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测量系统(MSY.0001 v1.1) j'CRm5O g8}/Ln*W' 应用示例简述 b^^Cj( Fi(_A 1. 系统说明 RR^I*kRH !^G+@~U 光源 9 `J `( — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) hGD7/qTN 元件 n5oB#>tI0 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 H6rWb6i 探测器 .U9NQwd — 干涉条纹 [-1Nn} 建模/设计 :uhvDYp(- — 光线追迹:初始系统概览 luLm:NWUM — 几何场追迹加(GFT+): #Rjm3#gc 计算干涉条纹。 vF3>nN(] 分析对齐误差的影响。 |~rDEv3 T"8>6a@}E 2. 系统说明
<k/'mBDk b"x;i\Z0% 参考光路 $fuFx8`2W  0O"GI33Mg 3. 建模/设计结果 9=
\bS6w* EmG`ga)s +;U}SR< 4. 总结 +z;xl-*[ `=b*g24z[N 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Yca9G?^\v W{ @lt} 1. 仿真 ANp4yy+ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 09%q/-$ 2. 计算 W&BwBp]K 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 kH1l -mxz 3. 研究 v?n`kw 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ZEUd?"gaR (al7/EhY 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 1:q55!b ?2_u/x 应用示例详细内容 NQ@ EZoJ 系统参数 ^*%p]r 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 w&`gx6?-na -(Taj[;[ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ldanM>5 (.
1<.PZp) 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 I?s)^' /Eh\07p 2. 说明:光源 BAdHGwomh 0MrtJNF]_O k;;?3)! 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ZUAWSJ,s 因此,相干长度大于1m W q F( 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ;&;coH8` 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 J>]' {!+ 8y~
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{X 3. 说明:光源 @*%Q,$ mL18FR N n?!.r
c 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 <MA!?7Z| 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 `Ft`8=( 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 )8st 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 \C/`?"4w 4. 说明:光学元件 e%(zjCA A}OV>y M nU)}!` E 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 D#W{:_f 位相延迟平板材料为N-BK7。 V\!FD5% 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 DY~~pi~ 透镜材料为N-BK7。 ?n\~&n'C 其中心厚度与位相平板厚度相等。 .Z'CqBr[: }@!d(U* q6\z]8) 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 (@uQ>dR: Crm](Z? SO]x^+[ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 b;9v.MZ4>g 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 1g2%f9G
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