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测量系统(MSY.0001 v1.1) %cUC~, g_( aQ\SV0PI 应用示例简述 O< /b]<[ !9KDdU 1. 系统说明 )[ZXPD 1y1:<t 光源 %W7%] Z@j — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) PI`Y%! P 元件 '/6f2[%Y" — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 G"-V6CA[ 探测器 )uo".n|n~B — 干涉条纹 ^9 LoxU- 建模/设计 cNmAr8^} — 光线追迹:初始系统概览 wEX<[#a- — 几何场追迹加(GFT+): %k['<BYG< 计算干涉条纹。 pt3)yj&XE 分析对齐误差的影响。 }s@IQay+ x"RF[d 2. 系统说明 a.gMH
uL 0)b1'xt', 参考光路 #rGCv~0*l  LA59O@r 3. 建模/设计结果 /.!&d^ Y%eW6Y# >yn]h4M 4. 总结 @d|Sv1d% SSE,G!@ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 u?MhK#Mr RfD#/G3| 1. 仿真 $^^M&[b- 以光线追迹对干涉仪的仿真。 |zP~/ 2. 计算 =LK`mNA 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 @jMo/kO/A 3. 研究 uuD2O )v 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 N5=}0s]e Z`GEF|eh 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 W=293mME h>[ qXz 应用示例详细内容 Hmhsb2`\ 系统参数 piIz ff 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 nXb_\9E w ~crj$UM 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 n[K%Xs) W|rAn2H 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 U"Bge\6x= y&8`NS#_p? 2. 说明:光源 V/"RCqY4 eX"Ecl{ ELMz~vp 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 #`%S[)RT 因此,相干长度大于1m S[/udA 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 . a @7 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 #Y-_kQV* wG)[Ik6:
cyHbAtl :PY8)39@K 3. 说明:光源 ~-lUS0duh ]|w~{X!b4 p=x&X~
采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 8L/XZ) 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 rOEBL|P0 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 F 8sOc&L 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 7^! zT 4. 说明:光学元件 ^*$!9~ bVN?7D( Hi~)C \ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 zIS ,N ' 位相延迟平板材料为N-BK7。 nC??exc 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 $qg2@X. 透镜材料为N-BK7。 z%+rI 其中心厚度与位相平板厚度相等。 4%_c9nat $kmY[FWu? `uusUw-Gf 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 5-({z%:P hDUU_.q)D
j^U"GprA 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 hmuhq:<f 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 3jJV5J'"
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