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测量系统(MSY.0001 v1.1) r(yJE1Wz uYIw ?fXy 应用示例简述 BnvUPDT& E}lU?U5i 1. 系统说明 \hdR&f5q r/HKxXT 光源 |2CW!is — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) bv9\Jp0c 元件 5
usfyY]z — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ]w]Swt2n 探测器 O}NR{B0B3& — 干涉条纹 aw/Y# 建模/设计 "M
v%M2'c — 光线追迹:初始系统概览 vNLf)B — 几何场追迹加(GFT+): EAF<PMb 计算干涉条纹。 TSdjX]Kf 分析对齐误差的影响。 BS;rit: |(}uagfrd 2. 系统说明 Yk(OVl T ' :g8a=L 参考光路 UYW%%5p?  [
w 3. 建模/设计结果 7
tF1g=\ $^I uE0. 6NbIT[LvT 4. 总结 4v3y3 &_,^OE}K_: 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 uQ&&?j _E)xR 1. 仿真 7$x@;%xd 以光线追迹对干涉仪的仿真。 5U|f"3&8 2. 计算 ZgtW 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 yZxgUF&` 3. 研究 |?s%8c'w= 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 'gUHy1p TnL%_!V! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 $MKx\qx} }n6BI}n 应用示例详细内容 zVxiCyU 系统参数 fL83:<RK 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 9Lk.\. eQcy'GA06 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 >G'
NI?$ <^R\N# 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 hrZ~7 0r da\K>An> 2. 说明:光源 LN?T$H ;ZjQy,H% H\8i9RI 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 uFSgjWJ#~ 因此,相干长度大于1m ,U>g LTS 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 )K@ 20Q+0K 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 uAzVa!) %E1~I\n:F
*X %`MN V QPq+78 3. 说明:光源 t@}<&{zk C1p
|.L?m &HFMF)NA 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ' AeU 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 s<:"rw` 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 LrF'Hd=O 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 VxjHB?) 4. 说明:光学元件 SwC,=S K W04 xd(AUl4qY 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 rRT9)wDa 位相延迟平板材料为N-BK7。 S31:} 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 bn<&Xe 透镜材料为N-BK7。 CFul_qZ/e 其中心厚度与位相平板厚度相等。 (d#?\ 9!2KpuWji lG\lu'<C 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 UY}lJHp0 VrF]X#\) 5U1@wfKE3> 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ]d$)G4X1 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Q=e?G300#L
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