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测量系统(MSY.0001 v1.1) [|4}~UV
ejVdxVr \7 应用示例简述 QU.0Elw #+9rjq:v#] 1. 系统说明 %JQ~!3 wa!zv^;N* 光源 wX ,h<\7 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) -I ?z-?<D 元件 Go 1(@ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 eOt%x Tx 探测器 RdgVBG#Z1 — 干涉条纹 6B#('gxO 建模/设计 QC{u| — 光线追迹:初始系统概览 a9=> r — 几何场追迹加(GFT+): ]ni6p&b> 计算干涉条纹。 p%F8'2)} 分析对齐误差的影响。 U/Wrh($ #4 f])M04< 2. 系统说明 9JPEj-3`g )CLf;@1 参考光路 bhD ~4Rz  ca(U!T68 3. 建模/设计结果 1AF%-<`?s ;1 |x x?
N.WABr; 4. 总结 Lz@$3(2 HY ;9?KJ' 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 9_ZBV{
U&P{?>{u 1. 仿真 8Atq,GcG 以光线追迹对干涉仪的仿真。 sw$2d 2. 计算 }_}KVI 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 i@5)`<? 3. 研究 ]tB@kBi " 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 hv>KX X&a:g 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 o@W_ai_ q8>t!rh<R 应用示例详细内容 5qbq,#Pf 系统参数 ;~+]! U 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 X*F_<0RC1 S8" f]5s 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ~~nqU pK?v nBz`q+V 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
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6 u7s"0f` 2. 说明:光源 $.rzc]s #DFp[\)1 ~$<UE}qp 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 |sIr?RL{C 因此,相干长度大于1m M:|8]y@ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 J;}3t! 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 j*400 Qz,|mo+
hJ*Ihwn| }D*yr3b 3. 说明:光源
>&U@f n2f6p<8A .[:VSM7T 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 r37[)kJ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 0[T,O,y 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 tY+$$GSQj 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 C ^w)|2o} 4. 说明:光学元件 TL0[@rr4 '<dgT&8C 3qaMO#{M 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 jlqv2V7=/ 位相延迟平板材料为N-BK7。 J !HjeZ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 %m&@o~+ 透镜材料为N-BK7。 5~H#(d<oZ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 V'DA[{\* Lrd[O v mi,&0xDea 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 YKZa$@fA? S`!-Cal`n xY<{qHcX 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Y32 "N[yw 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 i7*EbaYzUO
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