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测量系统(MSY.0001 v1.1) h_H$+!Nzb wVp 应用示例简述 AuWEy-q? x%0Q W 1. 系统说明 d?'q(6&H INi(G-!g 光源 ?&"-y)FG — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) hbn2(e;FZ 元件 dZ_Hj X7 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 4R.rSsAH 探测器 85-00m ~ — 干涉条纹 yy G:Kl 建模/设计 3s"x{mtH — 光线追迹:初始系统概览 :H3qa2p — 几何场追迹加(GFT+): { "=d7i 计算干涉条纹。 ?9.SwIxU& 分析对齐误差的影响。 Xji<oih 6/ F]ncwG 2. 系统说明 .t$~>e
. )nQA) uz 参考光路 # sm>;+J  WF`y j%0 3. 建模/设计结果 6_rS!X HOBM?|37CU $SA8$!: 4. 总结 $3w a%" Fn1|Wt* 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 }GRZCX> )BmK'H+l 1. 仿真 1UT&kD!si 以光线追迹对干涉仪的仿真。 .3M=|rE 2. 计算 #[ipJ % 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Z2!O)8 3. 研究 dJ#mk5=
" 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 9/'zk z^'3f!:3 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 t&*X~(Yb! }\?UmuolQ 应用示例详细内容 x(ue
|UG 系统参数 vu Vcv
1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 oF7o"NHaWa Db3#; 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 fq-e2MCX5 Yi:@>A<# 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Ahv %Q%m%2 68
vu 2. 说明:光源 m:_'r"o ]rY:C "# /?C}PM 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Te_%r9P|2 因此,相干长度大于1m .EpcMXT% 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 mO=bq4! 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Y)lYEhF 7|bzopLJk
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k 2<q.LQ}< 3. 说明:光源 wA$ JDf)Vg G6@XRib3 R+}7]tva6C 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 :rR)rj' 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 0&wbGbg(W 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 vM5yiHI(jb 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Q#M@!& 4. 说明:光学元件 Ps<;DE\$f4 *ETSx{)8 Ww\M3Q`h 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ~*NG~Kn"s 位相延迟平板材料为N-BK7。 >JVdL\3 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 x)GpNkx: 透镜材料为N-BK7。 .0 }eg$d 其中心厚度与位相平板厚度相等。 [C@|qAh $DS|jnpV *,az`U 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 lW6$v*
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~ Y-YlQ^ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 VCf/EkC 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 d0U-:S-
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