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测量系统(MSY.0001 v1.1) g*ES[JJH& 9U6y<X 应用示例简述 6hYv 9u1)Kr=e 1. 系统说明 ,JT|E~P?8 :Tw3Oo_~S 光源 Hjli)*ev — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) .9> er 元件 :7IL|bA< — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 C/e`O|G 探测器 bK; -X cm — 干涉条纹 BnqAv xX 建模/设计 C ^Tc9 — 光线追迹:初始系统概览 *#Hi W) — 几何场追迹加(GFT+): SY["(vP%# 计算干涉条纹。 +Bv{A3E9 分析对齐误差的影响。 Eszwg |Wj)kr !| 2. 系统说明 #O^H?3Q3 $} l0Nh'Eu 参考光路 3j0/&ON  .txgb 3. 建模/设计结果 7*OO k"9 WDKj)f9cy N2;T\xx, 4. 总结 |]DZc/ 79u L"N; 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 a<sEd p E@"+w,x) 1. 仿真 Y:G6Nd
VFM 以光线追迹对干涉仪的仿真。 d7^:z%Eb| 2. 计算 G-Z_pGer^ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 A2Rr*e 3. 研究 )qD%5} t 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 #@Zz
Bf uwQ{y>SG 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 tHXt*tzq H]"Z_n_ 应用示例详细内容 .Q?cNSWU 系统参数 Mc~(S$FU$ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 +KDB^{ (p68Qe%OuG 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ,\[&%ph 0Apdhwk~ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 +f+x3OMX3 HV&N(;@ 2. 说明:光源 (E&}SI~ ;_of' 9Z6] ];8E 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Ne@Iv)g? 因此,相干长度大于1m +kH*BhSj 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 f'aUo|^? 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 0^]E-Zf N|z-s
:De}5BMy el.;T*Wn 3. 说明:光源 KKa"Ba$g Q)C#)|S h;^h[q1' 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 K`j#'`/KC 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 W4QVWn %3 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
qeBfE 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 eq"a)QB3m 4. 说明:光学元件 mNKe,H0 \UGs_5OT 4B<D.i ;} 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 xI<Dc*G 位相延迟平板材料为N-BK7。 ToCB*GlL 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 st|$Fu 透镜材料为N-BK7。 IJs*zzR 其中心厚度与位相平板厚度相等。 g/mVd;#o JQ%e' WA8Qt\Q 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 7cr+a4 T33 lK9us `{N0+n 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 {LbcG^k 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 SvAz9>N4
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