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测量系统(MSY.0001 v1.1) ;(Z9. Vo(bro4ZQi 应用示例简述
*n9=Q9 6^ ,;^ 1. 系统说明 Nfd'|# Y";KWA}b 光源 MVDy|i4 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) rDLgQ{Sea 元件 C:vVFU|4 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 N3\vd_D( 探测器 5C5OLAl v — 干涉条纹 C!|Yz=e 建模/设计 }Rq{9j,% — 光线追迹:初始系统概览 Yo}QW;,g — 几何场追迹加(GFT+): x.q "FXu 计算干涉条纹。 }u;`k'J@ 分析对齐误差的影响。 q]Af I( tf>"fU\P 2. 系统说明 @lCyH(c% -T>i5'2) 参考光路 d M;v39  ;y-sd?pAk 3. 建模/设计结果 8M7Bw[Q1 dlioa Yc ,HK-mAH 4. 总结 [`!%u3 xC 4L`\ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 |+Tq[5&R CTQJ=R" 1. 仿真 ,Y7QmbX^ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Cq}E5M 2. 计算 wAc;{60s] 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Fm[3Btn 3. 研究 jaQH1^~l/- 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 T1(*dVU? n]jw!; 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 e. R9: sE[
Yg8yAt 应用示例详细内容 Q6xA@"GJ 系统参数 1YtK+,mz 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 M]SeNYDy ;]W@W1)$ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 {=ATRwUL BCh|^Pk 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 6>z,7 [ HmbQL2 2. 说明:光源 Dv~jVI Xu %RzCJxT ;KT5qiqYH 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ~re~Ys 因此,相干长度大于1m k&17 (Tv$ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 `7R-2
w<b? 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 xcH&B%;f [gj>ey8T
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kdC-S 3. 说明:光源 ;*WG9Y(W I8uFMP i ;^Ya 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 5t-,5 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 |mcc?*%t8 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ]88qjKL 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 <jBRUa[j_ 4. 说明:光学元件 G"h}6Za;DO \J;_%-Z 9+3 VK 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 .AZwVP< 位相延迟平板材料为N-BK7。 t8`wO+4@ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 =Q*3\)7 透镜材料为N-BK7。 G=|~SYz 其中心厚度与位相平板厚度相等。 fg4mP_ d0;?GQYn: ^!gq_x 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 <>)N$$Rx& `\f 3Ij, 8{_lB#<[E 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 $=) Pky-~ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ~0@fK<C)O
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