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测量系统(MSY.0001 v1.1) W]C_oh q[Sp|C6x 应用示例简述 hO:)=}+H }bj,&c
1. 系统说明 %-0em!tUV jn5=N[hd 光源 +dPE!: — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) b[QCM/ 元件 \&l*e — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 RBHqLg( 探测器 'Sb6
w+ — 干涉条纹 g&5pfrC [ 建模/设计 k;AV;KWI' — 光线追迹:初始系统概览 &?uzJx~ — 几何场追迹加(GFT+): ?45K%;.9Q 计算干涉条纹。 -jklH/gF\% 分析对齐误差的影响。 2={K-s20 v/4X[6( 2. 系统说明 B 7x"ef #o}{cXX# 参考光路 PN)TX~}  x u\/]f) 3. 建模/设计结果 ,vHX>)M| b5iJm- =Un 6|] 4. 总结 d}^:E SFm.<^6 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 qH}62DP3 b;t}7.V'% 1. 仿真 O!@KM; 以光线追迹对干涉仪的仿真。 rE'
%MiIK 2. 计算 1)c=15^ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 y:(C=*^<t 3. 研究 A16- 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 c] :J/'vc o<eWg 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 PPIG?fK) .k?hb]2N 应用示例详细内容 ]#Z$jq{, 系统参数 z|4@nqqX 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ybuSqFy`$ mc[_>[m 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 SieV%T0t1 "e!$=;5 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 |2c!t$O@v @kgpq 2. 说明:光源 '~vSH9nx/ ct4)faM 9FR1Bruf 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ^9m]KEucd7 因此,相干长度大于1m +cplM5X 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 U Y?]\4Om 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 H2tpP~!G ]t!}D6p
?PU(<A+ H9a3rA> 3. 说明:光源 Ok.DSOT ;V(}F!U\z 9p0HFri[ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 R~mMGz 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 pU)3*9?cIl 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 _xZb;PbFE 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 sN \}Q#:8 4. 说明:光学元件 sp]y! zb"5 @'| 6lG
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&AMg 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 JbD)}(G; 位相延迟平板材料为N-BK7。 =R8.QBVdN 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 :|6D@ 透镜材料为N-BK7。 ]KV8u1H> 其中心厚度与位相平板厚度相等。 z_iyuLRdb )-Sl/G @42lpreT 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 \?]HqPibx KV&_^xSoh| #mFAl|O 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 .Y Frb+6 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ^xu)~:} i
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