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测量系统(MSY.0001 v1.1) ,Hj=]e2? 4|Z3;;%+ 应用示例简述 kyY tL_SD uV%7|/fD 1. 系统说明 e%UFY-2 ~G"6^C:x 光源 !JrVh$K — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
MNJ$/l)h 元件 pLk?<y — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 iCw~4KG 探测器 8G{} r — 干涉条纹 @-u/('vpB 建模/设计 *4r;H2%c — 光线追迹:初始系统概览 \/lS!+~''] — 几何场追迹加(GFT+): [>6:xGSe9X 计算干涉条纹。 ~BZ A_w"`1 分析对齐误差的影响。 ux-Fvwoh [qid4S~r,& 2. 系统说明 j_ :4_zdBy QF\NHV 参考光路 e'7!aysj  x2K.5q> 3. 建模/设计结果 JO1c9NyKr ,gRsbC %JiA, 4. 总结 <4(rY9 t|%iW%m4 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 lm@<i4%$F j7uiZU;3Rx 1. 仿真 v( (fRX.` 以光线追迹对干涉仪的仿真。 rY($+O@a< 2. 计算 `Jz"rh-M 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 m:
w/[|_ 3. 研究 8tPq5i 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 }vcC4 =t/ =u73AM} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 t
ZFG`'/ WXXLD:gxI 应用示例详细内容 J^1w& 40 系统参数 {]|};E[}m 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 oIbd+6>f 6)DYQ^4y 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 yjN|PqtSV }R.cqk\qa^ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 P3@[x QbS w<V 2. 说明:光源 [\.
ho9 %'EOFv]
~f){`ZJc 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 [}d
3u! 因此,相干长度大于1m +mV4Ty 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 g^8bY=*
. 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 :9K5zD Q{mls
qTiX;e\W WvNX%se]3 3. 说明:光源 /[_>U{~P# D<Ads b6oPnP_3P 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 N6yqA)z?; 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 L suc*Ps 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 nG{jx_{` 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 m.S@ e8kS 4. 说明:光学元件 (q3(bH~T) mVU(u_lh mKWA-h+f 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 vNi7=3 位相延迟平板材料为N-BK7。 _0^<)OSY 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 K3'`!K a* 透镜材料为N-BK7。 +Bc/@.Q' 其中心厚度与位相平板厚度相等。 --.: eFE/ \asF~P ToDN^qE+ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Q)H Vh[4 xdp{y=,[ H6rWb6i 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 .U9NQwd 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Qe]@`Vg
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