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测量系统(MSY.0001 v1.1) s8|#sHT F$ .j|C1a 应用示例简述 7atYWz~yG ^+[o+ 1. 系统说明 dW7dMx q
rbF@{ 光源 G
7)D+],{Y — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ~,e!t.339 元件 >B~jPU — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 0iXqAa 探测器 MatC2-aV1 — 干涉条纹 Y%:p(f< 建模/设计 tL+8nTL — 光线追迹:初始系统概览 16N8h]l — 几何场追迹加(GFT+): oQ;f`JC^ 计算干涉条纹。 |->y'V 分析对齐误差的影响。 -e(2?Xq9 Xs?7Whc6 2. 系统说明 &up/`8 >KY\Bx 参考光路 TjI NxP-O  N/?MsrZw 3. 建模/设计结果 p>eD{#2 ~vl: Tb Mty]LMK 4. 总结 %yw*!A1 nv $ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ['km'5uZ^
P)ZSxU 1. 仿真 RO.(k!J . 以光线追迹对干涉仪的仿真。 g[M@ 2. 计算 @B9|{[P 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 LVEVCpp@ 3. 研究
18A&[6"! 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Mz++SPG7 _SP
u`=~K 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 )ql?} }ZmdX^xB 应用示例详细内容 hYd8}BvA 系统参数 w|nVK9. 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 1UM]$$:i *Ra")(RnDK 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 &HXSO,@ fd,~Yj$R? 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 g?$9~/h :; ONGe/CEXT 2. 说明:光源 x b0+4w| =hs@W)-O =h_gj > 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 YqJIp. Z 因此,相干长度大于1m %|,<\~P 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 CXQ?P 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 \QMSka> 0&nF Vsz
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yY| . 3. 说明:光源 {f&ga Q~@8t"P /*O,T 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 !>:tF,fcB 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 }1W$9\% 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 rODKM-7+ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 qJ/C*Wqic 4. 说明:光学元件 #`fT%'T! LuqaGy}>- kxmS 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 L,D>E 位相延迟平板材料为N-BK7。 i@J,u 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 P&tK}Se^V 透镜材料为N-BK7。 `/AzX *` 其中心厚度与位相平板厚度相等。 &rd(q'Vi
@ubz?5 1%@~J\qF 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 )mPlB. bvx:R ~E$ lewDR"0Kx 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 2$o[ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。
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