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测量系统(MSY.0001 v1.1) lB8gD +c__U
Qx 应用示例简述 2R;#XmKS ),^pi? 1. 系统说明 rfr]bq5 .S4%Q9l 光源 +Y$EZL.A — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) +wI<w|! 元件 fX>y^s?y — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 FJT0lC 探测器 vskp1 Wi( — 干涉条纹 /a6i` 建模/设计 SzfMQ@~ — 光线追迹:初始系统概览 ^ohIJcI- — 几何场追迹加(GFT+): vTIRydg2b 计算干涉条纹。 s%RG_"l 分析对齐误差的影响。 k~fH:X~x 0]^gT' 2. 系统说明 J@#rOOu rZ2cC# 参考光路 %J1oz3n  agQDd8 oX 3. 建模/设计结果 iJCv+p_f =F
%lx[9Ye 5Yww,s 4. 总结 fVdu9 l \^jRMIM== 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 a>Zp?*9 J"TF@7{p 1. 仿真 MIh\z7gW 以光线追迹对干涉仪的仿真。 !/=.~B 2. 计算 ff~1>=^
采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 "b%FkD 3. 研究 Aq\K N. 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 MIb[}w= ,J:Ro N_: 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 t+{vbS0 ;V?d;O4u 应用示例详细内容 ~@#a*=" 系统参数 7:<A_OLi 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ?/myG{E 15r=d 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 'K#ndCGJ$ c]/S<w< 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 c5:X$k\ Cl{Ar8d} 2. 说明:光源 J ;4aghzY N,3iSH=cN[ +[_3h9BK 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 e+MQmWA'F 因此,相干长度大于1m M}Xf<:g) 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 4S[UJ% 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 RgZ9ZrE\ ml /S|`Drk
nd7g8P9p m;t&P58f 3. 说明:光源 bZ``*{I/ &HtTh { 0%4OmLBT 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 u8M_2r 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ncUS8z 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 VqxK5 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 .J O1kt 4. 说明:光学元件 P,F
eF'J^ e`OQ6|.k8 bdG@%K', 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 * ^V?u 位相延迟平板材料为N-BK7。 1ANb=X|hig 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 't5`Ni 透镜材料为N-BK7。 S>S7\b' 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Aa4Tq2G ?~!9\dek, >?rMMR+A 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 1hE{(onI )nFyHAy- L(sT/ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 DfP-(Lm) 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ]V_A4Df
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