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测量系统(MSY.0001 v1.1) c`agrS:P C9VtRq 应用示例简述 jiGXFM2 xWuvT, ^ 1. 系统说明 &VdKL2 d&owS+B{48 光源 }9*N EU)o — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) xO0}A1t
Wd 元件 !M(3[(Ni — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 d cG)ql4d 探测器 6=3;(2u[C" — 干涉条纹 Bgf'Hm%r 建模/设计 PZYVLUw
` — 光线追迹:初始系统概览 c*DBa]u2 — 几何场追迹加(GFT+): >ca w
: 计算干涉条纹。 QTmMj@R&( 分析对齐误差的影响。 ?Hrj}K27 jG^f_w 2. 系统说明 F['%?+<3 mFx\[S 参考光路 MY>*F[~ 2  [;LP6n7v 3. 建模/设计结果 QnH;+k
ln "59"HVV 557%^)v 4. 总结 =jD9oMs {osadXdC 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 \]Y=*+{ Dk#4^`qp1 1. 仿真 }Q-%ij2 以光线追迹对干涉仪的仿真。 i0g/'ZP 2. 计算 O3En+m~3n) 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 m_C#fR /I 3. 研究 i@o'Fc 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 )>r sX) B{2WvPX~q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 bS&XlgnKi #V U>Z|$@N 应用示例详细内容 V:h3F7 系统参数 fb_q2p}
G 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ,wB)hp 9FcH\2J 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 l % 0c{E~ ~aL&,0 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 N+CcWs!E /=gU 2. 说明:光源 (RafidiH WJBwo%J }_,={<g 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Nf1&UgX 因此,相干长度大于1m kB]?95>Wx 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 }S=m :
VKH 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 yo]8QO]97 FKU)# Eo
5-.{RU= Mp_SL^g| 3. 说明:光源 5D<"kT "VI2--%v3 ,nGZ(EBD 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 evro]&N{ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 8ps1Q2| 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 :IRQouTf:, 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 is6d:p 4. 说明:光学元件 l*]nvd_ JVq`v#8 K/|qn) 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 :~LOw}N!aQ 位相延迟平板材料为N-BK7。 ?V$@2vBVX4 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 6(-c$d`C.0 透镜材料为N-BK7。 }cd-BW 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Z/+H my*E7[ tr$d? 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 m4 :"c" Dfw%Bu Je#vu`.\\ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Hr!%L*h? 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 IIUTo
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