#H >a,D8M? 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
Cf3!Ud 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
o]Rlivahm 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
G %6P`: 红线说明了结构的形状(手动添加)
KGHSEZi] Ca
PHF@6WN 6. 三角光栅的分析 P0jr>j@^- 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
c&!mKMrk yjg&/6 L_NiU;cr% 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
`X}:(O^GO 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
1XMR7liE 红线说明了结构的形状(手动添加)。
v$W[( 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
dy&UF,l6 ]MV8rC[\ 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
N);w~)MYh Wc[,kc 7. 总结 sa(.Anmlj "(^XZAU#W VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
uv27Vos 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
AO$AT_s 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
a+E&{pV 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。