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测量系统(MSY.0001 v1.1) 4IH0un 0D W'(#` 应用示例简述 'npT+p$V 98<bF{#0WM 1. 系统说明 6=aBD_2@ 4rGO8R 光源 ZKiL-^dob — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) wjw<@A9 元件 ]-+.lR%vd9 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 o>QFdx 探测器 Es ZnGuY — 干涉条纹 Gh chfI. 建模/设计 UGezo3} — 光线追迹:初始系统概览 'IqK M — 几何场追迹加(GFT+): '/n%}=a= 计算干涉条纹。 -hJ>wGI 分析对齐误差的影响。 vi()1LS/! 2!"\;/ 2. 系统说明 6>P ._F6- pl 参考光路 9cx!N,R t  zN8&M<mTl 3. 建模/设计结果 n+A'XBHk N";dG 3 Wtzj;GJj 4. 总结 i32_ZB Z?y Ot8S'cB1,$ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
}tS6Z:fOY ""U?#<}GD 1. 仿真 :w&)XI34 以光线追迹对干涉仪的仿真。 o )}< 2. 计算 v1tN
DyM6 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 DRFuvU+e 3. 研究 ~_^o?NE, 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 h(N9RJ} <^X'f 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 z)?#UdBQv :6Pc m3 应用示例详细内容 7! A%6 系统参数 (w@MlMk 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ^:rNoo V3hm*{ON 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 PU/Br;2A lXL7q?,9 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 /B#lju! O|7{%5h 2. 说明:光源 Vlxb<$5Nh lN`_0 nluyEK 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ^xkppN2 因此,相干长度大于1m [E
:`jY 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 la"A$Tbu~ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ek.WuOs ^*UfCoj9Z
QGCdeE$K J7xT6Q= 3. 说明:光源 >7Sl(
UY- BQJ`vIa EwBN+v;) 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 'Tan6Qa 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 sz2SWk^& 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 I3rnCd( 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 f [I'j0H% 4. 说明:光学元件 i11GW '?>O
a]=vq(N'r 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 o_Kc nVQ\ 位相延迟平板材料为N-BK7。 g!)LhE 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 X.4ZLwX= 透镜材料为N-BK7。 j{w,<Wt> 其中心厚度与位相平板厚度相等。 SUi1*S OFL+Q~~C yLIj4bf 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Zow^bzy4 lX k-86[M '<W,-i 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 _x|8U'|Ce 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 bz@=zLBt
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