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测量系统(MSY.0001 v1.1) 6('xIE(R AI3\eH+ 应用示例简述 8PvO_Gz5 q:G3y[ P 1. 系统说明 B{lL}"++0 wKAxUPzm 光源 5!7vD|6 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) -A1:S'aN- 元件 N#7_)S[@0l — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Xb7G!Hk#g 探测器 :6}cczQE|O — 干涉条纹 W29GM -,K 建模/设计 M[KYt"v — 光线追迹:初始系统概览 bE2{^5iG — 几何场追迹加(GFT+): :c0 |w 计算干涉条纹。 +fG~m:E 分析对齐误差的影响。 (eO_]<wmky anFl:= 2. 系统说明 r }Nq"s< EtA ,ow 参考光路 3E:+DF-Z\  )-S;j)(+ 3. 建模/设计结果 -|_io,eL; [jgC` ]d,#PF 4. 总结 gYfOa`k |~YhN'OJ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
3vF-SgCV d(6&kXK 1. 仿真 @RLlkWGc 以光线追迹对干涉仪的仿真。 qN6GLx% 2. 计算 ~,reS:9RZ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 bv'Z~@<c 3. 研究 B-aJn8>/ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 K]dX5vJw' 8!Q0:4Vb 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 kl9<l* (JeRJ4 应用示例详细内容 7'TXR[ 系统参数 }#9 |au` 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 T!gq
Z &3'zG) 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 PoRL35 gBXJ/BW$y 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 D[CEg2$y u^&,~n@n7 2. 说明:光源 /BfCh(B R=s^bYdoy R,[+9U|4V 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 e+P|PW 因此,相干长度大于1m ({p@Ay 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 }J\KnaKo 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 B<?fD o$bD?Zn
"Yf?33UNZ i@`T_&6l 3. 说明:光源 XX'Rv]T VWcR@/3 >rzpYc'~w 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 5}_DyoV 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ?kM53zbT# 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 T1pMe{ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 t!}?nw%$ 4. 说明:光学元件 XW9
[VUW~ RBM4_L OgBZoTT 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 @X*r5hjc 位相延迟平板材料为N-BK7。 h; sdm/ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 B|n<{g[-cM 透镜材料为N-BK7。 e8<[2J)P& 其中心厚度与位相平板厚度相等。 gEQevy`T%c R^F\2yth- WXC}Ie 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 NX4}o&mDwn 6sp?'GO`~ "Crm\UI6 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 [XP3 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 H&zhYKw
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