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测量系统(MSY.0001 v1.1) h-[VH% ax<?GjpM 应用示例简述 +8Rg F |EJD3& 1. 系统说明 85LAYaw E
S // 光源 r/u A.Aou^ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) N u<_} 元件 N$U$5;r~` — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 )% ~OH 探测器 ]d!
UJ&<? — 干涉条纹 UdpF@Q 建模/设计 LhA/xf — 光线追迹:初始系统概览 1ng!G 7g — 几何场追迹加(GFT+): 3`t%g[D1 计算干涉条纹。 8; 0A
g 分析对齐误差的影响。 \nPEyw,U $\X[@E S0 2. 系统说明 ,g2ij 2#c<\s|C 参考光路 &E.^jR~* ur:3W6ZKl 3. 建模/设计结果 |#]@Z)xa x-^`~p Z{]0jhUyNh 4. 总结 3h$6t7=C Ab{ K<:l 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 v|dBSX9k0 3=aQG'B 1. 仿真 zh8nc%X{ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Y 0d<~* 2. 计算 W3MJr&p 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 21K>`d\ 3. 研究 wl#@lOv-P 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 \hDlTp} M
l Jo`d 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 '>-gi}z7 -zOdU}91Ao 应用示例详细内容 9]f!'d!5 系统参数 /5(Yy} 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪
TQpf Q p@xf^[50k 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 RtTJ5@V( haK3?A,"_A 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 %4et&zRC a&/#X9/ 2. 说明:光源 k_
& :24Lj 49GkPy#]L= Br1&8L-|% 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 J??-j 因此,相干长度大于1m le/,R@]B9 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 HK,cJahq 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 [>8}J" m% -g ~q q&s3wDl/ [uC]*G] 3. 说明:光源 n}F&1Z ORe(]I`Z %b&".mN 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 LlX{#R 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 _=_Px@<Q 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ~zCEpU|@N 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ]m
g)Q:d, 4. 说明:光学元件 QM5R`i{r H?<N.Dq dP#|$1 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 (eI5_`'VC 位相延迟平板材料为N-BK7。 4|buk]9 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Uzz'.K(Mv| 透镜材料为N-BK7。 *"?l ]d 其中心厚度与位相平板厚度相等。 |=Eo?Q_ XewVcRo *SU\ABcov 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 CR8/Ke RDW8]=uM 4r>6G/b8* 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 R.jIl@p 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 X 0WJBEE
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