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测量系统(MSY.0001 v1.1) <3)k M&.B sc0.!6^'V 应用示例简述 #hZ`r5GvTj q^ w@l 1. 系统说明 Ov-Y.+L: 3n!f'" T 光源
=]
+owl2 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Ct<]('Hm( 元件 8)o%0#;0B — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 CiNOGSlDj 探测器
F%tV^$% — 干涉条纹 Dx5X6 t9= 建模/设计 M/mm2?4 — 光线追迹:初始系统概览 LsI8T
uv — 几何场追迹加(GFT+): nf0]<x2 计算干涉条纹。 Q;xJ/4 Z" 分析对齐误差的影响。 }`~n$OVx ib\_MNIb 2. 系统说明 B6 yTD7 6KRC_- 参考光路 `6:B0-r  t+ vz=` 3. 建模/设计结果 ! }>CEE 0sA+5*mdM S0'
ACt` 4. 总结 X=KC+1e `x]`<kS; 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 k.ttrKy<q/ jcbq# 1. 仿真 +WjX@rSq[ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 KK}ox%j 2. 计算 ~JS BZ@ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 c[>xM3=e^q 3. 研究 {ldt/dl~ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 DS1{~_>nFu 8Drz
i!} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 7|PB6h3 `k6ZAOQtX 应用示例详细内容 4q"4N2 系统参数 .%EYof 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 1{AK=H') o/6VOX 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 SU5O+;{`' ni85Ne$ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 =/!RQQ|8o SJ2l6 2. 说明:光源 ?2%;VKN4 tE#;$Ss kMx)G] 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。
i }_" 因此,相干长度大于1m zd6F}2*6 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 +[rQf<* 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 f_2(`T# `&9iC 4P
W\2 ']7}e TM5 Y(Q* 3. 说明:光源 MD^,"!A \10KIAQ PJYUD5 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 "~mY4WVG 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 .I?~R:(Ig 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 M1icj~Jr 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 KM+[1Ze$ 4. 说明:光学元件 fx-8mf3 nV`U{}x ? G`6}NP 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
O7CW#F 位相延迟平板材料为N-BK7。 THlQifA! 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 W7. + 透镜材料为N-BK7。 \(RD5@=!4# 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Bi2 c5[3 ' 55G:r39 ]q~bi<E9W 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 /,_m\JkwL 58d[>0Xa[g B Dp")[l 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 !TivQB 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 W*Si"s2
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