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测量系统(MSY.0001 v1.1) MBIlt
1P c}-ADr9 应用示例简述 SlaHhq3 |>'.( 1. 系统说明 KfPYH\0 eb#yCDIC 光源 ^CBc~um2 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) w=;Jj7}L 元件 D4G*Wz8 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 av8\?xmo.$ 探测器 mm1fG4
*% — 干涉条纹 1(YEOZ
建模/设计 nt:d,H<p — 光线追迹:初始系统概览 )%zOq:{\5 — 几何场追迹加(GFT+): ZFxa2J~ ; 计算干涉条纹。 .#OD=wkN0 分析对齐误差的影响。 m)1+D"z prdc}~J8{ 2. 系统说明 @CB&*VoB F
]x2;N 参考光路 .%"s|
D  W'xJh0o 3. 建模/设计结果 `;c{E%qeq ):L ; P) <E&8g[x6 4. 总结 (DnrJ.QU}t yQ03&{# 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 p"dK,A5#) ;1MRBk, 1. 仿真 US'rhSV 以光线追迹对干涉仪的仿真。 2R`dyg 2. 计算 AzZb0wW6p 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 + e3{J _ 3. 研究 $&ZN%o3 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 +oRBSAg - <tn6=IV 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 C[JGt9{Y P$H9 应用示例详细内容 W1\F-:4L@ 系统参数 w|G4c^KH 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 [h0.k"&[ 0_f6Qrcj 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 T*"*##c KmX?W/%R 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 3$n O@rOS 6 mml96( 2. 说明:光源 *%aWGAu: _qp^+ {x\lK; 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 tPz!C&.= 因此,相干长度大于1m rk)h_zN 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ~a06x^=j 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 A>B_~= "~,3gNTzV
6!A+$" %4I13|<A` 3. 说明:光源 GS qt:<Qs =C4!h'hz qgkC) 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ;a9`z+ K 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 P>wTp) 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 64 83v' 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 i7jI(VvB^ 4. 说明:光学元件 Hq!|( /s[D[:P_ )Q5ja}-{V 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 kNC]q,ljt5 位相延迟平板材料为N-BK7。 F- l!i/ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 oeA}b-Ct0 透镜材料为N-BK7。 4<<T#oW.:G 其中心厚度与位相平板厚度相等。 v[!ZRwk4w3 _@A%t&l 3aERfIJyE 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 7T/hmVi_ .?dYY;P k3VRa|Y") 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 z$b'y;k 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 YJqbA?i
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