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测量系统(MSY.0001 v1.1) sUm' R_xRp&5 应用示例简述 Jpo(Wl dGTsc/$ 1. 系统说明 v74&BL]a Ld-_,-n 光源 K 'I#W
lg — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ?b5^ 元件 S>;
5[l 4 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 {cw /!B 探测器 $,fX:x — 干涉条纹 f'3$9x 建模/设计 -o
EW:~y — 光线追迹:初始系统概览 $
o#V# — 几何场追迹加(GFT+): y$R_.KbO 计算干涉条纹。 vgN&K@hJ 分析对齐误差的影响。 E q+_&Wk B^jc3 VsR 2. 系统说明 k+l b@! b*Q&CL 参考光路 "8zDbdK  %GIr&V4| 3. 建模/设计结果 lCHO;7YHX 63x?MY6 S?BG_J6A7 4. 总结 Lbb0_-'] t.\dpBq 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Yk Qd
-1ub^feJ, 1. 仿真 57'4ljvYi 以光线追迹对干涉仪的仿真。 sds"%]rg 2. 计算 IRqy%@) 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 PRE|+=w$ 3. 研究 &~U ] ~;@ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 zT?D<XW>1 1D!<'`)AY 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 'a.qu9PJ hqkz^!rp 应用示例详细内容 Fh9h,'
V" 系统参数 0% I=d 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ?=fyc1 r^ ZEImjc 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ayF\nk4b ZO$%[ftb 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 $\y'IQ% ,L'zRyP 2. 说明:光源 qK&d]6H
R PXNh&N (7=9++uU 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 (Px OE 因此,相干长度大于1m 'K,:j 388 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 HT1!5 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 v0jgki4t G+\GaY[
fPW@{~t q{;:SgZ 3. 说明:光源 ,:\|7 F yY&I |