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测量系统(MSY.0001 v1.1) AsuugcN* : 4-pnn 应用示例简述 (7!pc wexX|B^u 1. 系统说明 V"K.s2U^ %WR"qd&HSh 光源 XI$W — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) q)C
Xu 元件 8;<aco/62 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 wxJ"{(; 探测器 $>_`.*I/ — 干涉条纹 Y?K?*`Pkc1 建模/设计 8q6Le{G — 光线追迹:初始系统概览 ,+h<qBsV@ — 几何场追迹加(GFT+): I
H#CaD 计算干涉条纹。 Lh-Y5(c
o 分析对齐误差的影响。 reYIF* <Pe'&u 2. 系统说明 daSx^/$R 'ta&qp 参考光路 n.NWS/v_{  ~~"U[G1 3. 建模/设计结果 (Lh!7g/0N @44*<!da !h}Vz 4. 总结 @J6r;4|& kt_O= 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 I(&N2L$- %1GKN|7 1. 仿真 >Q"3dw 以光线追迹对干涉仪的仿真。 _^RN$4.R> 2. 计算 Uh1UZ
r 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 x@O)QaBN! 3. 研究
zZ51jA9x 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 g co;8e_ -R];tpddR5 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 0%HAa|L,, #a|r
^%D 应用示例详细内容 'ju_l)(R 系统参数 d0%Wz5Np 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 x+'Ea.^ 4XiQ8"C 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 9|@5eN:N -cn`D2RP 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 $5\sV4 8f oL>o*/ 2. 说明:光源 2p 7;v7)y 7rGp^ 4wEkxCWp/ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 r~,3 因此,相干长度大于1m apM)$ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 :]8A;`G} 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 *N{k#d/ cL#zE
QiVKaBS8 YReI|{O$c 3. 说明:光源 |?f~T"|> %7\l+g, 0oi.k; 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 tdu:imH~ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 #X{lV]Z 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 [;D1O;c'W. 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 wA,-!m 4. 说明:光学元件 ao(Lv+
Yyw3+3 JH2-' 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 mmNn,>AO! 位相延迟平板材料为N-BK7。 4QiV@#o: 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 *|L;&XM&/ 透镜材料为N-BK7。 *9F{+)A 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Ib/e\+H\ 4Uwcc):f zY4y]k8D* 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 &wkbr2P ,^v_gc W ,]Ua] 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 (v}l#M7w 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 6HVX4Z#VH
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