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测量系统(MSY.0001 v1.1) h:;~)= {"X L[K_!^MZ 应用示例简述 ,]MX&] dXj.e4,m 1. 系统说明 /d4xHt5a 4$^=1ax 光源 i469<^A — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) R&QT
'i 元件 Tla*V#:Ve — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ec=C7M
| 探测器 BzZy s — 干涉条纹 l;2bBx7vW 建模/设计 7qk61YBLz — 光线追迹:初始系统概览 X%dOkHarB — 几何场追迹加(GFT+): +*dJddz 计算干涉条纹。 :97`IV% 分析对齐误差的影响。 K6X1a7 /_O-m8+4m 2. 系统说明 -4]6tt'G tL~|/C)d R 参考光路 r\]WDX!`  pkoHi'}} $ 3. 建模/设计结果 ihn M`TpMJ BhKxI %>.v[d1c 4. 总结 s|%</fMt9 "_`~9qDy 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 X[w9~t$\ ZFzOW 1. 仿真 QWoEo 以光线追迹对干涉仪的仿真。 >i~c>+R 2. 计算 rT#QA=YB 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 /sai}r1 3. 研究 $` 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 5s>9v +a|4XyN 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 YS]RG/' Ov9.qNT 应用示例详细内容 CUG6|qu 系统参数 j% nd 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 f,1rmX1 ji2#O. 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 YJ9_cA'A 0nS6<: 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 W+#?3s[FV GgtL./m 2. 说明:光源 `{/=i|6 m$^7sFD$ >#ou8}0 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 N
8OPeY 因此,相干长度大于1m Y/+ D4^L 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ~t}:vGD j 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ,9rT|:N YPM>FDxDB
gO5;hd[l }PXWRv.gW 3. 说明:光源 {T IGPK n33SWE( gk&?h7P"< 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 >GcFk&x 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 lG{J 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 S HvML 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 LP\ Qwj{ 4. 说明:光学元件 FLWz7Rj ;?&;I! 3.jwOFH$ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 %*uqtw8 位相延迟平板材料为N-BK7。 \)v.dQ! 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 <7zpH SFBq 透镜材料为N-BK7。 =_XcG!" 其中心厚度与位相平板厚度相等。 /L~*FQQK> 9\xw}ph }'{(rU 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 WULj@ds\~ (=X16}n:> sq^,l6es> 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 '%MIG88 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 yT>T
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