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测量系统(MSY.0001 v1.1) :1O49g3R WbIf)\ 应用示例简述 w=|"{-ijo ;5ANw"Dq 1. 系统说明 pGwBhZnb> vXq2="+ 光源 j9voeV|7 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) %^zGM^PD 元件 B&bQvdp — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
4s <|8 探测器 KtR*/<7IC — 干涉条纹 NFAjh?# 建模/设计 ZQ MK1 — 光线追迹:初始系统概览 L/39<&W — 几何场追迹加(GFT+): =
Ff 2 计算干涉条纹。 r_p4pxs 分析对齐误差的影响。 D^!x@I~: 4^OPzg6Z%p 2. 系统说明 %UO ;!&K bb@3%r|_< 参考光路 /:BM]K 
M%aA1!@/ 3. 建模/设计结果 EN\
uX! 40M/Gu: mO?yrM * 4. 总结 #rps2nf.j S.E'fc1 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ?gGmJl ]"T1clZKd( 1. 仿真 'Cq)/}0 以光线追迹对干涉仪的仿真。 _d J"2rx 2. 计算 GcHy`bQbiX 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 r ?e''r 3. 研究 +{7/+Zz 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 T \"eqa K'DRX85F 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Y/Dah* aj\
zc I 应用示例详细内容 IXJ6w:E 系统参数 U~nW>WJ+. 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 .!><qVg :Qekv(z 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Y!0ZwwW o4l=oY:' 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 0Xe?{!@a ]NRQM8\ 2. 说明:光源 PDQ\ND IMF9eS{L =eB^(!M 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 xUw)mUn@N 因此,相干长度大于1m O"c@x:i 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 xBevf&tP 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 H\[:uUK5\ uY"Bgz:=d
{
d*?O $,&3:ke1 3. 说明:光源 7G 3*@cl aplOo[ )=EJFQ*v 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ~4t7Q 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Rv^
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因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 TQjM3Ri=V 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 |."thTO 4. 说明:光学元件 Obl,Qa:5 LNU#NJ^Axt
Z'ZN^j{ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 |OVD*A 位相延迟平板材料为N-BK7。 UwQyAD]Ht 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 N:]Ud(VRM 透镜材料为N-BK7。 8<w8"B.i 其中心厚度与位相平板厚度相等。 THXG~3J< ybNy"2Wk FfET45"l 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 g~Hmka_fD1 B+w< 0No ^XbN&'^,HL 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 *H''.6 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 d#OE) ,`
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