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测量系统(MSY.0001 v1.1) 7Zft]C?|@ .|:R#VW 应用示例简述 QNZ#SG8 U*BI/wZ 1. 系统说明 KO))2GET
bIuOB| 光源 %mS>v| — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) jU{~3Gn? 元件 Ih5CtcE1'd — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 I#(?xHx
探测器
S O`b+B — 干涉条纹 |QyZ:`0u 建模/设计 E,/nK — 光线追迹:初始系统概览 +WCV"m — 几何场追迹加(GFT+): <.
V*]g/; 计算干涉条纹。 =s:Z-*vy! 分析对齐误差的影响。 *b`1+~p_2 wk2Ff*& 2. 系统说明 4=njM`8Y' 8wCB}q C 参考光路 "Qk)EY  ka$la;e3 3. 建模/设计结果
yi<H }& A4)TJY
3g |-]'~@~ 4. 总结 EiPOY' .aC/ g?U 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 4SIS#m lgefTT GX) 1. 仿真 /9ZU_y4&3f 以光线追迹对干涉仪的仿真。 gZL,xX 2. 计算 5QG?*Z~?7 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 `Js"*[z 3. 研究 [n$6T 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 "i\^GK= I9sQPa 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 =BO>Bi&& 1 l-Y)
应用示例详细内容 <SSkCw 系统参数 V+$fh2t 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 O]?PC^GGY Sj<]~*y" 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 j
HEt
Pu,2a+0N 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 "BC;zH: 0>ce~KU 2. 说明:光源 ? RID4xu! TV?MB(mN 8)YDUE%VH 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 "|/Q5*L 因此,相干长度大于1m {Lsl2@22 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 |u#7@&N1 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 zCmx 1Djz G^le91$
HDj260a x-~=@oiv 3. 说明:光源 CTQJ=R" +?6@%mW' -7VQ{nC 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 3qy4nPg 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 2k^'}7G% 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 !d1a9los 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 T1(*dVU? 4. 说明:光学元件 fN6n2*wr( ggy9euWV h*\u0yD) 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 [$z- 位相延迟平板材料为N-BK7。 lLS7K8;4W 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 f%rZ2h) 透镜材料为N-BK7。 rXq{WS` 其中心厚度与位相平板厚度相等。 <sls1, |u+!CR *$@u`nM 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 kG`&Z9P !gJw?(8" EKEJ9Y+47H 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 zxeT{AFPr? 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 KY\=D 2m
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