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测量系统(MSY.0001 v1.1) +$},Hu69j >R !^aJ 应用示例简述 ^r;}6 m
U7Ad" 1. 系统说明 T_AZCl4d uX}M0W 光源 C
UBcU — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) X[;4.imE 元件 wZrdr4j — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 (nda!^f_s 探测器 (2qo9j"j/Y — 干涉条纹 DU1,i&( 建模/设计 nsgNIE{>gO — 光线追迹:初始系统概览 k )){1O — 几何场追迹加(GFT+): &Vgjd> 计算干涉条纹。 T/S-}|fhQ 分析对齐误差的影响。 -JwH^*Ad M;Vx[s,#, 2. 系统说明 XTW/3pB e`}|*^- 参考光路
8CEy#%7]}  +oQ@E<)H 3. 建模/设计结果 3'&]v6| uF(-h~ yDd&*;9%Qg 4. 总结 O~aS&g/sf QG9 2^ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 $ /wr? dwx1EdJ{ 1. 仿真 3U:0 ,-j" 以光线追迹对干涉仪的仿真。 R!$j_H 2. 计算 NpRC3^ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 3*arW|Xm 3. 研究 U}Hmzb 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Q_uv.\*z_ 89 (k<m 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ]Uxx_1$, $k!@e M/R 应用示例详细内容 S%%>&^5 系统参数 ;UPw;' 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 i1G}mYz_ oN _%oc 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 NU
6P HVu_@[SYR3 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 [|F.*06SK 2,_BO6
!d 2. 说明:光源 +;>>c`{ [;.zl1S< u8[X\f 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 DDkOg] 因此,相干长度大于1m +JQN=nTA 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Za01z^ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 sk],_ l< _wHqfj)
AMO{?:8Y; H<FDi{ 3. 说明:光源 7x1jpQ- 14^t{ V25u'.'v 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 IPT}JX' 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 OK2wxf 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 U\b,W&%P 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 v.Q)Obyn 4. 说明:光学元件 ^rxXAc[ iezz[;t @7BH`b$)! 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 a!>AhOk. 位相延迟平板材料为N-BK7。 K, 35* 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 'rCwPsI&4 透镜材料为N-BK7。 Crey}A/N 其中心厚度与位相平板厚度相等。 )T2Sw z/ ZsV'-gu 8`*`4m 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 u|w[b9^r E7jv kU#$ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 *J%+zH 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 *.~M#M 9c
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