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测量系统(MSY.0001 v1.1) +r8:t5:/I jd>ug=~x 应用示例简述 EL/~c*a/ ?xkw~3Yfi 1. 系统说明 5pC+*n. @-B)a Z 光源 ]{sx#|_S — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) } J_"/bB 元件 04o>POR — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ]Q8[,HTG 探测器 "INIP? — 干涉条纹 S=f:-?N| 建模/设计 7dxe03h — 光线追迹:初始系统概览 TPE1}8p17 — 几何场追迹加(GFT+): goa@e 计算干涉条纹。 >oD,wSYV~ 分析对齐误差的影响。 Z+8Q{|Ev ZwzN=03T 2. 系统说明 r^g"%nq9/ U!y GZEU"[ 参考光路 V=
wWY*C  {e35O(Y 3. 建模/设计结果 'sII/sq`( o54/r#~fi P]A~:Lj 4. 总结 W%&gvZre. p+.xye U( 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 r(qwzUI T<a/GE/
1. 仿真 )G+D6s23 以光线追迹对干涉仪的仿真。 P*
Z1Rs_ 2. 计算 6x*$/1'M3; 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 `T#Jiq E 3. 研究 z<I@SI^> 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 r*F^8_YMK .`ZuUr 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 u-/5&Endb 6?`3zdOeO 应用示例详细内容 k00&+C 系统参数 \Bvy~UeE)> 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 eV5
e:9
N{}o*K 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 /:=,mWoO <(E9U. 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 }+/F?_I=
% =".sCV9"N 2. 说明:光源 Can:!48 t&>eZ" xRrKrs &eE 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 L> \/%x>Wx 因此,相干长度大于1m ^[=1J 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 /EvnwYQy 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 N5F+h94z] yhsbso,5 a
uQmtd }Q1m 3. 说明:光源 9Od|R"aS| By;{Y[@rS )e?6 Ncy 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 V9\y*6#Y, 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Rq[VP# 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 na`8ulN_ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 |h 3`z 4. 说明:光学元件 /ReOf<%B KB`">zq$u *7`amF- 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 3bK=Q3N 位相延迟平板材料为N-BK7。 w:|YOeP 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 jQX9KwSP 透镜材料为N-BK7。 i}_d&.DbF 其中心厚度与位相平板厚度相等。 UNhM:!A KkPr08 +rOfQ'lQ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 z#Cgd-^7.# xN>+!&3%w rhH !-`m 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ApotRr$) 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 r34 GO1d
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