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测量系统(MSY.0001 v1.1) 'Lw4jq HrUQ X4 应用示例简述 do2~LmeW f*VBSg[` 1. 系统说明 6O^'J~wiI \@6nRs8b|N 光源 |Go?A/' — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) KrhAObK 元件 cC_L4 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 tH_e?6] 探测器 f((pRP — 干涉条纹 NM0[yh 建模/设计 K +oFu% — 光线追迹:初始系统概览 *uAsKU — 几何场追迹加(GFT+): ,7mRb-*p 计算干涉条纹。 m]yt6b4 分析对齐误差的影响。 JCu3,O!q edh?I1/ 2. 系统说明 x<'(b7{U0 :wJ=t/ho 参考光路 tdTD!'  8KioL{h 3. 建模/设计结果 zDbjWd KLI(Rve24 D:9/;9V 4. 总结 %ec9`0^4S |fMjg'%{} 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ~RV>V*l m@hmu}qz- 1. 仿真 &C eG4_Mi 以光线追迹对干涉仪的仿真。 o0Z(BTO 2. 计算 =)Cqjp 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 i,Yq
oe` 3. 研究 x&6SjlDb$K 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 lMu}|d gO*:<B g 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 r7z8ICX'q |sN>/89=/ 应用示例详细内容 _~aFzM 系统参数 |kwBb>V 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 8SvPDGu`] &UhI1mi]h 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 3:Aw.-,i\ J`U\3:b`SP 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Y<U"}} vc.:du 2. 说明:光源 tZS-e6*S MB9tnGO-Q gC81ICM 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ~$1Zw&X 因此,相干长度大于1m {{b&l! 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 L-}>;M$Y) 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 5"4O_JQ u~#QvA~]
60KhwD1 j9zK=eG 3. 说明:光源 ,wJ#0? I\JJ7/S`t 3[kY:5- 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 2ZMYA=[! 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 O j<.3U[C 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 8}m bfuo1 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 `=A*ei5 4. 说明:光学元件 k r0PL)$ 0GR\iw$[J zGrUl|j 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ze!S4&B 位相延迟平板材料为N-BK7。 t.sbfLu 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 i{8T 8 透镜材料为N-BK7。 E DuLgg@ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ng]jpdeA O) ks I^iJ^Z]vx 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 yc.Vm[! }."3&u't w%=GdA= 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 lv_|ws 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Nz`4q%+
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