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测量系统(MSY.0001 v1.1) aNn\URR o\ss 应用示例简述 :f1Q0klwP QAs$fi}f]s 1. 系统说明 Cbw@:+%J{ ig:E`Fe@ 光源 u!wR — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) MBlhlMyI 元件 T.m*LM — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 GI:J9TS 探测器 E"8cB]`|8 — 干涉条纹 "zpc)'$L= 建模/设计 M3>c?,O)J — 光线追迹:初始系统概览 i n}N[ — 几何场追迹加(GFT+): e6O +hC]: 计算干涉条纹。 e}V3dC^pU 分析对齐误差的影响。 Z.:g8Xl-6 f]N.$,:$ 2. 系统说明 $A>\I3B +OGa}9j- 参考光路 Zp:(U3%  %OS}BAh^i 3. 建模/设计结果 iIZDtZFF 'x'.[=; kl(id8r 4. 总结 $_bhZnYp7 Na6z1&wS 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 j^ y9+W_b "DWw]\xO]( 1. 仿真 R1CoS6 以光线追迹对干涉仪的仿真。 1^F
!X= 2. 计算 (~}P.?C8 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ZjCT * qx 3. 研究 $?voQ& 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 99xs5!4s ?<_yW#x6 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 f8Z[prfP <m") 2dJ 应用示例详细内容 2>bTcud> 系统参数 fgzkc"ReK 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 . \/jy]Y 6.uyY@Yx 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 P~"e=NL5 .Oh4b5 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 jY: )W*TXt 6R.%I{x' 2. 说明:光源 ]f%yeD |:yWDZg[ r8]y1
Om< 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 y,D@[*~Xb 因此,相干长度大于1m rGNYu\\ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 "'#18&N 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 !&8nwOG m{dXN=
{=Z xF U04TVQn` 3. 说明:光源 c/K:`XP~ Rw
j4 Nft~UggK 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ?W6qwm,?L 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 O
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因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 -'q#u C 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 DQ#rZi3I 4. 说明:光学元件 V*}xlxSL %A]?5J)Bi t[dOWgHi 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 6"OwrJB 位相延迟平板材料为N-BK7。 f1Az|h 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 { :^;byd 透镜材料为N-BK7。 pZVT:qFF 其中心厚度与位相平板厚度相等。 b8QQS#q)V ()Tl\ 1" k_l.\,0 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 YI877T9> Ci?BJ, ){D6E9 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 jV}tjwq 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 t\GoUeH]
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