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测量系统(MSY.0001 v1.1) 1Zc1CUMG x8I=I"Sp 应用示例简述 Az.(tJ X" >U\,(VB 1. 系统说明 gUf-1#g4\` \}SA{) 光源 2GNtO!B. — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) J%d\ 7 元件 >e y.7YG — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 |7Fe~TC 探测器 L&$ X\\Lv^ — 干涉条纹 s& |