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测量系统(MSY.0001 v1.1) 2)LX^?7R wa3F 应用示例简述 Sni=gZ K B\<ydN 1. 系统说明 P1d,8~; LF=c^9t 光源 af>3V( 7 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) QPg2Y<2 元件 X=_Z(;<& — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 yz)ESQ~va 探测器 =:5<{J OG — 干涉条纹 !UNNjBBP7 建模/设计 Xem| o& — 光线追迹:初始系统概览 R7aXR\ R — 几何场追迹加(GFT+): x0x $ 9 计算干涉条纹。 @l,{x|00 分析对齐误差的影响。 wu^q`!ml F.KrZ3%4iB 2. 系统说明 0BC`iql5 %]jQ48^R 参考光路 ]gP8?s|  3X'WR] 3. 建模/设计结果 o>u!CL< 9.8,q IQ{?_' 4. 总结 2v^lD(' Jr?!Mh- 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 )5i*/I\ [:pl-_.C 1. 仿真 ,kE=TR.| 以光线追迹对干涉仪的仿真。 AF[>fMI 2. 计算 +u#Sl)F 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 q!2<=:f
3. 研究 YX `%A6 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 C9Wojo. .;Z.F7{q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 $[QcEk 2fBYT4*P;
应用示例详细内容 W"O-L 系统参数 ohTd'+Lm 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Z!)f* p,s&61] 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 IDmsz H
/%}R 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 vTcZ8|3 e b6Xi 2. 说明:光源 %#4 +! P8]ORQ6ZF g
2#F_ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 yjv&4pIc1 因此,相干长度大于1m MBv/ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 5%qH7[dx 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 %%x0w^ UGf6i"F
6'vi68 f~v"zT 3. 说明:光源 TRCI\ j #es2; 777rE[\@b 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 X=#It&m%s 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 x {vIT- f 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 /[L)tj7B 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ze$Y=<S 4. 说明:光学元件 \3:
L Nt
"$Y(NFb BWohMT 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 J2=*-O: 位相延迟平板材料为N-BK7。 ( w5f(4 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 d{l{P]nr 透镜材料为N-BK7。 5d(qtFH1 其中心厚度与位相平板厚度相等。 8LeKwb P_mi)@ PMsC*U,oe 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 YjL
t&D:IZ fxOE]d8v LAos0bc)w\ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 cPm~`
Zd 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 `TkbF9N+
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