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测量系统(MSY.0001 v1.1) @.C{OSHE ca<" 应用示例简述 <%?#AVU[ k@mVxnC 1. 系统说明 ` uCI Xb 4,p;Km& 光源 zg)sd1@ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) %3r:s`{ 元件 zCaT tb|@ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 RW'nUL?_\ 探测器 }f}}A= — 干涉条纹 ay
)/q5 建模/设计 }iB|sl2J — 光线追迹:初始系统概览 [^YA=Khu — 几何场追迹加(GFT+): SkQswH 计算干涉条纹。 w f.T3 分析对齐误差的影响。 BqK(DH^9N ^Q<mV*~ 2. 系统说明 ~nLN`Hd !U%T&?E l 参考光路 KJn!Ap  =@x`?oe v 3. 建模/设计结果 ),:c+~@@kT V N{NA+I k44Q):ncY7 4. 总结 5Qwh(C^H oPf)be| # 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 OPJ: XbG
hB;VCg8 1. 仿真 9p* gU[ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 8)*2@-Rp 2. 计算 jEdtJEPa 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 #SVNHpx 3. 研究 R7jmv n 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 W*DVi_\$y @&F@I3`{ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 iRo.RU8> h"mi"H^o 应用示例详细内容 uQ$^;Pr 系统参数 y;cUl, :v 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 _n8GWBi eYUr-rN+)z 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 "^j>tii :e1o<JgPt 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 f>o,N{| #hfuH=&oh 2. 说明:光源 ^[E'1$D o Pci66 d$ACDX2 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 0-Y:v(|. 因此,相干长度大于1m ^)!F9h+ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 1F'1>Bu~ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 `^JJ&)4iv Qp,DL@mp>8
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'7Nr8D4L 3. 说明:光源 5wao1sd# 8M*PML4r JG[o"&Sd 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 /I5X"x 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 s&kQlQ= 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 r[(xjn 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 7\zZpPDV 4. 说明:光学元件 V3;.{0k HW4.zw zJDSbsc$% 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 qSqI7ptA\ 位相延迟平板材料为N-BK7。 {gA\ph%s 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 &;,,H< p 透镜材料为N-BK7。 kd:$oS_*s 其中心厚度与位相平板厚度相等。 W%2
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` 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 >SN|?|2U/ 4to% `)] 87%*+n:?* 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 .#u_#=g? 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 +x?#DH-
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