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测量系统(MSY.0001 v1.1) 'F6#l"~/ 7t+]z) 应用示例简述 -%N}A3m!5 C7T;;1P? 1. 系统说明 r3?5'S` {cX7<7N 光源 p+5#dbyr — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) yT 2vO_rH 元件 ^
M8k — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 @Zh8 QI+ 探测器 Q.uR<C6)v — 干涉条纹 ZS|Z98 建模/设计 N6f%>3%1|. — 光线追迹:初始系统概览 ),)Q{~&` — 几何场追迹加(GFT+): 0-lPhnrp 计算干涉条纹。 8Q)y%7{6 分析对齐误差的影响。 Mof)2Hbd: t2m ^ 2. 系统说明 %PSz o8.l r)(i{:@r` 参考光路 O]4W|WI3  fCs\Q 3. 建模/设计结果 [v~Uy$d\ ^JiaR)#r
EgCp:L{ 4. 总结 J>/Ci\OB m|(I} |kT3 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ,2E`:#$ lxr@[VQ 1. 仿真 aJ% e'F[ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 he_HVRpB 2. 计算 @m }rQT 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ysQEJm^|-u 3. 研究
zd.1 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 wV]sGHu F} 2OA8
R} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 'JJ1#kKa %kaTQ"PB 应用示例详细内容 tOu90gu 系统参数 M^0w/ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ^p'D <!6sK a-SB1-5jf 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 m3h2/}%9` xF2f/y 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 )^V5*#69D ~x76{.gT 2. 说明:光源 oC^z_AtZ 7r:nMPX QYFN:XZ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 1e+h9|hGYw 因此,相干长度大于1m ~`tJvUo0 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 KE }o 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 K gR1El.r <VauJB*R
;D%5 nnr 7 UB8N vo 3. 说明:光源 c"oQ/x nvm1.}=Cnd ~2;&pZ$ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ROlzs} 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 LRfFn^FPM 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 7%~VOB 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 hO:)=}+H 4. 说明:光学元件 [rD+8,zVm !>"INmz o3(|FN 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 :7 s#5b 位相延迟平板材料为N-BK7。 PW~cqo B71 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Q>#)LHX 透镜材料为N-BK7。 6c;?`C 其中心厚度与位相平板厚度相等。 }lrfO_ *NX*/(Q )%nt61P\W 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 y.TdWnXx tZ*f~yW \?p9qR;"4 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 T3B|r<>I 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 z}Mb4{d1
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