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测量系统(MSY.0001 v1.1) ;&ypvKG uu;1B.[b 应用示例简述 [IPXU9&Q ,*d<hBGbh 1. 系统说明 ^?-wov$
C=<PYkt,L 光源 {# Vp`ji — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) noQS bI
@ 元件 +`l)W`zX — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ^#)]ICV 探测器 0{!+N6MiR — 干涉条纹 BFn4H%1 建模/设计 G?5Vj_n — 光线追迹:初始系统概览 4LkW`Sbm — 几何场追迹加(GFT+): ^/DP%^D 计算干涉条纹。 y.Y;<UGu 分析对齐误差的影响。 -^&NwLEv= cOvdC4 2. 系统说明 aP/Ff%5T i{4J$KT 参考光路 t lpTq\;  ,V.Bzf%=O 3. 建模/设计结果 {&0u:
VrnZrQj< EdC/] 4. 总结 pRGag~h|E vhKHiw9L 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 i.0.oy> 87yZd8+) 1. 仿真 BL1d=%2R 以光线追迹对干涉仪的仿真。 /#g
P#Z% 2. 计算 k8E{pc6; 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 hK 1 H'~c 3. 研究 HJt@m
&H| 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 x<\5Jrqt I T?~`vi 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 vX<^x2~9( pmgPBiU> 应用示例详细内容 jAak,[~; 系统参数 <KBS ;t="1 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 )8*}-z k\KI#.> 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 hkl9EVO) }0AoV&75 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 6d/1PGB ?(Ytc) 2. 说明:光源 ) m(!lDz3 UOn:@Qn aI_[h
v 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 *NCkC
~4 因此,相干长度大于1m dry>TXG* 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 KtD
XB> 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 qijQRxS #MUY!
7\[)5j xv~Sk2Z+d 3. 说明:光源 =B0AG9Fz uP$C2glyz d9q`IZqee 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 g9@H4y6fe= 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 :pvB}RYD 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 @ )Nw>/;o 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 X"g`hT"i 4. 说明:光学元件 a g6[Nk G.]'pn mjKu\7F 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 Q%x-BZb~ 位相延迟平板材料为N-BK7。 </!GU* 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 .S*VYt%K7 透镜材料为N-BK7。 6G7+&g` 其中心厚度与位相平板厚度相等。 |J$Bj? ~(\.j=x {Kz!)uaC 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 epgAfx-_OH 6'Q*SO;1gh ,0f^>3&n>e 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 sGG
q~7 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 !GnwE
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