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测量系统(MSY.0001 v1.1) !ekByD :dt[ # 应用示例简述 Ow4 _0l& FC1rwXL( 1. 系统说明 2{h2]F 6o^>q&e}% 光源 yq-~5ui — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) {<ShUN 元件 NTt4sWP!I — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ;NA5G:eQ 探测器 G^Gs/-
f — 干涉条纹 \( s `=(t 建模/设计 )P(S:x'b0 — 光线追迹:初始系统概览 *5PQ>d
G — 几何场追迹加(GFT+): y[XD=j 计算干涉条纹。 WPRk>j 分析对齐误差的影响。 sa8O<Ab NAD^10 2. 系统说明 BsFO]F5mmX %f'pAc|# 参考光路 ?1ey$SSU]  uJ2ZHrJ 3. 建模/设计结果 :i!fPN n ` &A`&-nc= 6!]@S|vDX 4. 总结 Z)|~ rT `sY 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 4+hNP'e 3?B1oIHQ 1. 仿真 j9k:!|(2' 以光线追迹对干涉仪的仿真。 :XY%@n 2. 计算 PaSwfjOnqr 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 =CFjG)L 3. 研究 ^dpM2$J 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 :z8/iD y *B3f ry 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 X}Q4;='C- 8~(,qU8- N 应用示例详细内容 }p?,J8=- 系统参数 ~+' f[!^ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 1R}9k)JQ G|jHic! 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ug]2wftlQ cgG*7E 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 p1'q{E+o* >c0leT 2. 说明:光源 }`L;.9 C+/EPPi Lz1KDXr`)+ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 +}m`$B}mJ 因此,相干长度大于1m z/91v#}. 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 @rT$}O1?` 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 e r_6PV 5{yg
K-]) RIM L&+k`b 3. 说明:光源 _kBmKE >q;|
dn9 (^~a1@f,J 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 pbG-uH^ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 =EVB?k
, 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 (tA[] ne2 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 5:38}p9` 4. 说明:光学元件 s[7$%|~W pzRVX8 I0l3"5X
a 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 =eY 位相延迟平板材料为N-BK7。 >0SG]er@ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 z@UH[>^gj 透镜材料为N-BK7。 r2f%E:-0G 其中心厚度与位相平板厚度相等。 fUvXb>f, k@fxs]Y_L $~q{MX&J 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 *As"U99( @8\0@[] +9LzDH 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 !]R>D{"" 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 BT(eU*m-
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