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测量系统(MSY.0001 v1.1) zK1]o-wSAT 98O]tL+k/u 应用示例简述 K/*"U*9Kv ,EVPnH[F~ 1. 系统说明 5 r_Z3/% }{=}^c"t' 光源 ($/l_F — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) +]( y 元件 )bL(\~0g~ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 :) -` 探测器 zS|4@t\__ — 干涉条纹 -K(d]-yv 建模/设计 :).NA
] — 光线追迹:初始系统概览 <6Y;VH^_ — 几何场追迹加(GFT+): ys>n%24qP 计算干涉条纹。 }Y BuS3{ 分析对齐误差的影响。 z07&P;W!{ w0Ex} 2. 系统说明 >3B{sn} +F60_O
` 参考光路 gPc1oc(  WQze|b% 3. 建模/设计结果 iM;Btv[|
-u<F>C ]B3+&g 4. 总结 1%R${Qhr M*D_pn& 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 %t!r
pyD DR3om;Uk 1. 仿真 y6-P6T 以光线追迹对干涉仪的仿真。 *{j;LA.BR# 2. 计算 cn/&QA" 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 /wJ4hHY 3. 研究 pc@mQI 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 4&%H;Q [g<gu~ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 UF6U5],`u ?I?~BWu 应用示例详细内容 OPE+:TvW^ 系统参数 tjB)-=j[ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 S{8-XiL, fp\mBei 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 DO-M0L NIQ}+xpC 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 wb(S7OsMO
IemhHf ^l 2. 说明:光源 GHn0(o &K z"\w9 @W
Rx"+i0 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 eN
</H.bm] 因此,相干长度大于1m ht L1aQ. 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 'nh2} 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 bpU>(j '%ZKvZ-
KU{zzn;g KWD{_h{ R 3. 说明:光源 $kHXt]fU SFtcO 9W\"A$;+& 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 r#1W$~?> 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 %3TioM[B 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ')yYpWO 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 btnD+O66< 4. 说明:光学元件 l/B+k J(!=Dno Sw; kUJ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 8(y%]#n 位相延迟平板材料为N-BK7。 .=<s@Sg,t 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 e1JHN 透镜材料为N-BK7。
"$J5cco 其中心厚度与位相平板厚度相等。 N#RC; XRQ1Uh6 G4'Ee5(o 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 z)v o lc~c=17 m;rr7{7X 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 jVOq/o 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ,ZrR*W?iF
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