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测量系统(MSY.0001 v1.1) 3 A2X1V" YUdCrb9F 应用示例简述 +Ze HZjd H)S&sx#q] 1. 系统说明
:Rc>=)<7 #N\kMJl$l 光源 Afi;s., — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) E/9h"zowS 元件 &6nOCU) — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 3B:U>F,]4 探测器 }6SfI; — 干涉条纹 ?qwTOi 建模/设计 [eI{vH{ — 光线追迹:初始系统概览 4PUSFZK? — 几何场追迹加(GFT+): >$h *1/ 计算干涉条纹。 Ld>y Fb(` 分析对齐误差的影响。 :lQl;Q -e D. !m*oq 2. 系统说明 kxU<?0 +u;f]p 参考光路 7)sEW#d!  "HTp1 3. 建模/设计结果 Fl\X&6k t?H.M iL f:an*vH 4. 总结 !$r4 lu 1SoKnfz{6 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 kylR) 37'@,*m` 1. 仿真 ZzET8?8 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ?r"][< 2. 计算 WoGK05w 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 =~Oi:+L 3. 研究 Nx>WOb98
不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 p@`rBzGp FT'_{e!M 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 `C 'WSr Cw1Jl5OVZ 应用示例详细内容 c(jF^
0~ 系统参数 *gRg--PY% 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 *oLAO/)n vUD,%@k9 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 3In`
!@ EJ EIO!f[]o 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 .U|e#t '^pA%I2D 2. 说明:光源 |/K+tH k{>rI2; kb<Nuw 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ;!U`GN,tH 因此,相干长度大于1m '~i;g.n=}- 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 5HP6o 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ;n?72&h
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-N`j` zb| BEM_y:# 3. 说明:光源 sXm8KV (,$ H!qKy D)z'FOaI 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 J5Rr7=:*S 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 O8+e: K[D 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 [OJ@{{U% 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Ep-{Ew{T_= 4. 说明:光学元件 Qo+_:N )%p.v P'p "-JJ6Bk 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 :_v/a+\n 位相延迟平板材料为N-BK7。 3f9J!B`n 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 zRtaO'G( 透镜材料为N-BK7。 -Si'[5@ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ^luAX
}* 5^'PjtW6 V#jFjObTN 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 `[\*1GpAo WHxq-&= R o :/J 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Sd?:+\bS; 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 *k'D%}N:
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