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测量系统(MSY.0001 v1.1) |G?htZF j6Yy6X] 应用示例简述 *h'=3w:G
E%r k[wI 1. 系统说明 JT3-AAi[Z
M}yDXJx 光源 \P.I)n`8 y — 氦氖激光器(波长632.8nm；相干长度>1m) 1guJG_;z 元件 ^>jwh — 分束器和合束器，消色差准直透镜系统，位相延迟器，待测球面透镜 \/: {)T~ 探测器 [R=yF ~- — 干涉条纹 jz
qyk^X 建模/设计 -I&m:A$4* — 光线追迹：初始系统概览 Fs9I7~L3 — 几何场追迹加(GFT+)： , Wk?I%> 计算干涉条纹。 =<? +#-;p 分析对齐误差的影响。 f"%{%M$K
nEJY5Bz$ 2. 系统说明 wB!Nc Y\p
_#r+ !e 参考光路 9{
>Ui  5]AC*2( 3. 建模/设计结果 mj9 <%P aqj@Cjk4Z  KY51rw.
)N7Y^CN~ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 uI1 q>[
"|q qUKJZ 1. 仿真 v^d]~ !h 以光线追迹对干涉仪的仿真。 #,":vr 2. 计算 >`A9[`$n 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 >zXsNeGQR 3. 研究 y CVI\y \B 不同对齐误差在干涉图上的影响，如倾斜和偏移 | }(`kW *X+79v G: 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 5N/% v&1
:l f+W 应用示例详细内容 " @v <Bk
系统参数 A
Q 'J9
1. 仿真任务：马赫泽德干涉仪 Q9Kve3u-i
+^=8ge} 通过使用这种干涉仪设置，可测量两完全相同光束线间的相对相移。 VQ7*Z5[1 t! r A%* 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 =;2%a (
apg=-^L' 2. 说明：光源 <vONmE a
- jb0o/: mLP.t%?#
使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 i3 6eBjT
因此，相干长度大于1m /v- 6WSN
此外，由于发散角很小，所以不需要额外的准直系统。 DAcQz4T`
在入射干涉仪之前，高斯波以瑞利长度传播。 mID"^NOi#
KK iE@_z
 gW)3e1a
]:Ns f|C0 3. 说明：光源 NQ(1 <}<zgOT[1! Fcd3H$Na;
采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 k1{K*O$e
扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 |=`~-i2W
因此，在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 8FKXSqhVM
与开普勒望远镜相比，在扩束系统中不会成实像。 e 4H A7=z 4. 说明：光学元件 {^CY..3
A
"B3N* R(["
= \'}g?
在参考光路中设置一个位相延迟平板。 IsZHe lg
位相延迟平板材料为N-BK7。 Ta(Y:*Ri
所研究的元件为球面镜，其曲率半径为100mm。 >qS9PX
透镜材料为N-BK7。 YwDb PX
其中心厚度与位相平板厚度相等。 V^3L3|k
rH_\ d?b (tIo: j 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 &cxRD
qf!p 9@4F[ e1%/2 6\ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 / Z~<CbKKl 由于VirtualLab的相对位置系统，必须设置Z轴方向的距离。  'g C _)rK*
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