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测量系统(MSY.0001 v1.1) nBiA=+'v H"?-&>V- 应用示例简述 s: q15" U7fE6&g 1. 系统说明 !c`Q?aGV) u&I~%s 光源 -+I! (? — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ZCJ8I 元件 !xqG-rd
' — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 &FvNz 探测器 #WpO9[b> — 干涉条纹 Mw5!9@Fc7 建模/设计 |-aj$u%~ — 光线追迹:初始系统概览 .r*b+rc;] — 几何场追迹加(GFT+): ?R{?Qv 计算干涉条纹。 R;V(D3 分析对齐误差的影响。 c!\y\r Q}.y"|^ 2. 系统说明 K6oXnz} LA@}{hU 参考光路 +`Bn]e8O s*YFN#Wuc 3. 建模/设计结果 ze\~-0ks+ a@r K%Iff ta 6WZu 4. 总结 ".i{WyTt rqh,BkQ0t 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 zXf+ie o D\l.?<C 1. 仿真 m[7:p{ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 nG*6ic 2. 计算 fY"28# 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 < 5_Ys 3. 研究 M2EN(Y_k0 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 `U1%d7[vY f8^58]wx0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 r;T/ cnPXvD^kY 应用示例详细内容 +l/j6)O`(m 系统参数 ?-84_i 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 B:r-')!0$# HgBg,1 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 TxCQGzqe "AK3t'
jF* 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Q%xY/xH] |O9=C`G_ 2. 说明:光源 2!3&Ub#FO Yr= mLT|JN fDqXM;a" 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 2*L/c- 因此,相干长度大于1m bgK(l d` 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 RZtL<2.@ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 nm-Y?!J GDB>!ukg ~&/Gx_KU a*[\edcHU 3. 说明:光源 piFQ7B G0Eq}MyF V6{xX0'b*m 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Aii[=x8 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 RM+E 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 -N(MEzAE 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 u"gp"> 4. 说明:光学元件 6;pREM+ a!K;8#xc Q8q_w2s, 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 RHbp:Mlk 位相延迟平板材料为N-BK7。 \veL 5 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 k-e@G' 透镜材料为N-BK7。 NLGr=*dq 其中心厚度与位相平板厚度相等。 n_Y]iAoc` //@=Q!MW ,AM-cwwT:u 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 0cUt"(] >[@d&28b% y21uvp' 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 5UjQLB 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 fLoVcl
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