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测量系统(MSY.0001 v1.1) N7}Y\1-8 3B+
F'k 应用示例简述 =5zx]N1r PNn-@=% 1. 系统说明 <;T$?J9 ~C;1}P%9x 光源 c<T'_93 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) LEM^8G]O 元件 aucQZD-_" — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ?M02|8- 探测器 [p
6#fG * — 干涉条纹 >mWu+Nn: 建模/设计 4t Z. T9d — 光线追迹:初始系统概览 @['4 X1pqt — 几何场追迹加(GFT+): W;^bc*a_ 计算干涉条纹。 x?|C-v 分析对齐误差的影响。 +ISXyGu lMcSe8LBQa 2. 系统说明 .JJ^w!|># xUG:x4Gz+ 参考光路 TAXl73j_CY  -_>g=a@& 3. 建模/设计结果 $1(FN+ Mb ;4g_~fB x:Nd>Fb 4. 总结 |>Xw"]b; @|2}*_3\ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 S dI/ E\%'/3o 1. 仿真 f%1Dn }6 以光线追迹对干涉仪的仿真。 c=-2c&=& 2. 计算 +]!`> 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 1f.xZgO/2 3. 研究 $_.m< 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 .QhH!#Y2D gw1|
?C 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 h0N*hx .)wj{(>TJ 应用示例详细内容 &M,"%w! 系统参数 SwDUg}M~ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 >VAZ^kgi MKuy?mri~ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 7 -(LWH OoFQ@zE7% 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 (5"BKu1t <N{pMz 2. 说明:光源 Wv AlQ!Q)y<@ j=^b'dyL 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 `B`/8Cvg 因此,相干长度大于1m `R}D@ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 @'EP$!c 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 J-W,^% (VPT% l6
O ).1> \w
6%J77 3. 说明:光源 %5_eos&<^) $E^#DjhRQ3 VD\pQ.= 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 o(W|BD! 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Z?%j5G=4w 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 C { }s 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 |wf:|% 4. 说明:光学元件 u1 uu_* !Xwp;P= E(T6s^8 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ?80@+y] 位相延迟平板材料为N-BK7。 Ne]/ sQ0 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 i\S } aCm 透镜材料为N-BK7。 's{-1aW 其中心厚度与位相平板厚度相等。
mI=^7'Mk (BC3[R@/l &DX9m4,y 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 *JG?^G"l S.+)">buH xDBEs* 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 P,"z 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 iSxxy1R
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