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测量系统(MSY.0001 v1.1) UKx91a}g ;b$(T5 应用示例简述 .3,s4\.kT c8gdY` 1. 系统说明 3_IuK6K2 ]w FFGy 光源 ;h3uMUCml — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 6tM CpSJ 元件 #5T+P8 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 )L`0VTw'M 探测器 !h2ZrT9
_ — 干涉条纹
;KmSz 1A 建模/设计 QhK]>d. — 光线追迹:初始系统概览 Bya!pzbpr — 几何场追迹加(GFT+): '?_;s9) 计算干涉条纹。 i7})VDsZ 分析对齐误差的影响。 R{3f5**0 `7Ni bZX0 2. 系统说明 LZyUlz '1=t{Rw 参考光路 bzmT.!  LN?fw 3. 建模/设计结果 u9e A"\s }7vX4{Yn q?&vV`PG5 4. 总结 VVvV]rU~ yjpV71!M 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 IyYC).wU} *:3flJt 1. 仿真 qr(SAIX" 以光线追迹对干涉仪的仿真。 1A">tgA1 2. 计算 )=;0 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 5FnWlFc 3. 研究 vj^vzFb K 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 9rtcI[&?0 Zo22se0) 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 R\MM2_I +BM (0M+ 应用示例详细内容 $)mE"4FE 系统参数 7Rk eV 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 3*3WO,9
G1vWHa7n;f 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 mKPyM<Q @P4fR7 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 F>)u<f,C ^$24231^ 2. 说明:光源 MMD4b}p ]6p?mBuQ \QstcsEt 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 b|wCR% 因此,相干长度大于1m f$NudG!S 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 G{i}z^n 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 V(A6>0s$| 'u{m37ZJ
{$ HW_\w o';sHa' 3. 说明:光源 ,Zb]3 $VhUZGuG> ,-&ler~[ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 L=Fm:O'#2 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 jtV{Lf3< 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 !!b5vzyve 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 k ;R*mg*K 4. 说明:光学元件 g9H~\w OnC|9 C+cSy'VIK! 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 r
Ka7[/ 位相延迟平板材料为N-BK7。 ce/Rzid 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 >0=` 3X|Y7 透镜材料为N-BK7。 }L{en 其中心厚度与位相平板厚度相等。 SgHLs 9Y- Sqk+ =GTltFqI1 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 4T`u?T] l&(,$RmYp =4"D8UaHr 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 @|6n.'f+ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 4iBp!k7
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