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测量系统(MSY.0001 v1.1) NT0n[o^ ?2l`%l5( 应用示例简述 a2Nxpxho =[8K#PZ$w 1. 系统说明 5x%Blkx cF4,dnI 光源 I?St}Tl — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) k_{?{:X;y 元件 Y/6>OD — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 lP*n%Pn) 探测器 P3`$4p? — 干涉条纹 B2oKvgw 建模/设计 .dMdb7 — 光线追迹:初始系统概览 (8aj`> y — 几何场追迹加(GFT+): #M{qMJHDo 计算干涉条纹。 `3i<jZMG 分析对齐误差的影响。 ,cL;,YN )l$}plT4 2. 系统说明 9@ YKx0 g0bYO!gCr 参考光路 =/_u k{  (M"rpG>L 3. 建模/设计结果 qC{JsX`~ 4xEw2F e*qGrg (E 4. 总结 X3a 9- .=9WY_@SZ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ;:j1FOj zxx\jpBBk 1. 仿真 |dqHpogh 以光线追迹对干涉仪的仿真。 OtoM 2. 计算 k'PvTWR 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 +^lB"OcOX@ 3. 研究 (bQ3:%nD 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 3r,~-6 u*v< |