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测量系统(MSY.0001 v1.1) @AM;58. 8{QN$Qkn 应用示例简述 +zMWIG xx[XwN; 1. 系统说明 Y#[jDS(ip "SGq$3D 光源 !
*Snx — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) K)!yOa'fH 元件 UbDRzum — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 7OSk0%Q, 探测器 };{V]f 0 — 干涉条纹 Lh eOGM 建模/设计 P_Rh& gkuK — 光线追迹:初始系统概览 6@ B_3y — 几何场追迹加(GFT+): k0[b4cr` 计算干涉条纹。 h0i/ v 分析对齐误差的影响。 ,T:Uk*Bj Y|%s =0M 2. 系统说明 c;X8:Z=ja J@$h'YUF 参考光路 jhU'UAn  <UI^~Azc# 3. 建模/设计结果 V $'~2v{_ k'H+l]= l-?B1gd,l 4. 总结 :2+,?#W
ep|>z#1 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 $Sz@u"ig% la37cG 1. 仿真 Tvdg:[V< 以光线追迹对干涉仪的仿真。 }2@Aj 2. 计算 hn-+]Y: 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 $hND!T+; 3. 研究 {w/{)BnPG 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Yz"B ~8fy
qE$ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 \PHbJN:BI bA/,{R 应用示例详细内容 $q}zW% 系统参数 Kyn[4Bu!? 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 x?5D>M/Y G3Z>,"w;= 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 yiourR)H< }K<% h 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 I[P43>F3 W DrC 2. 说明:光源 l:' 0 Q:nBx[% q oA?
使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 0O@UT1M;v 因此,相干长度大于1m '+%<\.$ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 i!AFXVX 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 B4uJT~,7> `Mg&s*
p=fj1* yaDK_fk 3. 说明:光源 S5%I+G3 [SJ-]P|^l 06)B< 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Oq[2<ept 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 pv3SAO4 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 x-hr64WFK 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Ll2yJ
.C4 4. 说明:光学元件 *#{V^} VXfp=JE `]u!4pP" 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 dq6|m
}g{ 位相延迟平板材料为N-BK7。 +1uAzm4SL 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 L4Nn:9b 透镜材料为N-BK7。 B\ <;e 其中心厚度与位相平板厚度相等。 %$'YP .()|0A B&g +mgm39 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ff{L=uj e-@.+f2CC vJ&g3ky 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 aAT!$0H 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [5"F=tT7WP
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