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测量系统(MSY.0001 v1.1) J-F".6i5 eU?hin@X 应用示例简述 ggr k_al*iM>H 1. 系统说明 _u`YjzK CLb6XnkcA\ 光源 ':'g!b`/ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) tli.g 元件 bLgH3[{ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 rz?Cn
X.t 探测器 a V3:{oL — 干涉条纹 J3K=z 建模/设计 hvd}l8 — 光线追迹:初始系统概览 S&op|Z)1 — 几何场追迹加(GFT+): l\HdB"nT 计算干涉条纹。 _"DS?`z6 分析对齐误差的影响。 I5$P9UE+^9 mo0\t#jA 2. 系统说明 (B7G'h.? f^WTsh] 参考光路 Wgq|Q*  }{aGh I~< 3. 建模/设计结果 I$n=>s S:\i
M: nR!e( 4. 总结 V|7YRa@ e%4?-{( 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 fCl}eXg6w )*|/5wW1 1. 仿真 Q=\
Oa(I 以光线追迹对干涉仪的仿真。 mCtS_"W 2. 计算 weitDr6 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Nd_fjB 3. 研究 4JSPD#%f 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 &c`-/8c
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k^y|\UtZ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 30Yis_l2h )M*w\'M 应用示例详细内容 s:`i~hjq 系统参数 cH]tZ$E` 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 &v\F ah U DA=U=F 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 #m+!< )vr@:PE 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 9N]Xa 6 Z/`p~e 2. 说明:光源 ]`E+HLEQ' Nz{dnV{&x; Ycm)PU [" 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 4DXbeQs: 因此,相干长度大于1m FoefBo?g65 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 5:Qz 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ."K>h3(&V X@nBj;
Vs>Pv$kW 0QQss 3. 说明:光源 [;E%o^/^ vG&>-Z W<Uu.Y{sG 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 FR(W.5[ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 2`yhxO 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 O9gq <d 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 BT{;^Hp 4. 说明:光学元件 ]5W$EvZ9) ?-??>& z y)f.ON36I 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ;'!x 位相延迟平板材料为N-BK7。 Z1Qz
LvWs 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ^<]'?4m] 透镜材料为N-BK7。 e r"
w{ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 \lL[08G r4.6W[|d 7GA8sK 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 owVvbC2<b( t2&kGf" 0V%c%]PH 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 .^YxhUH,G 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 5s7BUT
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