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测量系统(MSY.0001 v1.1) EA9.?F
UugR 应用示例简述 Qb55q`'z f1elzANy 1. 系统说明 3hje /lPnf7 光源 {.[EX MX — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) B4* y-Q.* 元件 j {2 0 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ,oSn<$%/q 探测器 C+jXH)|iq — 干涉条纹 6BEpnw>p( 建模/设计 jt: *Y — 光线追迹:初始系统概览 sDTw</@ — 几何场追迹加(GFT+): Gm9 计算干涉条纹。 v^F00@2I 分析对齐误差的影响。 b!Nr 7/k7V) 2. 系统说明 oSf`F1;)HQ o:"(\$ 参考光路 a#[gNT~[  @g+v2(f2v 3. 建模/设计结果 UL#:!J/34 V"2 G Y
9z*xS 4. 总结 m']$)Iqw Qy}pn=#Q 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 .3XiL=^~Qp n9k 1. 仿真 ~Cw7.NA{3 以光线追迹对干涉仪的仿真。 4,h)<(d{ 2. 计算 )'e1@CR 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 UJ%.KU%Q} 3. 研究 XqhrQU|wM 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 j8bA"r1 IMMsOl 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Iw)m9h ?m7i7Dz
应用示例详细内容 }R5EuR m\
系统参数 ZNk[Jn
[. 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 CR2.kuM0~ ;L#RFdh 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 :oC;.u<*8 C.LAr~P 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 |O'*CCrCL *n#
=3D 2. 说明:光源 Qb%;
|li j)@{_tv6; h6<i,1gQ1 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 .
.S3-(xW 因此,相干长度大于1m YRf$?xa 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 G/fBeK$. 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 F^%\AA]8 K3h7gY| .
G,^ ?qbHg W?P4oKsql* 3. 说明:光源 rUyGTe(@h k{b|w') #2:?N8vz* 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 <|X+T, 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 (18ZEKk 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 qp#Euq6 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 O7LJ-M 4. 说明:光学元件 KSEKoHJo M2d&7>N d7QUg6= 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 'W54 T 位相延迟平板材料为N-BK7。 KydAFxUb 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 '73}{" ' 透镜材料为N-BK7。 !;[cJbqnh 其中心厚度与位相平板厚度相等。 DKem;_6OQ )^4Ljb1 <&O*'
<6C 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 mJ5%+.V q(hBqU W T\6,@7 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 OkISRj'!U 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Z02EE-A
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