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测量系统(MSY.0001 v1.1) Oa'T$' cnU()pd 应用示例简述 6oq/\D$6~ ##yH*{/& 1. 系统说明 8 v<*xy -b'/}zz 光源 :eR\0cn — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) #9]O92t2UV 元件 e3%dNa — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 2;ac&j1 探测器 +-MieiKv — 干涉条纹 BVxk}#d 建模/设计 cwI3ANV — 光线追迹:初始系统概览 S1_):JvV — 几何场追迹加(GFT+): 1 o\COnt 计算干涉条纹。 _16r8r$V 分析对齐误差的影响。 X;yThb`iI Wf-P a9 2. 系统说明 O7zj8 d5lD! 参考光路 '17V7A/t  '],G!U( 3. 建模/设计结果 l#3jJn \S)cVp)h Q^Q6|
n 4. 总结 k,jcLX. D<Z]kR( 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 wRe2sjM JYa3xeC; 1. 仿真 $NwPGy?% 以光线追迹对干涉仪的仿真。 NnO%D^P] 2. 计算 }ZfdjF8N! 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 z/f0.RJ 3. 研究 kwrM3nq 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 l+<AM%U\ V MZdj!(hO 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 PS` F {R5_=MG 应用示例详细内容 w)"F=33}5 系统参数 zKNac[: 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Vu Ey`c SBamgc 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 w,;ox2 5ih5=qX 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 O5A]{W E[Ao* 2. 说明:光源 F[~~fm_ L#`X;: m%)S<L7
l 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 e@g=wN"@ 因此,相干长度大于1m p}|<EL}Z9 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 3PaMq6Ca 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 {R7m qzt XPMvAZL
e}2[g X9ec*x 3. 说明:光源 (FSa> sJm v{wM L.%zs 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
{5JYu 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 1A N)% 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 =Kt!+^\") 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ^2"w5F 4. 说明:光学元件 =+"-8tz8FV cp4~`X ,-1d2y 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 q`L}\}o 位相延迟平板材料为N-BK7。 $QaEU="Z 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 BXUd
i&'O 透镜材料为N-BK7。 vw/GAljflu 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Hh &s.ja 4YCuO% \;!g@?CA 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 F& ['w-n% uo7[T*<Q $%5vJiuk 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Ss'Dto35Q 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 9zaSA,}
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