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测量系统(MSY.0001 v1.1) QMZ)-ty" Y&K;l_ 应用示例简述 &
j+oJasI |p-t%xDdr 1. 系统说明 n\Lb.}]1~ Zcc9e03 光源 Rx+p. — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) t N2Md}@e 元件 x|5k<CiA — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ;{[.Zu 探测器 OiP!vn}k — 干涉条纹 k%G1i-]4 建模/设计 Ggb5K8D* — 光线追迹:初始系统概览 NhYLtw^u — 几何场追迹加(GFT+): h3;bxq!q 计算干涉条纹。 2j&AiD
分析对齐误差的影响。 l(#)WWr+ 9cj9SB4 2. 系统说明 >orK';r< T'b_W,m~,u 参考光路 \~_9G{2?  mtjh` 3. 建模/设计结果 &kpwo ) VzKW:St c[ ]4n 4. 总结 0xXC^jx: d09k5$=gJ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 %p0xM ]S5JUAGkE* 1. 仿真 *~x/=.} 以光线追迹对干涉仪的仿真。 xoR;=ph 2. 计算 ze]h..,]K 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
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c '=mA 3. 研究 v@d 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 aT$9; 0p\@!Z H 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ` 5C~ Ck|8qUz- 应用示例详细内容 aX }P|l 系统参数 m
RO~aD!N 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 4%3Mb-#Y] yT,.z 0 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 E}tqQ*u '^"6+ k 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ^!by3Elqqk h|"9LU4a 2. 说明:光源 c*@E_}C# S9",d~EM aqc?pqM
使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ^:Gie 因此,相干长度大于1m fOMW"myQ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 AlIpsJ[UU 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 E!P yL>){ O~^"
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ZY) X]dwX%:Z!j 3. 说明:光源 9& 83n(m +qwjbA+ 5)MS~ii 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 i0$kit 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 8Bjib&im 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 CLJ;< 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 *9{Z$IA9w 4. 说明:光学元件 z21|Dhiw& =^5Alba/ 9Q+'n$s0^ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 %eO0wa$a 位相延迟平板材料为N-BK7。 .ODR ]7{ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 N/K.%<h 透镜材料为N-BK7。 t8+X%-r 其中心厚度与位相平板厚度相等。 )(384@'"u +lMX{es\O _<OSqE 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ?TKRjgW`@_ w_{wBL[3e n@,G8=J? 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 `.Qi?* ^ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 $H9%J
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