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测量系统(MSY.0001 v1.1) Q;43[1&3w {MCi<7j<? 应用示例简述 Rn9m]x 5qZ1FE 1. 系统说明 JGsx_V1t D(AXk8Vub 光源 2[RoxKm — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) $o0iLFIX/ 元件 1m:XR0 P — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 d%RC 探测器 *n 6s.$p)% — 干涉条纹 CF&6J$ZBgJ 建模/设计 BGD8w2 — 光线追迹:初始系统概览 $Q96,rb}k; — 几何场追迹加(GFT+): >0ph9$ 计算干涉条纹。 j3{I /m 分析对齐误差的影响。 cDFO; Dr B8V>NvE~o 2. 系统说明 r? NznNVU ZniB]k1 参考光路 snf~}:&  Po__-xN>Q 3. 建模/设计结果 :Q $K<)[ 0?\Zm)Q~( TMlP*d# 4. 总结 ;#xmQi'` PE}:ybsX 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ur$
_ K9$>Yxe| 1. 仿真 P"y`A}Bx 以光线追迹对干涉仪的仿真。 aqRhh=iS 2. 计算 KxYwJ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 @z4*.S&tz 3. 研究 \ 3wfwu.q 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 XQ9O$
~q Z&1T 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 \W1,F6&j DcoX+8 7 应用示例详细内容 =j5MFX.-o 系统参数 n>+mL"hs 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 TcjEcMw, ?s\:hNNY 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 b J=Jg~& bJRN;g 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 h{HF8>u[ < Z{HX[y 2. 说明:光源 \`oT#|0 QDs^Ije kzn5M&f> 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 HJXT9;w 因此,相干长度大于1m zLD0RBj7p 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Xu<k3oD7 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
ZHU5SXu *c~T@m~DR
@ezH'y-v <49K>S9O 3. 说明:光源 0fF(Z0R, :3XA!o&.T3 n[ T[DCQ, 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 q qpgy7 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 x_|UPF 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ,Sq/y~ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 U1DXeh~V 4. 说明:光学元件 _LMM,!f 8YZbP5' u.d).da 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 2^mJ+v< 位相延迟平板材料为N-BK7。 ]ndvt[4L 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 :=/85\P0SU 透镜材料为N-BK7。 ?WF/|/ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 jhXkSj ';TT4$(m <(-= 'QA 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Rv#]I#O
U*(izD LQ(yScA@ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 WFO4gB* 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 -BRc8 /
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