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测量系统(MSY.0001 v1.1) <BK?@Xy Zl?9ibm;@ 应用示例简述 VBK |*Tl </_.+c [ 1. 系统说明 ;G*)7fi z]!w@: 光源 [NbW"Y7 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 0*6Q8`I 元件 fRp(&%8E — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 1?,C d 探测器 =|H.r9-PK6 — 干涉条纹 dAi.^! ! 建模/设计 FDuIm,NI — 光线追迹:初始系统概览 {N@Pk[! — 几何场追迹加(GFT+): yn.[- 计算干涉条纹。 2fP;>0? 分析对齐误差的影响。 }+K=>. ?3<Y/Vg%c 2. 系统说明 j k&\{ J@qLBe(v
参考光路 Fm+V_.H/;  ,?wxW 3. 建模/设计结果 =0SJf 3 m1M6N`f >".@; 4. 总结 L),bPfz M0%nGpVj> 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 &5QvUn KIY9?B=+ 1. 仿真 qpq(< 以光线追迹对干涉仪的仿真。 /`j2%8^N 2. 计算 ts
r{-4V 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 lz_ r 3. 研究 c!mMH~# 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 :)%cL8Nz]$ W?n/>DML 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 kA9 k^uR/ zO0K*s.yK 应用示例详细内容
#p-\Y7f 系统参数 gOy{ RE 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 @?&
i BJ{?S{"6%G 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 l)V646-O,~ *E-MJCv 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 u/FC\xJc w{GEWD{& 2. 说明:光源 VOT9cP^6 co'qVsOiH olK*uD'` 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 !(y(6u# 因此,相干长度大于1m ovaX_d)cU 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ,Bj]j -\Y 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 =nlj|S ~3 $paE6X^
qos/pm$&i j?VHR$ 3. 说明:光源 ^=qV)j Y@+9Ukd/ J!}R>mR 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 m/`L3@7Tt 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 OK2\2&G 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ?"@SxM~\ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 L5CnPnF 4. 说明:光学元件 ^Zlbs
goZ wV,=hMTd&\ 2FGCf} , 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ${`q! 位相延迟平板材料为N-BK7。 7<k@{xI/ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 -o57"r^x 透镜材料为N-BK7。 eQIS`T 其中心厚度与位相平板厚度相等。 [5Zi\'~UH) kqGydGh*" 0\+$j5; 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 A@reIt _,w*Rv5= 7r pTk&` 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Z1wfy\9c8 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Ld=6'C8ud
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