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测量系统(MSY.0001 v1.1) 9 <{C9 akU2ToP 应用示例简述 0;=-x" RHMXPsj 1. 系统说明 ^YropzHZ4E 4+s6cQ]S` 光源 x!\q69nd v — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Qh(X7B 元件 \C h01LR" — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 f'H|K+bO 探测器 n|LpM . — 干涉条纹 %yu =,J j 建模/设计 JXYZ5&[ — 光线追迹:初始系统概览 x+pf@?w — 几何场追迹加(GFT+): m!ueqV" 计算干涉条纹。 #/f~LTE 分析对齐误差的影响。 13`Mt1R mbGma 2. 系统说明 xZlCFu V3cKbk7~ 参考光路 aR/?YKA 
mPk'a 3. 建模/设计结果 .\glNH1d vIbM@Y4
'? 3m`>D
e 4. 总结 jWv'`c 5UO+c(T 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 9S*"={}% =@?[.` 1. 仿真 fzQR0 以光线追迹对干涉仪的仿真。 I4{xQI 2. 计算 `+"(GaZ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Cl]?qH*: 3. 研究 O6R)>Y4 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ng"=vmu hN
&?x5aC> 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 }:
HG)V kzDN(_<1 应用示例详细内容 EN2SI+ 系统参数 N+rU|iMa. 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 N}K
[Q= U`mX
f#D 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 "+-
'o+ DylO;+ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 q!eE~O;A
p;w&}l{{ 2. 说明:光源 bj`\;_oo 7upko9d/ 8b)WOr6n 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 v{VF>qEP 因此,相干长度大于1m <f>w"r 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 %
D 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 gM\>{ihM' )Y7H@e\1
QLWnP- a(~Y:v 3. 说明:光源 f
+{=##'0
D}98ZKi ^{4BcM7eH 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 yx :^*/ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 fRQ,Z 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 <\~v$=G 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ,PTM'O@aU# 4. 说明:光学元件 %o0b~R %8FfP5# J rx^ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 e0zP LU} 位相延迟平板材料为N-BK7。 lFjz*g2' 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 r ;RYGLx 透镜材料为N-BK7。 i/x |c!E 其中心厚度与位相平板厚度相等。 i6'=]f'{ <l{oE?N uL`#@nI 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ny5P*yWEh q!y. cyL t0m;tb bg 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 }qn>#ETi 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ("2X8(3z
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