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测量系统(MSY.0001 v1.1) % Cu.u)/+ MCk^Tp!
应用示例简述 }3f
BY@
a#+>w5 1. 系统说明 l] _b;iux 8M^wuRn 光源 o3n3URu\ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) dU]i-NF 元件 aqs%m ( — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 v<;: 0 探测器 JBR[;
zM — 干涉条纹 *me,(C 建模/设计 l#D-q/k? — 光线追迹:初始系统概览 I?a8h`WS+ — 几何场追迹加(GFT+): "v(G7*2 计算干涉条纹。 @iU%`=ziz 分析对齐误差的影响。 1$$37?FE u12zRdn 2. 系统说明 )n7|?@5U J3B6X 8P' 参考光路 J=UZ){c>:.  YC]PN5[1! 3. 建模/设计结果 i`prv& Tu]&^[B(' 0Injyc*bMF 4. 总结 n6b3E* 8>UKIdp 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 M@|w[ydQG HWqLcQ d:P 1. 仿真 izCaB~{/ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ' _B_&is 2. 计算 L@w0N)P<!{ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 tbq|," 3. 研究 6Wj@r!u 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ht?CHUu z|ves&lRa 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 [?-]PZ cV-i*L4X 应用示例详细内容 Oqpp=7 系统参数 >DL/.. 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 jOs
H2^ U,e'ZRU6 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Bwjg#1 E osl=[pm 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Dy su{rL TfJL+a0 2. 说明:光源 (@ "=F6P l '/N3&5 tWm> j 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 7Yuk
因此,相干长度大于1m A8J8u,u9 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 5O&d3;p' 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 C` pp "Nbos.a]5
_z q)0\ lr WLN 3. 说明:光源 MSl&?}Bj ?0{yq>fTu + 3h`UF 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 GR<c= 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。
lWbZ=x_0 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 NCi>S%pD`< 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ~ FGe~ 4. 说明:光学元件 E/ijvuO y_*n9
)Ct P*YK9Hl< 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 tRteyNA 位相延迟平板材料为N-BK7。 i2*d+?Er 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 H'EY)s Hi 透镜材料为N-BK7。 j&WL*XP&5 其中心厚度与位相平板厚度相等。 lV\lj@ vf<UBa;Xm ;UrK{>B 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 s"i~6})K<$ ^_68]l= [![ G7H%f 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Y9u;H^^G 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 77*qkKr
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