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测量系统(MSY.0001 v1.1) Yjl:i*u/ \XfLTv 应用示例简述 ^ ),;`YXZ h8;H<Y;yQ 1. 系统说明 L=WKqRa>4 fwa*|y; 光源 czB),vooz — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) sLSH`Xy?5 元件 j(M.7Z7^ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 /J(~NGT 探测器 :'[ha$ — 干涉条纹 $+,kibk*R 建模/设计
~D` — 光线追迹:初始系统概览 AKS. XW — 几何场追迹加(GFT+): /2Ok;!. 计算干涉条纹。 uC[F'\Y 分析对齐误差的影响。 ~NO7@muw
!FvL2L 2. 系统说明 Qtt3;5m <oSx'_dc 参考光路 .&h|r>*|J  L[U?{ 3. 建模/设计结果 B3I0H6O O(:/&`) oxJAI4{y
4 4. 总结 jLw|F-v-l< D8{f7{nY 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 !wZIXpeL zhY]! 1. 仿真 \KKE&3= 以光线追迹对干涉仪的仿真。 IBW-[lr7 2. 计算 \{qtdTd 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 .}E@7^X 3. 研究 JZJb&q){ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 AE Abny
q *@WBaN+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 UlPGB2B } V"A;5j` 应用示例详细内容 jY ;Hdb'' 系统参数 6.a|w}C` 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 j{/5i`5m Ci2*5n< 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 CX;
m8 *z dUCX 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ^,J>=>,1\ lXD=uRCI 2. 说明:光源 t7*F, *T.V5FB0S di<g"8 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 mqY=N~/O 因此,相干长度大于1m /2 qxJvZ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
6B}V{2 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ?ea5k*#a DW)X3A(^
v7f[$s$m Q,};O$h 3. 说明:光源 V}JBv$+ko ]1I-e2Q-J -<tTT 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Dj3,SJ*x 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ;Q[E>j?w= 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 zXxA" 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 XMaw:Fgr 4. 说明:光学元件 l .m # `6PBV+]Vm3 LCb0Kq}*/( 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 PH?<)Wj9i 位相延迟平板材料为N-BK7。 ^}<]sjmk 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 g9IIC5 透镜材料为N-BK7。 E_{P^7Z|Jg 其中心厚度与位相平板厚度相等。 $-\%%n0>6 |:`)sx3@# %Siw> 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 <Rz[G+0S= 1\/~> SzG?m] 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 |_a^+!P 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 W~s:SN
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