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测量系统(MSY.0001 v1.1) /mST<{(_G\ lW F=bz0 应用示例简述 YE#OAfj~ }^J&D=J5V 1. 系统说明 y@!kp*0 zw=as9z1- 光源 v5i?4?-Z — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) *.ffyBI*~ 元件 V0p@wG3 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 (0%0+vY 探测器 GvQ|+vC — 干涉条纹 aO@zeKg 建模/设计 E|2klA^+* — 光线追迹:初始系统概览 }<Y3jQnl — 几何场追迹加(GFT+): ~5aq.hF1,A 计算干涉条纹。 xe)< )y 分析对齐误差的影响。 c9e
}P r>lC(x\B 2. 系统说明 MmOGt!}9A >c~~i-= 参考光路 NJ-cP m  SZ}t_w ` 3. 建模/设计结果 &Vi"m!Bf rn1FCJ<;H cTRQI3Oa> 4. 总结 ;FYiXK% ]2Aqqy 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 i3k ',8 bHcb.;< 1. 仿真 1 sCF
-r 以光线追迹对干涉仪的仿真。 UP:+1Sp9 2. 计算 }#@P+T:b 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Jrlc%,pZ 3. 研究 F'ZLN]"{ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 {] -nYHGL %j=E}J<H5* 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 1N<)lZl) [_j.pMH/P 应用示例详细内容 La}=Ng 系统参数 xU1dy*- 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 7<{Zq8) &Qghm o 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 }vO^%Gd ,<zZKR_ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 De|@}@ "z^Ysvw&~ 2. 说明:光源 VIbm%b$~ =1n>vUW+J \`x'r$CV 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 'dj}- Rs 因此,相干长度大于1m <2y~7h: 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 >'^l>FPc 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ; ,*U,eV X4i$,$C
> ^3xBI:Q L~V
63K 3. 说明:光源 L.!:nu]rV Fw:s3ON9} Uy ;oJY 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 oTOe(5N8a 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 `Pl=%DR 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 >C_! }~ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 =KT7ZSTV 4. 说明:光学元件 I?-9%4 8iM .(;k]UP hFa\x5I5 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 #f/-i u=L 位相延迟平板材料为N-BK7。 wb 4 4 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 _F^|n}Qbj 透镜材料为N-BK7。 $K<jmEC@< 其中心厚度与位相平板厚度相等。 KUH&_yCRB $Ry
NM2YI _* 4
< 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ;?inf`t scL7PxJ5 3 ;.{
O%bX 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 \"Sqr(~_ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 zZ-e2)1v
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