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测量系统(MSY.0001 v1.1) [3>l^Q|# 8XD9fB^ 应用示例简述 DZ?>9W{ v)N8vFdd 1. 系统说明 [-bL>8 6*Qn9Q%p- 光源 1!/cd;{B — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) (k"|k 元件 0I* ^VGZ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 A0# K@ 探测器 O?L_9L* — 干涉条纹 %?J\P@ 建模/设计 1wmS? — 光线追迹:初始系统概览 zkYlIUD — 几何场追迹加(GFT+): ]^Z7w`=%5 计算干涉条纹。 KYD,eVQ 分析对齐误差的影响。 p+@Wh3 b{)9?%_ 2. 系统说明 8X][TJG$ e2*0NT^R 参考光路 yc8FEn!)&  )I9AF,K 3. 建模/设计结果 UTc$zc7 X0^gj>GI| VG*BAFs 4. 总结
M.zS + E&}r"rbI 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 k{Vc5F z11;r]VI 1. 仿真 Kg=TPNf"$ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 hi"[R@UG 2. 计算 kEf}yTy 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 X ~%I(?OX 3. 研究 m>k
j @^SQ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 M7/P&d quN7'5ZC[ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 N{46DS ZZA!Y9ia2 应用示例详细内容 d%Jl9!u 系统参数 kV!0cLH!hH 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 K20n355uE oD4NQR 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 yBE1mA:x7: D{Y~kV| 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 e'[T5HI -Cd4yWkO 2. 说明:光源 VQU [5C g4<%t,(88E bITOA 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 {/uBZ( 因此,相干长度大于1m X5U_|XK6Y 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 0{F"b'h 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 e
&^BPzg }X$vriW
fO[X<|9 3H%R`ha 3. 说明:光源 pRx^O
F(3 @;qC% +^ ,pa,:k? 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 {R
`IA|T#k 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Wy@Z)z? 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 [q cT?h 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 `)\_ 4. 说明:光学元件 Wv_5sPqLW <*0MD6$5 TP{lt6wws( 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 MG>g?s'! 位相延迟平板材料为N-BK7。 leiED' 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 </t_<I0{ 透镜材料为N-BK7。 OHssUt 其中心厚度与位相平板厚度相等。 6#T?g7\pyR 7U:,:= (aVsp*E 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 b5Rjn1@ 96]lI3c ^%~ztn 51 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 H1| -f]! 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 L$zT`1Hy
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