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测量系统(MSY.0001 v1.1) 70{fl
4J5 TM1J1GU 应用示例简述 E!v^j=h$u e \ rb 1. 系统说明 ?ne!LDlE| et0yS%7+?@ 光源 N~@VZbS(6 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 7z4u?>pne* 元件 NP5;&}uv*! — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 sKuPV 探测器 +jpC%o}C — 干涉条纹 I6,sN9`
K 建模/设计 Zfn390 _ — 光线追迹:初始系统概览 .3*VkAs — 几何场追迹加(GFT+): RXU#.=xvy 计算干涉条纹。
20p/p~< 分析对齐误差的影响。 ?{M!syD< sT"h)I)]* 2. 系统说明 JdW:%,sv FWzf8*^ 参考光路 8ncgTCH:  Al(u|LbQ 3. 建模/设计结果 1WMwTBHy+ {|Pz9a-: 95CCje{o_ 4. 总结 |xQq+e}l< 9Ucn
6[W 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Obm@2;^g6 UCP4w@C 1. 仿真 ]kd )j 以光线追迹对干涉仪的仿真。 #Zy-X_r 2. 计算 Y8yRQz u 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 n\Y|0\ B 3. 研究 KGI0|Z]n~ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 h7H#sL[^ K?o} B 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Aa;s.:? 044*@a5f 应用示例详细内容 +T@a/(Gl 系统参数 n/3gx4.g 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 GL_a`.=@ \4.U.pKY 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 H.ZmLB = ?hx+-' 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 (]mh}=:KDg $*{$90Q 2. 说明:光源 ]d@@E_s] R.EA5X|_ {A2SG#} 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 =e)[?{H 因此,相干长度大于1m `[;b#. 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Svmyg] 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 i cf[.
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Hop$w AE)<ee%\\ 3. 说明:光源 .FnO Odr@9MJ QJ
ueU%| 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 !t["pr\
? 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 w\'Zcw,d 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ^#R-_I 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 w
1E}F 4. 说明:光学元件 eYurg6Ob~ )CzWq}: q($lL~Ls 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 VX<ZB +R 位相延迟平板材料为N-BK7。 rSD!u0c[ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Mc9P(5Bf 透镜材料为N-BK7。 OH28H),} 其中心厚度与位相平板厚度相等。 WG;1[o& X?b]5?K;r 2oAPJUPOJ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ;C%D+"l1g R.R(|!w> #(jozl_8 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 < |