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测量系统(MSY.0001 v1.1) <NZPLo F W" =l@}I 应用示例简述 [%k8l~ 6 Zk`y"[ J 1. 系统说明 ;R=n<=Axa ?j&hG|W9<z 光源 tR51Pw — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) S(@kdL 元件 |GMo"[ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 bo<P%$(D 探测器 cfmLErkp — 干涉条纹 KHx2$*E_ 建模/设计 A=kOSq 4Q — 光线追迹:初始系统概览 ?22U0UF — 几何场追迹加(GFT+): &~2m@X(o 计算干涉条纹。 fXWy9 #M 分析对齐误差的影响。 +cfcr* "{8j!+]4i 2. 系统说明 {.Qv1oOa H!*ypJ 参考光路 !aSj1
2J  /KvJjt'8 3. 建模/设计结果 .I_atv ezw*Lo! DpggZ|J 4. 总结 np2&W'C/i +yI$4MY 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ZK;/~9KU WVD48}HF- 1. 仿真 8XJi }YPQ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 A+^okT37r 2. 计算 NsI. mTc2 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 r 10VFaly 3. 研究 ~QSX 1w" 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 OxDqLX Z,"4f*2 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 \v&zsv\B@ mrr]{K 应用示例详细内容 a0hBF4+6 系统参数 rf H1Zl 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ?j8!3NCl} frUs'j/bZ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 +D5gbxZX cFc(HADM`r 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 (s&:D`e %|e)s_%XE 2. 说明:光源 /e"iYF ~ 1;M4K "dP-e 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 0GxJja 因此,相干长度大于1m YyYZD{^ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 U',C-56z 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 `(HvD] l 7tWC<#
A:Wr5`FJ E"9(CjbQ[ 3. 说明:光源 <y8oYe_! Q>D//_TF dV[G-p
采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 f2[R2sto@ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ?fH1?Z\'K 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 /69yR 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 "x R6~8 4. 说明:光学元件 z=KDkpV pMT7 /y- ~-Kx^3(# 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 FBwG3x 位相延迟平板材料为N-BK7。 lIS`_H} 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 3F]Dh^IR9 透镜材料为N-BK7。 8!|vp7/ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 IQU1 JVkZ .O"a: ^i r'Wf4p^Xd 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ke8g tbm ewd
eC ?|kbIZP( 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
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Z 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Soq#cl'll-
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