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测量系统(MSY.0001 v1.1) PVGvj c GA,6G [E 应用示例简述 jG"n);WF 481SDG[b 1. 系统说明 Cv@ZzILyoK K,7IBv,B[ 光源 $
e<&7 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) A4lh`n5% 元件 D YJ F6O — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 q[l!kC+Eh 探测器 Q+
r4 — 干涉条纹 H"_ZqEg 建模/设计 VTOZ#*f — 光线追迹:初始系统概览 >wiW(Ki} — 几何场追迹加(GFT+): ;++CMTza] 计算干涉条纹。 xXpeo_y' 分析对齐误差的影响。 l6^IX0&p C]ev"Am_)
2. 系统说明 Gj6(ycaS Yx4TUA$c' 参考光路 wAC*D=Qj  KZFnp=i 3. 建模/设计结果 =-XI)JV# #7!P3j }@
Nurs)%_ 4. 总结 Q/oe l'O*x |5o0N8!b[ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 cO9aT 0_d,sC?V 1. 仿真 !"w1Pv, 以光线追迹对干涉仪的仿真。 %SW"{GnO^ 2. 计算 3urL*Fw, 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 y8=(k}=3 3. 研究 Q;]g9T[) 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 v%_5!SR =D<{uovQB 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 8`e75%f:2 Q{ hXP*5 应用示例详细内容 Z x9oj 系统参数 L0\97AF 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 DA)mkp u)]]9G
_8 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 {U:c95#.!S 7Sc._G{[% 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Nqih LUv RP}.Ei 2. 说明:光源 $i s|B9B 739J] M ig
Mm.1> 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 *\9JIi 2 因此,相干长度大于1m O>YXvu 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 bVEt?E*+ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 9.F+)y@ }yde9b?F
>"^H"K/T K8,fw-S% 3. 说明:光源 nJ!`^X5I J&%d(EJM u="VJ3 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 (E'f'g 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 W'f{u&< 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 EAVB:gE 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 2=X\G~a 4. 说明:光学元件 iHKWz)0 {1H3VSYq 2rS|V|d 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 dA;f`Bi;Q 位相延迟平板材料为N-BK7。 `^t0379e 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 *],]E; 透镜材料为N-BK7。 D8u_Z<6IjI 其中心厚度与位相平板厚度相等。 F<'@T,LVc 0~qnwe[g} Vz$X0C=W;H 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Hu"?wZj tvH{[e$ ?eUhHKS5 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ~(2G7x)
由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 JJL#Y
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