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测量系统(MSY.0001 v1.1) L;t~rW!1 b1^Yxe#L 应用示例简述 29DWRJU /<(ik&%N 1. 系统说明 1e| M6* 3NZFW{u 光源 7Cp_41._ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) IGV.0l 元件 Afl'- — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 9+Hb` 探测器 iC2nHZ*, — 干涉条纹 & |