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测量系统(MSY.0001 v1.1) !Z!g:II
/ 4/ kv3rv 应用示例简述 3A:q7#m W7"{r)7 1. 系统说明 *[ #;j$m 3f" %G\ 光源 PWRy7d — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) VErv;GyV 元件 (&|_quP7O — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Jj~EiA 探测器 tWTKgbj( — 干涉条纹 EN{]Qb06A 建模/设计 8dD2 — 光线追迹:初始系统概览 8.'#?]a — 几何场追迹加(GFT+): '7wd$rl 计算干涉条纹。 LE5.b]tv2 分析对齐误差的影响。 WwH+E]^e+ taGU 2. 系统说明 >3 yk#U|7} S po?i.# 参考光路 Zwcy4>8  ] Z8Vj7~ 3. 建模/设计结果 H>9CW<8 `l2O?U -@ t}IkK=f 4. 总结 I;5R2" 3 ?D,=37 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 O#wpbrJ vZ/6\Cz 1. 仿真 x!\ONF5$ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 o"wXIHUmV 2. 计算 *
tCS 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 08X_}97#WF 3. 研究 Pe C7 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 xq6cKtSv y\N|<+G+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 #;n+YM">: DD" $1o" 应用示例详细内容 gaA<}Tp, 系统参数 Kp+CH7I* 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ^F?&|clM/ UobyK3.% 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 dKl^jsd + OV')oE 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 $+.l*] ]Jh+'RK\# 2. 说明:光源 %m:m}ziLQ G'YH6x, .2J
L$" 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 +T9:Udi 因此,相干长度大于1m vI$t+m: 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 E\gim<] 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Z3[S]jC ==i[w|
+[SgO}sF )%!XSsY.N| 3. 说明:光源 Sa19q.~% uKgZ$-' JdZ+Hp3. 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 g$dsd^{O7 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 0]HYP;E"U 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 4v[~r1!V 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 [{C )LDN 4. 说明:光学元件 >
iE!m P{Q=mEQ rJ KZ)N{ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 UT}i0I9 位相延迟平板材料为N-BK7。 Kx_h1{ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 'zh7_% 透镜材料为N-BK7。 K't]n{$ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 nx0K$Ptq DcSnia62f v&Kqq!DE 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 RpLE
02U ?eV4SH gWY"w!f 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 mo~*C 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 |W<+U
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